一种新型玻璃板真空镀膜生产设备的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜生产设备技术领域，尤其涉及一种新型玻璃板真空镀膜生产设备。

背景技术：

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，经检索，申请号201020252721.9的专利文件公开了新型真空镀膜设备，包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，所述的圆环型堆放架内壁上设有轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。结构合理简单，生产制造容易，成本低。将钨丝蒸发源和蒸发坩埚放入真空设备进行蒸发镀膜，钨丝蒸发源可以蒸发铝丝、铜丝、合金丝，蒸发坩埚可以蒸发氟化镁形成氟化镁镀膜层，对钨丝蒸发源蒸发的金属镀膜层进行保护，镀膜效果好，满足中高档产品的镀膜要求，该新型真空镀膜设备使用扩散泵存在以下问题：扩散泵3月/回定期维护换油、净化间空调能耗高、设备的能耗大，电费成本高、腔体管道油雾污染严重，因此有人提出使用低温泵替代扩散泵，低温泵它是70年代出现的新型低温泵，这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛，制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K，典型应用是65K，用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体，二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭，活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数，制成的产品抽气速率已达60000升/秒，此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升/秒以上，但是现在低温泵在使用的过程中存在拆卸不便的问题，不利于对低温泵的维修与保养，因此我们提出了一种新型玻璃板真空镀膜生产设备，用来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型玻璃板真空镀膜生产设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种新型玻璃板真空镀膜生产设备，包括设备本体，所述设备本体的底部固定安装有两个支撑板，两个支撑板之间设有位于设备本体下方的低温泵，低温泵与设备本体相配合，且低温泵的两侧均固定安装有安装块，两个安装块相互远离的一侧均开设有固定槽，两个支撑板上均开设有滑孔，所述滑孔内滑动安装有滑板，两个滑板分别与两个固定槽相配合，两个滑板相互远离的一侧均固定安装有推动板，两个推动板相互靠近的一侧分别与两个支撑板相互远离的一侧相接触，两个推动板相互靠近的一侧均固定安装有放置块，两个支撑板相互远离的一侧均开设有放置槽，两个放置块分别与两个放置槽相卡装，所述放置块的底部开设有移动槽，所述移动槽内滑动安装有移动板，移动板的底部固定安装有卡块，所述放置槽的底部内壁上开设有卡槽，卡块与对应卡槽相卡装。

优选的，两个移动槽相互靠近的一侧内壁上均开设有限位槽，两个移动板相互靠近的一侧均固定安装有限位块，限位块与对应的限位槽的侧壁滑动连接。

优选的，两个推动板相互靠近的一侧均开设有凹槽，两个移动板相互远离的一侧分别与两个凹槽相互远离的一侧内壁滑动连接，两个放置块相互远离的一侧均开设有滑动孔，滑动孔与对应的移动槽相连通，两个移动板相互远离的一侧分别贯穿两个滑动孔。

优选的，所述凹槽的底部内壁上开设有安装槽，移动板的底部固定安装有齿条，齿条的底部延伸至对应的安装槽内。

优选的，两个推动板相互远离的一侧均开设有转动孔，转动孔内转动安装有转动杆，转动杆上固定套设有位于安装槽内的齿轮，齿轮与对应的齿条相啮合，转动孔内设有轴承，轴承的外圈与转动孔的内壁固定连接，轴承的内圈与转动杆的外侧固定套接。

优选的，两个转动杆相互远离的一侧均固定安装有转动块，转动块位于推动板的外侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

通过滑板、固定槽、推动板、放置块、放置槽、移动板、卡块、卡槽、齿条、转动杆、齿轮和转动块相配合，通过转动块带动转动杆进行旋转，通过转动杆带动齿轮进行旋转，通过齿轮带动齿条向上进行移动，通过齿条带动移动板进行移动，通过移动板带动卡块向上进行移动，使卡块脱离卡槽，当两个卡块脱离两个卡槽移动到两个移动槽内时，拉动两个推动板朝着相互远离的方向进行移动，通过两个推动板带动两个滑板脱离两个固定槽，本实用新型便于对低温泵进行拆卸，便于对低温泵进行维修保养，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种新型玻璃板真空镀膜生产设备的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种新型玻璃板真空镀膜生产设备的A部分的结构示意图。

图中：1支撑板、2设备本体、3低温泵、4安装块、5滑孔、6滑板、7固定槽、8推动板、9放置块、10放置槽、11移动槽、12移动板、13卡块、14卡槽、15凹槽、16齿条、17安装槽、18转动孔、19转动杆、20齿轮、21轴承、22转动块、23滑动孔、24限位槽、25限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种新型玻璃板真空镀膜生产设备，包括设备本体2，设备本体2的底部固定安装有两个支撑板1，两个支撑板1之间设有位于设备本体2下方的低温泵3，低温泵3与设备本体2相配合，且低温泵3的两侧均固定安装有安装块4，两个安装块4相互远离的一侧均开设有固定槽7，两个支撑板1上均开设有滑孔5，滑孔5内滑动安装有滑板6，两个滑板6分别与两个固定槽7相配合，两个滑板6相互远离的一侧均固定安装有推动板8，两个推动板8相互靠近的一侧分别与两个支撑板1相互远离的一侧相接触，两个推动板8相互靠近的一侧均固定安装有放置块9，两个支撑板1相互远离的一侧均开设有放置槽10，两个放置块9分别与两个放置槽10相卡装，放置块9的底部开设有移动槽11，移动槽11内滑动安装有移动板12，移动板12的底部固定安装有卡块13，放置槽10的底部内壁上开设有卡槽14，卡块13与对应卡槽14相卡装，通过滑板6、固定槽7、推动板8、放置块9、放置槽10、移动板12、卡块13、卡槽14、齿条16、转动杆19、齿轮20和转动块22相配合，通过转动块22带动转动杆19进行旋转，通过转动杆19带动齿轮20进行旋转，通过齿轮20带动齿条16向上进行移动，通过齿条16带动移动板12进行移动，通过移动板12带动卡块13向上进行移动，使卡块13脱离卡槽14，当两个卡块13脱离两个卡槽14移动到两个移动槽11内时，拉动两个推动板8朝着相互远离的方向进行移动，通过两个推动板8带动两个滑板6脱离两个固定槽7，本实用新型便于对低温泵3进行拆卸，便于对低温泵3进行维修保养，结构简单，使用方便。

本实用新型中，两个移动槽11相互靠近的一侧内壁上均开设有限位槽24，两个移动板12相互靠近的一侧均固定安装有限位块25，限位块25与对应的限位槽24的侧壁滑动连接，两个推动板8相互靠近的一侧均开设有凹槽15，两个移动板12相互远离的一侧分别与两个凹槽15相互远离的一侧内壁滑动连接，两个放置块9相互远离的一侧均开设有滑动孔23，滑动孔23与对应的移动槽11相连通，两个移动板12相互远离的一侧分别贯穿两个滑动孔23，凹槽15的底部内壁上开设有安装槽17，移动板12的底部固定安装有齿条16，齿条16的底部延伸至对应的安装槽17内，两个推动板8相互远离的一侧均开设有转动孔18，转动孔18内转动安装有转动杆19，转动杆19上固定套设有位于安装槽17内的齿轮20，齿轮20与对应的齿条16相啮合，转动孔18内设有轴承21，轴承21的外圈与转动孔18的内壁固定连接，轴承的内圈与转动杆19的外侧固定套接，两个转动杆19相互远离的一侧均固定安装有转动块22，转动块22位于推动板8的外侧，通过滑板6、固定槽7、推动板8、放置块9、放置槽10、移动板12、卡块13、卡槽14、齿条16、转动杆19、齿轮20和转动块22相配合，通过转动块22带动转动杆19进行旋转，通过转动杆19带动齿轮20进行旋转，通过齿轮20带动齿条16向上进行移动，通过齿条16带动移动板12进行移动，通过移动板12带动卡块13向上进行移动，使卡块13脱离卡槽14，当两个卡块13脱离两个卡槽14移动到两个移动槽11内时，拉动两个推动板8朝着相互远离的方向进行移动，通过两个推动板8带动两个滑板6脱离两个固定槽7，本实用新型便于对低温泵3进行拆卸，便于对低温泵3进行维修保养，结构简单，使用方便。

工作原理：通过转动块22带动转动杆19进行旋转，通过转动杆19带动齿轮20进行旋转，通过齿轮20带动齿条16向上进行移动，通过齿条16带动移动板12进行移动，通过移动板12带动卡块13向上进行移动，使卡块13脱离卡槽14，当两个卡块13脱离两个卡槽14移动到两个移动槽11内时，拉动两个推动板8朝着相互远离的方向进行移动，通过两个推动板8带动两个滑板6脱离两个固定槽7，即可完成对低温泵3的拆卸，便于进行维修保养。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。