超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置与流程

技术特征：

技术总结
本发明涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、加热部、源部和图案引导件。加热部容置于基底基板并且产生热。源部设置在加热部上。图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以将从源部发射的源引导至目标区域。

技术研发人员：方炯锡;梁仲焕;崔东旭
受保护的技术使用者：乐金显示有限公司
技术研发日：2018.10.30
技术公布日：2019.05.07