本实用新型涉及光学镜片镀膜制造技术领域，具体是指一种用于光学镜片的真空离子溅射镀膜装置。
背景技术：
随着人们生活水平和安全意识的不断提高，手机、行车记录仪、安全摄像头等普及率也随之提高，然而光学镜片是其手机、行车记录仪、安全摄像头等作为对光折射成像的重要部件，必然也导致光学镜片需求日益增多，而光学镜片镀膜生产过程中，其真空镀膜是一项重要的生产工艺技术，对于光学镜片的生产是否合格起着决定性的作用，溅射是指具有足够高能量的粒子轰击固体表面使其中的原子发射出来，实际过程是入射粒子通过与靶材碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程，在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来，但是溅射时溅射靶温度过高，容易造成靶材的损坏，并且现有的溅射镀膜装置结构较复杂，气密性不好，且不易打开装置安装镜片基体，因此需要想出新的技术来改变这一状况。
技术实现要素：
本实用新型的目的是克服以上的技术缺陷，提供一种可以保护靶材不易损坏，装置易打开，且气密性良好的用于光学镜片的真空离子溅射镀膜装置。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种用于光学镜片的真空离子溅射镀膜装置，包括抽气室和真空镀膜室，所述的抽气室底部设有分子泵，所述的分子泵端部设有连通到真空镀膜室的主路管道，所述的主路管道上在靠近分子泵处设有主路阀，所述的抽气室底部设有机械泵，所述的机械泵端部设有连通到分子泵的旁路管道，所述的旁路管道上在靠近机械泵处设有旁路阀，所述的分子泵与机械泵之间设有连通的泵连接管道，所述的泵连接管道上设有前级阀，所述的主路管道上在靠近真空镀膜室处设有放气管道，所述的放气管道上设有放气阀，所述抽气室顶部内侧设有连通真空镀膜室的充气微调管道，所述的充气微调管道上设有充气微调阀，所述的真空镀膜室内部设有溅射台底座，所述的真空镀膜室内部位于溅射台底座下方设有溅射靶，所述的溅射靶底部设有水冷装置，所述的真空镀膜室外套接设有玻璃钟罩。
本实用新型与现有技术相比的优点在于：本实用新型设有分子泵，可以对气体进行纯化，降低活性气体对光学镜片表面薄膜的污染，提高光学镜片的合格率，机械泵的设置可以提高对溅射真空室抽高真空效率，充气微调管道上设有充气微调阀，可以配合主路阀进行调节，使工作压力达到合适状态，溅射靶底部设有水冷装置，可以对溅射靶进行冷却，防止溅射靶过早损坏，玻璃钟罩的设置便于打开真空镀膜室进行操作，并且可以看到真空镀膜室内的情况。
作为改进，所述的分子泵为非气体捕集式真空泵。
作为改进，所述的主路阀为蝶形阀，这样便于对主路阀进行调节。
作为改进，所述的机械泵气体捕集式真空泵。
作为改进，所述的玻璃钟罩底部与抽气室连接处设有密封圈，可以保证玻璃钟罩具有良好的密封性。
附图说明
图1是本实用新型一种用于光学镜片的真空离子溅射镀膜装置的结构示意图。
如图所示：1、抽气室，2、真空镀膜室，3、分子泵，4、主路管道，5、主路阀，6、机械泵，7、旁路管道，8、旁路阀，9、泵连接管道，10、前级阀，11、放气管道，12、放气阀，13、充气微调管道，14、充气微调阀，15、溅射台底座，16、溅射靶，17、水冷装置，18、玻璃钟罩，19、密封圈。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
一种用于光学镜片的真空离子溅射镀膜装置，包括抽气室1和真空镀膜室2，所述的抽气室1底部设有分子泵3，所述的分子泵3端部设有连通到真空镀膜室2的主路管道4，所述的主路管道4上在靠近分子泵3处设有主路阀5，所述的抽气室1底部设有机械泵6，所述的机械泵6端部设有连通到分子泵3的旁路管道7，所述的旁路管道7上在靠近机械泵6处设有旁路阀8，所述的分子泵3与机械泵6之间设有连通的泵连接管道9，所述的泵连接管道9上设有前级阀10，所述的主路管道4上在靠近真空镀膜室2处设有放气管道11，所述的放气管道11上设有放气阀12，所述抽气室1顶部内侧设有连通真空镀膜室2的充气微调管道13，所述的充气微调管道13上设有充气微调阀14，所述的真空镀膜室2内部设有溅射台底座15，所述的真空镀膜室2内部位于溅射台底座15下方设有溅射靶16，所述的溅射靶16底部设有水冷装置17，所述的真空镀膜室2外套接设有玻璃钟罩18。
所述的分子泵3为非气体捕集式真空泵。
所述的主路阀5为蝶形阀。
所述的机械泵6气体捕集式真空泵。
所述的玻璃钟罩18底部与抽气室1连接处设有密封圈19。
本实用新型在具体实施时，打开充气微调阀，使空气进入真空镀膜室，轻轻将玻璃钟罩拿掉，将清洗好的光学镜片安装在溅射台底座下方，用螺丝轻轻上紧，轻轻将玻璃钟罩扣好，并确认玻璃钟罩底部位置接合完好，用密封圈密封住玻璃钟罩底部接合位置，打开机械泵以及旁路管道上的旁路阀，抽真空至10Pa以下，打开泵连接管道上的前级阀，打开分子泵以及主路管道上的主路阀，抽真空至5×10-3Pa，将主路阀关闭至接近关闭状态，调充气微调管道上的充气微调阀并和主路阀配合调节，至工作压力为2-3Pa左右，真空镀膜室开始溅射并溅射20分钟，溅射完毕后，依次关闭关主路阀、充气微调阀和前级阀，打开放气阀约2分钟后，打开玻璃钟罩并轻轻取下，取出成品。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。