技术总结
本实用新型公开了一种太阳能电池片双面镀膜的平板式PECVD机台，包括石墨框及微波激发等离子装置，本实用新型采用在石墨框的上方及下方与石墨载板等距的位置交替设有微波激发等离子装置，其微波激发等离子装置由梯型槽及永磁体组成，永磁体设置在梯型槽两外侧，在梯型槽周边形成均匀磁场，在磁场及氨气喷嘴及硅烷气喷嘴喷出的硅烷、氨气的共同作用下形成微波激发的等离子体，完成氨气及硅烷与硅片的沉积过程，实现一次性双面镀膜，减化了镀膜工序，减少了搬运过程，降低了背面膜层被损伤的风险，具有电池成本低及电池钝化效果好的优点。
技术研发人员：何佳平
受保护的技术使用者：何佳平
技术研发日：2018.01.08
技术公布日：2018.08.14