1.一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：包括并排设于底部的射频电源控制箱、电控箱、真空箱、设于上部的承载台、设于承载台上的等离子感应器和管式加热炉、横向贯穿于等离子感应器和管式加热炉的真空管，真空管一端用以进气、进料，另一端连接至用以抽真空的真空箱。
2.根据权利要求1所述的一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：所述等离子感应器和管式加热炉分设于承载台上的两侧，承载台上还布置有与真空管相平行的轨道，管式加热炉设于轨道上并能够沿轨道和真空管移动以靠近或离开等离子感应器。
3.根据权利要求1所述的一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：所述等离子感应器内设有绕置于真空管上的感应线圈。
4.根据权利要求1所述的一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：所述真空管两端分别设有法兰，法兰分别通过支架固定在承载台的两端上。
5.根据权利要求1所述的一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：所述真空管为刚玉管。