一种等离子辉光化学气相沉积集成系统的制作方法

本实用新型属于气相沉积设备、具体涉及一种等离子辉光化学气相沉积集成系统。

背景技术：

目前,现有的等离子辉光化学气相沉积集成系统都是分散型的,各个系统均独立放置,无集成,占地面积大，操作维护都不便,并且加热后冷却时间较长,效率交底。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，集成度高，便于操作和维护。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，包括并排设于底部的射频电源控制箱、电控箱、真空箱、设于上部的承载台、设于承载台上的等离子感应器和管式加热炉、横向贯穿于等离子感应器和管式加热炉的真空管，真空管一端用以进气、进料，另一端连接至用以抽真空的真空箱。

所述等离子感应器和管式加热炉分设于承载台上的两侧，承载台上还布置有与真空管相平行的轨道，管式加热炉设于轨道上并能够沿轨道和真空管移动以靠近或离开等离子感应器。

所述等离子感应器内设有绕置于真空管上的感应线圈。

所述真空管两端分别设有法兰，法兰分别通过支架固定在承载台的两端上。

所述真空管为刚玉管。

采用本实用新型的一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，具有一下几个优点：

1、通过将多个系统集成为一台整机，占地面积小、布置合理，操作维护方便。

2、采用轨道式管式加热炉，通过移动至等离子感应器侧部时对该处真空管内的工件进行加热，加热完毕后，通过移动至另一侧，使得该处真空管裸露在空气中，进行自然冷却，从而缩小了冷却时间，提高了作业效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式本实用新型进行详细说明：

图1是本实用新型的等离子辉光化学气相沉积集成系统的结构图。

图2是本实用新型的沉积集成系统的上部结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的等离子辉光化学气相沉积集成系统如图1～2所示，其主要包括并排设于底部的射频电源控制箱1、电控箱2、真空箱3、设于上部的承载台4、设于承载台4上的等离子感应器5和管式加热炉、横向贯穿于等离子感应器5和管式加热炉6的真空管7，真空管7一端用以进气、进料，另一端连接至用以抽真空的真空箱3。

作为一个实施例，所述等离子感应器5和管式加热炉6分设于承载台4上的两侧，承载台4上还布置有与真空管7相平行的轨道8，管式加热炉6设于轨道8上并能够沿轨道8和真空管7移动以靠近或离开等离子感应器5。

作为一个实施例，所述等离子感应器5内设有绕置于真空管7上的感应线圈9，通过射频电源控制箱1为等离子感应器5提供电源及射频控制，使得感应线圈9对真空管7内的气体作用产生等离子辉光。

作为一个实施例，所述真空管7两端分别设有法兰11，法兰11分别通过支架12固定在承载台4的两端上。

作为一个实施例，所述真空管7可采用刚玉管。

使用时，将需要加工的工件通过左侧法兰至于等离子感应器5右侧的真空管7内(图2中的A处)，然后再通过左侧进气口10输入气体，通过手动或电动驱动管式加热炉6移动至等离子感应器5侧部，使得该处真空管7内的工件位于炉内，此时进行通电发生等离子，并同时通过管式加热炉6对工件进行加热，以对工件表进行辉光化学气相沉积作业。当加热完毕后，再将管式加热炉6移动至另一侧，使得该处真空管7裸露在空气中，工件进行自然冷却，从而缩小了冷却时间，提高了作业效率。

但是，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。