一种真空镀膜机的抽气机构的制作方法

文档序号:16704855发布日期:2019-01-22 22:05阅读:358来源:国知局
一种真空镀膜机的抽气机构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机的抽气机构。



背景技术:

真空镀膜机包括一镀膜室,镀膜过程都是在镀膜室内进行。经检索,申请号为201720481036.5的专利文件公开了真空镀膜机,包括一镀膜室,镀膜室设有一进气口与一排气口,进气口连接一用于提供惰性气体的气泵,气泵连接一惰性气体储气罐,还包括一惰性气体回收系统;惰性气体回收系统,包括一气体压缩泵;镀膜室还设有一出气口,作为惰性气体回收口,惰性气体回收口连接气体压缩泵的吸气口;气体压缩泵的出气口连接惰性气体储气罐的回气口。在排气口排出空气,并排出一些空气与惰性气体混合的气体后,镀膜室内使较为纯净的惰性气体。然后,启动气体压缩泵吸走惰性气体,并压缩回收至惰性气体储气罐,实现回收,减少了惰性气体的浪费。

但上述设计还存在不足之处,上述设计不便对镀膜室进行抽真空操作,且在抽真空完成后不便快速封闭排气口,排气口密封性不足容易出现漏气现象,影响人们使用,因此我们提出了一种真空镀膜机的抽气机构用于解决上述问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种真空镀膜机的抽气机构。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种真空镀膜机的抽气机构,包括真空镀膜机主体,所述真空镀膜机主体上设有腔室,所述真空镀膜机主体的一侧开设有排气槽,所述排气槽位于腔室的上方,所述排气槽的底部内壁上开设有排气孔,所述排气孔与腔室相连通,所述排气槽的底部内壁上固定安装有多个滑杆,且多个滑杆基于排气孔呈环形设置,多个滑杆上滑动套设有同一个密封垫,所述密封垫的顶部固定安装有环形片,所述环形片滑动套装在多个滑杆上,所述滑杆的顶端固定安装有挡板,所述挡板位于环形片的上方,所述滑杆上滑动套设有弹簧,所述弹簧的顶端与对应的挡板的底部固定连接,所述弹簧的底端与环形片的顶部固定连接。

优选的,所述环形片靠近排气槽槽口的一侧设有固定安装在排气槽内的真空泵,且真空泵的出气口延伸至排气槽的外侧。

优选的,所述排气槽的底部内壁上固定安装有密封圈,所述密封圈的顶部与密封垫的底部活动密封连接。

优选的,所述环形片的上方设有两个对称设置的限位板,多个滑杆均位于两个限位板之间,所述限位板固定安装在排气槽的侧壁上。

优选的,所述密封垫的顶部固定安装有定位轴,所述定位轴位于环形片的内侧,所述定位轴的外侧固定安装有多个支架,所述支架远离定位轴的一端与环形片的内侧固定连接,所述支架的底部与密封垫的顶部固定连接。

优选的,所述滑杆的数量为三到五个,且三到五个滑杆呈环形等间距间隔设置。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过真空镀膜机主体、腔室、排气槽、排气孔、滑杆、密封垫、环形片、密封圈、挡板、弹簧、限位板、定位轴、支架和真空泵相配合,启动真空泵,真空泵将排气槽内的空气抽送至排气槽的外侧,排气槽内气压降低,腔室内的空气流入排气孔并推动密封垫向上移动,密封垫带动环形片向上移动并挤压弹簧,密封垫的底部与密封圈的顶部分离,排气孔内空气将流入排气槽并被真空泵抽送至排气槽的外侧,实现对腔室的抽真空操作,且在抽真空过程中,限位板能够限制环形片向上移动的范围,限制密封垫的移动范围,抽真空完成后,关闭真空泵,此时腔室内气压与低于排气槽内气压相同,弹簧的弹力带动密封垫向下移动至与密封圈相接触,实现对排气孔的封闭操作,支架和定位轴能够对密封垫进行支撑,防止密封垫的中间部位向下凹陷变形。

本实用新型设计合理,结构简单,能够快速的对腔室进行抽真空操作,抽真空完成后能够及时封闭排气孔,防止排气孔处出现漏气现象,方便人们使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机的抽气机构的结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜机的抽气机构的A部分的结构示意图;

图3为本实用新型提出的一种真空镀膜机的抽气机构的B部分的结构示意图。

图中:1真空镀膜机主体、2腔室、3排气槽、4排气孔、5滑杆、6密封垫、7环形片、8密封圈、9挡板、10弹簧、11限位板、12定位轴、13支架、14真空泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-3,一种真空镀膜机的抽气机构,包括真空镀膜机主体1,真空镀膜机主体1上设有腔室2,真空镀膜机主体1的一侧开设有排气槽3,排气槽3位于腔室2的上方,排气槽3的底部内壁上开设有排气孔4,排气孔4与腔室2相连通,排气槽3的底部内壁上固定安装有多个滑杆5,且多个滑杆5基于排气孔4呈环形设置,多个滑杆5上滑动套设有同一个密封垫6,密封垫6的顶部固定安装有环形片7,环形片7滑动套装在多个滑杆5上,滑杆5的顶端固定安装有挡板9,挡板9位于环形片7的上方,滑杆5上滑动套设有弹簧10,弹簧10的顶端与对应的挡板9的底部固定连接,弹簧10的底端与环形片7的顶部固定连接,通过真空镀膜机主体1、腔室2、排气槽3、排气孔4、滑杆5、密封垫6、环形片7、密封圈8、挡板9、弹簧10、限位板11、定位轴12、支架13和真空泵14相配合,启动真空泵14,真空泵14将排气槽3内的空气抽送至排气槽3的外侧,排气槽3内气压降低,腔室2内的空气流入排气孔4并推动密封垫6向上移动,密封垫6带动环形片7向上移动并挤压弹簧10,密封垫6的底部与密封圈8的顶部分离,排气孔4内空气将流入排气槽3并被真空泵14抽送至排气槽3的外侧,实现对腔室2的抽真空操作,且在抽真空过程中,限位板11能够限制环形片7向上移动的范围,限制密封垫6的移动范围,抽真空完成后,关闭真空泵14,此时腔室2内气压与低于排气槽3内气压相同,弹簧10的弹力带动密封垫6向下移动至与密封圈8相接触,实现对排气孔4的封闭操作,支架13和定位轴12能够对密封垫6进行支撑,防止密封垫6的中间部位向下凹陷变形,本实用新型设计合理,结构简单,能够快速的对腔室2进行抽真空操作,抽真空完成后能够及时封闭排气孔4,防止排气孔4处出现漏气现象,方便人们使用。

本实用新型中,环形片7靠近排气槽3槽口的一侧设有固定安装在排气槽3内的真空泵14,且真空泵14的出气口延伸至排气槽3的外侧,排气槽3的底部内壁上固定安装有密封圈8,密封圈8的顶部与密封垫6的底部活动密封连接,环形片7的上方设有两个对称设置的限位板11,多个滑杆5均位于两个限位板11之间,限位板11固定安装在排气槽3的侧壁上,密封垫6的顶部固定安装有定位轴12,定位轴12位于环形片7的内侧,定位轴12的外侧固定安装有多个支架13,支架13远离定位轴12的一端与环形片7的内侧固定连接,支架13的底部与密封垫6的顶部固定连接,滑杆5的数量为三到五个,且三到五个滑杆5呈环形等间距间隔设置,通过真空镀膜机主体1、腔室2、排气槽3、排气孔4、滑杆5、密封垫6、环形片7、密封圈8、挡板9、弹簧10、限位板11、定位轴12、支架13和真空泵14相配合,启动真空泵14,真空泵14将排气槽3内的空气抽送至排气槽3的外侧,排气槽3内气压降低,腔室2内的空气流入排气孔4并推动密封垫6向上移动,密封垫6带动环形片7向上移动并挤压弹簧10,密封垫6的底部与密封圈8的顶部分离,排气孔4内空气将流入排气槽3并被真空泵14抽送至排气槽3的外侧,实现对腔室2的抽真空操作,且在抽真空过程中,限位板11能够限制环形片7向上移动的范围,限制密封垫6的移动范围,抽真空完成后,关闭真空泵14,此时腔室2内气压与低于排气槽3内气压相同,弹簧10的弹力带动密封垫6向下移动至与密封圈8相接触,实现对排气孔4的封闭操作,支架13和定位轴12能够对密封垫6进行支撑,防止密封垫6的中间部位向下凹陷变形,本实用新型设计合理,结构简单,能够快速的对腔室2进行抽真空操作,抽真空完成后能够及时封闭排气孔4,防止排气孔4处出现漏气现象,方便人们使用。

工作原理:使用时,启动真空泵14,真空泵14将排气槽3内的空气抽送至排气槽3的外侧,使得排气槽3内气压降低,当排气槽3内气压低于腔室2内气压时,腔室2内的空气流入排气孔4并推动密封垫6向上移动,密封垫6带动环形片7向上移动并挤压弹簧10,使得密封垫6的底部与密封圈8的顶部分离,此时排气孔4内空气将流入排气槽3并被真空泵14抽送至排气槽3的外侧,实现对腔室2的抽真空操作,且在抽真空过程中,限位板11能够限制环形片7向上移动的范围,进而限制密封垫6的移动范围,当抽真空完成后,关闭真空泵14,此时腔室2内气压与低于排气槽3内气压相同,弹簧10的弹力带动密封垫6向下移动至与密封圈8相接触,实现对排气孔4的封闭操作,支架13和定位轴12能够对密封垫6进行支撑,防止密封垫6的中间部位向下凹陷变形。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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