一种用于化学气相沉积ParyleneC膜的工装系统的制作方法

文档序号:15363128发布日期:2018-09-05 01:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于化学气相沉积Parylene C膜的工装系统,用于对第一微带天线单元(3)和第二微带天线单元(4)沉积Parylene C薄膜;其特征在于:该工装系统包括左箱体夹具(1)和右箱体夹具(2);

所述左箱体夹具(1)和右箱体夹具(2)均为敞口箱体状,所述左箱体夹具(1)和所述右箱体夹具(2)可拆卸配合围成一封闭空间;所述左箱体夹具(1)的底面均布设有与所述第一微带天线单元(3)上天线阵子的形状、分布相对应的左箱体孔组;所述右箱体夹具(2)的底面均布设有与所述第二微带天线单元(4)上天线阵子的形状、分布相对应的右箱体孔组;

所述左箱体夹具(1)或右箱体夹具(2)的一个侧面上开有若干个通孔(6),所述通孔(6)内固定有塑料导管(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积Parylene C膜的工装系统,其特征在于:所述通孔(6)的数量为两个。

3.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积Parylene C膜的工装系统,其特征在于:所述塑料导管(5)和所述通孔(6)之间通过丁基胶带密封,所述塑料导管(5)的长度大于5cm。

4.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积Parylene C膜的工装系统,其特征在于:所述左箱体夹具(1)和右箱体夹具(2)的每个侧面两端均开有若干螺孔,所述左箱体夹具(1)上的螺孔与所述右箱体夹具(2)在对应位置上的螺孔之间通过带孔的板条状垫片和螺钉固定连接。

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