电沉积设备及其固持装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种基材固定装置，特别涉及一种用于在镀膜程序中将待电镀物予以固定的固持装置，以及应用此固持装置的电沉积设备。
【背景技术】
[0002]众所周知，“电镀(electroplating) ”是一种利用电解还原反应在物体上镀一层膜的方法，其所使用的工艺设备依所需镀层(如镀镍、镀银、镀锡铅等)不同而有所差异，而无论使用何种形式的工艺设备，于各电镀区内都需要设置一个固定装置，用于将待电镀工件予以固定，使其在镀膜过程中保持定位位置不变，以利于待电镀工件的表面镀覆金属镀层。
[0003]然而，公知的镀膜用固定装置主要通过数量不等的胶体结构以固持待电镀工件，而待电镀工件在高温环境下，其因为膨胀系数的关系会产生弯曲形变，导致一部分的胶体结构无法与待电镀工件有效粘结，使待电镀工件掉落；更严重时，有可能发生破片的情形。
【发明内容】
[0004]本实用新型的其中一个目的在于提供一种结构新颖的固持装置，其可提供较佳的固持灵活性，以防止待电镀物因受高温加热而掉落。
[0005]为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案:一种固持装置，用于将至少一待电镀物固定于一镀膜腔室内，该固持装置包括:一基座单元及至少四个设置于该基座单元上的定位支撑单元。其中，所述定位支撑单元各具有一固定部及一自由部，每一所述定位支撑单元的所述固定部固定于所述基座单元，每一所述定位支撑单元的所述自由部用以在一第一位置与一第二位置之间且相对所述基座单元位移，且每一所述定位支撑单元的所述自由部连接一待电镀物。
[0006]基于上述的固持装置，本实用新型另提供一种电沉积设备，其包括:一镀膜腔室、一固持装置及一电镀装置。其中，所述固持装置设置于所述镀膜腔室内，用以固持至少一待电镀物；该固持装置包括一基座单元及至少四个设置于该基座单元上的定位支撑单元，其中所述定位支撑单元各具有一固定部及一自由部，每一所述定位支撑单元的所述固定部固定于所述基座单元，每一所述定位支撑单元的所述自由部用以于一第一位置与一第二位置之间且相对所述基座单元位移，且每一所述定位支撑单元的所述自由部连接所述待电镀物；所述电镀装置与所述固持装置相对应设置。
[0007]本实用新型至少具有以下技术效果:本实用新型的固持装置易于制作、成本低廉且适用于不同大小尺寸的待电镀物，大幅提升实用性。
[0008]此外，本实用新型通过“至少四个设置于基座单元上的定位支撑单元，其各具有一固定部及一自由部，其中每一个固定部固定于基座单元，每一个自由部用于在第一位置与第二位置之间且相对所述基座单元位移，且每一个自由部连接待电镀物”的设计，可提供较佳的固持灵活性，以防止待电镀物因受高温加热而掉落。
[0009]为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的固持装置的结构示意图(一)。
[0011]图2为本实用新型的固持装置的结构示意图(二)。
[0012]图3为本实用新型第一实施例的定位支撑单元的立体分解图。
[0013]图4为本实用新型第一实施例的定位支撑单元的立体组合图。
[0014]图5为本实用新型第一实施例的固持装置的局部剖面图。
[0015]图6为本实用新型的固持装置的使用状态示意图(一)。
[0016]图7为本实用新型的固持装置的使用状态示意图(二)。
[0017]图8为本实用新型第二实施例的定位支撑单元的立体分解图。
[0018]图9为本实用新型第二实施例的定位支撑单元的立体组合图。
[0019]图10为本实用新型第二实施例的固持装置的局部剖面图。
[0020]图11为本实用新型的电沉积设备的结构示意图。
[0021]其中，附图标记说明如下:
[0022]E电沉积设备
[0023]100固持装置
[0024]I基座单元
[0025]2、2’定位支撑单元
[0026]21挠性件
[0027]211固定部
[0028]22固定组件
[0029]221固定垫片
[0030]222锁固件
[0031]212自由部
[0032]2121 结合面
[0033]2122非结合面
[0034]2123 贯孔
[0035]2124 粘着体
[0036]23接合垫片
[0037]24接着层
[0038]25辅助接合垫片
[0039]200镀膜腔室
[0040]300电镀装置
[0041]W待电镀物
【具体实施方式】
[0042]下文中特举多个实施例，并配合所附图式，详细说明本实用新型的创新部分以及优点。
[0043]第一实施例
[0044]图1及图2为本实用新型的固持装置的结构示意图。本实用新型系为一种可用于镀膜腔室的固持装置100，其包括一基座单元I及至少四个设置于基座单元I上的定位支撑单元2。基座单元I本身可为一加工平台，所述定位支撑单元2系平均分布在基座单元I上，并可将至少一个待电镀物W固定于镀膜腔室内。
[0045]须说明的是，虽然在图1所示的固持装置100中，定位支撑单元2的数量有四个，但是对于本实施例的其他实施方式，定位支撑单元2的数量可以有四个以上(如图2所示)；也就是说，由图1所示的固持装置100的数量仅供举例说明，本实用新型不为此限。定位支撑单元2的数量可依待电镀物W的尺寸大小而决定。
[0046]请参阅图3至图5，本实施例所提供的定位支撑单元2用于保持待电镀物W的一侦牝其包括一挠性件21、一固定组件22及一接合垫片23。本实施例中，挠性件21为一矩形的耐热塑料片或金属弹片，但本实用新型并不限制于此；挠性件21还具有在长度方向上相隔一段距离的一固定部211及一自由部212，其中固定部211可供定位支撑单元2和基座单元I作组装，自由部212可供定位支撑单元2和待电镀物W作连结。
[0047]更进一步来说，每一个定位支撑单元2的固定部211通过固定组件22加以定位；固定组件22包括一固定垫片221及一锁固件222，其中固定垫片221与固定部211的表面相互接触，锁固件222依序穿过固定垫片221与固定部211而锁入基座单元1，并通过固定垫片221将固定部211压抵固定在基座单元I上。
[0048]另一方面，每一个定位支撑单元2的自由部212通过一接合垫片23连接待电镀物W的部分表面，以此限制待电镀物W的位置而使其不致松动脱落，其中自由部212具有一面对待电镀物W的结合面2121及一相对于结合面2121的非结合面2122，接合垫片23即设置于结合面2121上。而较佳的设计是，可利用接着力强且耐热性佳的接着剂将接合垫片23贴合固定；且为了改善接口接合效果，接合垫片23可具有一粗糙表面。本实施例中，接合垫片23可选用与待电镀物W相同的材质；举例来说，待电镀物W可为玻璃基材，接合垫片23可为玻璃垫片。
[0049]请一并参阅图1及图5至图7，接下来将进一步说明本实用新型的固持装置100的使用方式。首先，将固持装置100放置于一镀膜腔室(图中未显示)内，固持装置100可依工艺需求做垂直或水平放置；接着，选取一适当尺寸的待电镀物W，并将其与固持装置100作结合，而结合的方式可以是先在定位支撑单元2的接合垫片23上形成一接着层24，