一种真空镀膜机的离子源工装的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的离子源工装。

背景技术：

离子源镀膜炉是广泛应用于真空镀膜机上的离子源工装，离子源工装可以概括为离子源锅炉上一种专用的器件，现有的真空镀膜机上的离子源工装大都包括离子源镀膜炉、离子源、过滤罩和挡板组成，但是现有的挡板不具备自动翻转功能，而离子源镀膜炉使用后温度较高，传统的大都是经工人带手套来转动挡板，在使用时再把挡板转动到原位置用来遮挡，给使用中带来极大的不便，且容易烫伤到工人，为此我们提出了一种真空镀膜机的离子源工装。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜机的离子源工装。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜机的离子源工装，包括离子源镀膜炉，所述离子源镀膜炉的一侧固定安装有安装座，且安装座的顶部固定安装有支撑杆，支撑杆的顶端固定安装有竖杆，所述竖杆的顶端铰接有镀膜炉挡板，所述镀膜炉挡板与离子源镀膜炉相配合，所述支撑杆靠近离子源镀膜炉的一侧设有开设在安装座顶部的第一圆型槽，且第一圆型槽内滑动套设有竖轴，所述竖轴的顶端延伸至安装座的上方，竖轴靠近支撑杆的一侧固定安装有绝热座，且绝热座滑动套设在支撑杆上，所述绝热座远离竖轴的一侧铰接有倾斜设置设置的连接杆，且连接杆的顶端与镀膜炉挡板的底部相铰接，所述竖轴的底部与第一圆型槽的底部内壁之间焊接有多个弹簧，所述第一圆型槽远离离子源镀膜炉的一侧设有开设在安装座上的空腔，所述竖轴靠近支撑杆的一侧底部固定安装有横杆，且横杆远离竖轴的一端延伸至空腔内，所述空腔靠近第一圆型槽的一侧内壁上转动安装有绕线轴，所述安装座远离离子源镀膜炉的一侧固定安装有步进电机，且步进电机的输出轴延伸至空腔内并与绕线轴远离第一圆型槽的一侧固定安装，所述绕线轴上固定安装有绳索，且绳索的顶端与横杆的底部固定安装。

优选的，所述空腔远离第一圆型槽的一侧内壁上开设有圆型孔，且圆型孔的侧壁与步进电机的输出轴活动接触。

优选的，所述空腔靠近第一圆型槽的一侧内壁上开设有第二圆型槽，且第二圆型槽内固定套设有轴承，轴承的内圈内固定套设有横轴，且横轴的一端与绕线轴固定安装。

优选的，所述第一圆型槽靠近空腔的一侧内壁上开设有矩型孔，且矩型孔的两侧内壁分别与横杆的两侧滑动连接。

优选的，所述竖轴的外侧对称开设有两个限位槽，且限位槽内滑动连接有与第一圆型槽侧壁固定安装的限位块。

优选的，所述弹簧的数量为四到六个，且四到六个弹簧呈环型设置在竖轴的底端。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过离子源镀膜炉、安装座、圆型孔、支撑杆、竖杆、镀膜炉挡板、第一圆型槽、竖轴、绝热座、连接杆、弹簧、空腔、横杆、绕线轴、绳索、步进电机、限位槽、限位块、第二圆型槽、轴承、横轴和矩型孔相配合，正向启动步进电机，步进电机带动绕线轴对绳索进行缠绕，使得绳索带动横杆在矩型孔内向下滑动，横杆带动竖轴在第一圆型槽内向下滑动并对多个弹簧压缩，竖轴带动限位槽在对应的限位块上滑动，竖轴还带动绝热座在支撑杆的外侧向下滑动，在竖杆的作用下，绝热座通过连接杆带动镀膜炉挡板在竖杆的顶部转动，使得镀膜炉挡板翻转开，方便工人进行操作，且进行遮挡离子源镀膜炉的炉口时只需要反向启动步进电机，处于压缩状态的弹簧复位，便可带动镀膜炉挡板复位，使得能够在使用时通过步进电机的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用。

本实用新型结构简单，能够在使用时通过步进电机的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机的离子源工装的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜机的离子源工装的A部分剖视结构示意图。

图中：1离子源镀膜炉、2安装座、3圆型孔、4支撑杆、5竖杆、6镀膜炉挡板、7第一圆型槽、8竖轴、9绝热座、10连接杆、11弹簧、12空腔、13横杆、14绕线轴、15绳索、16步进电机、17限位槽、18限位块、19第二圆型槽、20轴承、21横轴、22矩型孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种真空镀膜机的离子源工装，包括离子源镀膜炉1，离子源镀膜炉1的一侧固定安装有安装座2，且安装座2的顶部固定安装有支撑杆4，支撑杆4的顶端固定安装有竖杆5，竖杆5的顶端铰接有镀膜炉挡板6，镀膜炉挡板6与离子源镀膜炉1相配合，支撑杆4靠近离子源镀膜炉1的一侧设有开设在安装座2顶部的第一圆型槽7，且第一圆型槽7内滑动套设有竖轴8，竖轴8的顶端延伸至安装座2的上方，竖轴8靠近支撑杆4的一侧固定安装有绝热座9，且绝热座9滑动套设在支撑杆4上，绝热座9远离竖轴8的一侧铰接有倾斜设置设置的连接杆10，且连接杆10的顶端与镀膜炉挡板6的底部相铰接，竖轴8的底部与第一圆型槽7的底部内壁之间焊接有多个弹簧11，第一圆型槽7远离离子源镀膜炉1的一侧设有开设在安装座2上的空腔12，竖轴8靠近支撑杆4的一侧底部固定安装有横杆13，且横杆13远离竖轴8的一端延伸至空腔12内，空腔12靠近第一圆型槽7的一侧内壁上转动安装有绕线轴14，安装座2远离离子源镀膜炉1的一侧固定安装有步进电机16，且步进电机16的输出轴延伸至空腔12内并与绕线轴14远离第一圆型槽7的一侧固定安装，绕线轴14上固定安装有绳索15，且绳索15的顶端与横杆13的底部固定安装，通过离子源镀膜炉1、安装座2、圆型孔3、支撑杆4、竖杆5、镀膜炉挡板6、第一圆型槽7、竖轴8、绝热座9、连接杆10、弹簧11、空腔12、横杆13、绕线轴14、绳索15、步进电机16、限位槽17、限位块18、第二圆型槽19、轴承20、横轴21和矩型孔22相配合，正向启动步进电机16，步进电机16带动绕线轴14对绳索15进行缠绕，使得绳索15带动横杆13在矩型孔22内向下滑动，横杆13带动竖轴8在第一圆型槽7内向下滑动并对多个弹簧11压缩，竖轴8带动限位槽17在对应的限位块18上滑动，竖轴8还带动绝热座9在支撑杆4的外侧向下滑动，在竖杆5的作用下，绝热座9通过连接杆10带动镀膜炉挡板6在竖杆5的顶部转动，使得镀膜炉挡板6翻转开，方便工人进行操作，且进行遮挡离子源镀膜炉1的炉口时只需要反向启动步进电机16，处于压缩状态的弹簧11复位，便可带动镀膜炉挡板6复位，使得能够在使用时通过步进电机16的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板6翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用，本实用新型结构简单，能够在使用时通过步进电机16的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板6翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用。

本实用新型中，空腔12远离第一圆型槽7的一侧内壁上开设有圆型孔3，且圆型孔3的侧壁与步进电机16的输出轴活动接触，空腔12靠近第一圆型槽7的一侧内壁上开设有第二圆型槽19，且第二圆型槽19内固定套设有轴承20，轴承20的内圈内固定套设有横轴21，且横轴21的一端与绕线轴14固定安装，第一圆型槽7靠近空腔12的一侧内壁上开设有矩型孔22，且矩型孔22的两侧内壁分别与横杆13的两侧滑动连接，竖轴8的外侧对称开设有两个限位槽17，且限位槽17内滑动连接有与第一圆型槽7侧壁固定安装的限位块18，弹簧11的数量为四到六个，且四到六个弹簧11呈环型设置在竖轴8的底端，通过离子源镀膜炉1、安装座2、圆型孔3、支撑杆4、竖杆5、镀膜炉挡板6、第一圆型槽7、竖轴8、绝热座9、连接杆10、弹簧11、空腔12、横杆13、绕线轴14、绳索15、步进电机16、限位槽17、限位块18、第二圆型槽19、轴承20、横轴21和矩型孔22相配合，正向启动步进电机16，步进电机16带动绕线轴14对绳索15进行缠绕，使得绳索15带动横杆13在矩型孔22内向下滑动，横杆13带动竖轴8在第一圆型槽7内向下滑动并对多个弹簧11压缩，竖轴8带动限位槽17在对应的限位块18上滑动，竖轴8还带动绝热座9在支撑杆4的外侧向下滑动，在竖杆5的作用下，绝热座9通过连接杆10带动镀膜炉挡板6在竖杆5的顶部转动，使得镀膜炉挡板6翻转开，方便工人进行操作，且进行遮挡离子源镀膜炉1的炉口时只需要反向启动步进电机16，处于压缩状态的弹簧11复位，便可带动镀膜炉挡板6复位，使得能够在使用时通过步进电机16的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板6翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用，本实用新型结构简单，能够在使用时通过步进电机16的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板6翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用。

工作原理：使用时，正向启动步进电机16，步进电机16带动绕线轴14旋转，绕线轴14对绳索15进行缠绕，使得绳索15带动横杆13在矩型孔22内向下滑动，横杆13带动竖轴8在第一圆型槽7内向下滑动并对多个弹簧11压缩，竖轴8带动限位槽17在对应的限位块18上滑动，同时竖轴8带动绝热座9在支撑杆4的外侧向下滑动，在竖杆5的作用下，绝热座9通过连接杆10带动镀膜炉挡板6在竖杆5的顶部转动，使得镀膜炉挡板6翻转开，方便工人进行操作，且进行遮挡离子源镀膜炉1的炉口时只需要反向启动步进电机16，处于压缩状态的弹簧11复位，便可带动镀膜炉挡板6复位，使得能够在使用时通过步进电机16的正反向启动，能够带动镀膜炉挡板6翻转开启和复位，防止工人手动开启时造成烫伤，且降低了工人的劳动强度，有利于工人的使用。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。