一种新型合金靶材的制作方法

本实用新型涉及一种新型合金靶材，属于靶材的技术领域。

背景技术：

合金靶材广泛应用于液晶显示、等离子显示等平面显示器的点击和配线材料的铝系合金靶材，随着平面显示器的大型化和高精度华，越来越需要比抗小的材料。

普通的合金靶材虽然会产生变色，但不会产生膜剥离，本新型合金靶材内含有Mo-Mb合金膜，所以不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。

技术实现要素：

实用新型目的：为了克服产生变色的问题，本实用新型提供一种新型合金靶材。

工艺方案：本实用新型公开一种新型合金靶材，包括靶材、Mo-Mb膜、介质层、反射层、保护漆，所述靶材上层覆盖Mo-Mb膜，所述Mo-Mb膜上层设有介质层，所述介质层上层设有反射层，所述反射层外表面设有保护漆。

进一步，所述介质层内设有氮化硅，所述介质层厚20-100nm。

进一步，所述反射层内设有Al、Ti，所述反射层的厚度为50nm。

本实用新型的合金靶材内含有Mo-Mb合金膜，所以不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。

附图说明

图1：本实施例一种新型合金靶材的结构示意图。

图中：靶材-1、Mo-Mb膜-2、介质层-3、反射层-4、保护漆-5。

具体实施方式

以下结合附图并通过具体实施例对本实用新型做进一步阐述，应当指出：对于本工艺领域的普通工艺人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

实施例1：

如图1所示一种新型合金靶材，包括靶材1、Mo-Mb膜2、介质层3、反射层4、保护漆5，所述靶材2上层覆盖Mo-Mb膜2，所述Mo-Mb膜2上层设有介质层3，所述介质层3内设有氮化硅，所述介质层3厚20-100nm，所述介质层3上层设有反射层，所述反射层4内设有Al、Ti，所述反射层4的厚度为50nm，所述反射层4外表面设有保护漆5，本实用新型的合金靶材内含有Mo-Mb合金膜，所以不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。