1.一种新型合金靶材，其特征在于，包括靶材、Mo-Mb膜、介质层、反射层、保护漆，所述靶材上层覆盖Mo-Mb膜，所述Mo-Mb膜上层设有介质层，所述介质层上层设有反射层，所述反射层外表面设有保护漆。
2.根据权利要求1所述一种新型合金靶材，其特征在于，所述介质层内设有氮化硅，所述介质层厚20-100nm。
3.根据权利要求1所述一种新型合金靶材，其特征在于，所述反射层内设有Al、Ti，所述反射层的厚度为50nm。