真空溅镀用新型防着板的制作方法

本实用新型涉及真空溅镀技术领域，具体涉及一种真空溅镀用新型防着板。

背景技术：

真空溅镀是由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。然而，在上述真空溅镀的过程中，因溅镀过程中，材料源随机方向溅射，为保护腔体内其他结构件避免附着、沉积膜层，需使用防着板将需要保护的表面覆盖，以减少附着沉积，防着板使用一定寿命后，更换新防着板。将整张防着板更换，一定程度上增加了溅镀成本，且造成浪费。

现有技术中，所采用的防着板通常为平板状结构。在真空溅镀过程中，靶材原子溅射到防着板后，这些原子的动能将转化成热量，使防着板粘附靶材原子的上表面温度上升，防着板的上表面和下表面将产生温差，防着板将产生形变。形变将使防着板与靶材的背板之间的间距变小，易发生放电。放电将引起工作区域内异常杂质离子增多，严重影响成膜质量。而且，发生放电后，还需要停止运行设备，对该防着板进行清洗或更换，因此，将导致设备的架动率降低进而降低了生产效率。

再者，现有技术中由于其防着板的防着面光滑，因此其沉淀能力不强，一方面溅射出的靶材原子或大尺寸的颗粒仍然会飞向溅镀机的内壁表面，影响其清洁；另一方面由于大尺寸颗粒飞向基片会造成成膜率低的缺陷。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种真空溅镀用新型防着板，将防着板做成可拆卸结构的基板和覆盖板，不需将整个防着板更换，只需将覆盖板进行更换即可，节省生产成本；覆盖板表面设有凹槽和凸起，增加防着板的沉淀能力，进而提高真空腔体内壁的清洁度；再者，在基板与覆盖板之间设置冷却流道，利于覆盖板散热，避免覆盖板在真空溅镀过程中发生形变，免除生产过程中停工更换或清洗防着板的麻烦，提高生产效率。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种真空溅镀用新型防着板，包括防着板本体，所述防着板本体包括基板和覆盖板，所述基板与所述覆盖板可拆卸连接；

所述基板的靠近覆盖板一侧的第一表面设有若干等间隔排布的且为条状的凹槽，所述凹槽的宽度为40-60mm,所述凹槽的底面为弧面，相邻所述凹槽之间设有背脊，所述背脊的上端向上延伸形成截面为倒梯形状的卡边；将凹槽的长度方向定义为横向且宽度方向定义为纵向，所述凹槽内设有至少一条横向排布的冷却流道，所述冷却流道的顶面为弧面，所述冷却流道的宽度为10-20mm且高度为5-15mm，所述冷却流道沿其长度方向等间隔设有若干散热盘，所述散热盘的截面为圆形且直径皆为20-30mm，高度皆为5-15mm；

所述覆盖板为冲压形成若干相连凹条的金属片，所述凹条与所述基板的凹槽的形状相适应，相邻所述凹条之间形成能够容纳背脊的容纳槽，所述基板的背脊卡于所述容纳槽实现基板与所述覆盖板之间的可拆卸连接；所述凹条内设有若干纵向等间隔分布的条形凸起，所述条形凸起的两端分别与所述凹条的宽度方向的两侧连接，所述条形凸起的高度为20-30mm且宽度为10-20mm,相邻所述条形凸起之间的中心距离为50-100mm。

进一步地说，所述卡边的高度为背脊的高度的1/4-1/3。

进一步地说，每一每一所述凹槽内设有1-3条冷却流道，所有所述冷却流道均匀排布。

进一步地说，所述凹槽的宽度为50mm。

进一步地说，所述冷却流道的宽度为15mm且高度为10mm。

进一步地说，所述散热盘的直径为25mm且高度皆为10mm。

进一步地说，所述条形凸起的高度为25mm且宽度为15mm。

进一步地说，相邻所述条形凸起之间的中心距离为80mm。

进一步地说，所述条形凸起的顶面为弧面。

进一步地说，所述凹条的宽度小于所述凹槽的宽度；所述容纳槽的宽度大于所述背脊的宽度。

本实用新型的有益效果：

本实用新型中防着板本体包括基板和覆盖板，基板和覆盖板设为可拆卸结构，不需将整个防着板更换，只需将覆盖板进行更换即可，节省生产成本；覆盖板安装于基板时，将覆盖板从基板的侧边，并将覆盖板的容纳槽对准基板的背脊使背脊完全容纳于容纳槽，然后贴合基板的表面滑过去皆可完成基板与覆盖板的安装，安装方便，拆卸方便；

佳的是，覆盖板为冲压形成若干相连凹条的金属片，凹条内设有若干纵向等间隔分布的条形凸起，覆盖板因具有凹凸不平的结构，使得覆盖板更加容易吸附靶材原子或大尺寸的颗粒，从而增加了防着板的沉淀能力，提高真空腔体内壁的清洁度；也由于减少大尺寸颗粒飞向基片，故，提高真空溅镀的效率和效果；且，本覆盖板表面均匀稳定，便于加工，吸附能力稳定；

佳的是，凹槽的宽度优选为50mm，条形凸起的高度优选为25mm且宽度优选为15mm，相邻条形凸起之间的中心距离优选为80mm，尺寸设计合理，方便加工，且使得该结构有较好的吸附力，也可以增加防着板被清洗后的表面的稳定性，从而延长使用寿命；

更佳的是，基板第一表面的凹槽内设有多条横向排布的冷却流道，冷却流道沿其长度方向等间隔设有若干散热盘，有利于覆盖板的散热，避免覆盖板在真空溅镀过程中发生形变，免除生产过程中停工更换或清洗防着板的麻烦，提高生产效率；散热盘的直径为20-30mm大于冷却流道的直径，增大冷却流道与覆盖板之间的接触面积，利于散热冷却，散热效果佳。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的基板的结构示意图；

图3为本实用新型的覆盖板的结构示意图；

图4为本实用新型的凹槽的结构示意图；

图5为本实用新型的凹条的结构示意图；

图中各部分的附图标记如下：

防着板本体1、基板11、凹槽111、弧面112、背脊113、卡边1131、冷却流道114、散热盘115、覆盖板12、凹条121、容纳槽122和条形凸起123。

具体实施方式

以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。在不背离本实用新型精神和实质的情况下，对本实用新型方法、步骤或条件所作的修改或替换，均属于本实用新型的保护范围。

实施例：一种真空溅镀用新型防着板，如图1-图5所示，包括防着板本体1，所述防着板本体包括基板11和覆盖板12，所述基板与所述覆盖板可拆卸连接；

所述基板的靠近覆盖板一侧的第一表面设有若干等间隔排布的且为条状的凹槽111，所述凹槽的宽度为40-60mm,所述凹槽的底面为弧面112，相邻所述凹槽之间设有背脊113，所述背脊的上端向上延伸形成截面为倒梯形状的卡边1131；将凹槽的长度方向定义为横向且宽度方向定义为纵向，所述凹槽内设有至少一条横向排布的冷却流道114，所述冷却流道的顶面为弧面，所述冷却流道的宽度为10-20mm且高度为5-15mm，所述冷却流道沿其长度方向等间隔设有若干散热盘115，所述散热盘的截面为圆形且直径皆为20-30mm，高度皆为5-15mm；

所述覆盖板为冲压形成若干相连凹条121的金属片，所述凹条与所述基板的凹槽的形状相适应，相邻所述凹条之间形成能够容纳背脊的容纳槽122，所述基板的背脊卡于所述容纳槽实现基板与所述覆盖板之间的可拆卸连接；所述凹条内设有若干纵向等间隔分布的条形凸起123，所述条形凸起的两端分别与所述凹条的宽度方向的两侧连接，所述条形凸起的高度为20-30mm且宽度为10-20mm,相邻所述条形凸起之间的中心距离为50-100mm。

所述卡边的高度为背脊的高度的1/4-1/3。

每一每一所述凹槽内设有1-3条冷却流道，所有所述冷却流道均匀排布。

所述凹槽的宽度为50mm。

所述冷却流道的宽度为15mm且高度为10mm。

所述散热盘的直径为25mm且高度皆为10mm。

所述条形凸起的高度为25mm且宽度为15mm。

相邻所述条形凸起之间的中心距离为80mm。

所述条形凸起的顶面为弧面。

所述凹条的宽度小于所述凹槽的宽度；所述容纳槽的宽度大于所述背脊的宽度。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。