1.一种管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：包括依次连接的氮气源、送气管路、TMA瓶、送液管路、液体流量计（LFM01）、蒸发器（CEM）、工艺气体输出管路，所述氮气源与蒸发器之间还串接混气管路和第一质量流量计（FMC01），所述送气管路中串接送气阀、送液管路中串接送液阀、混气管路中串接混气阀（PV02），所述液体流量计和第一质量流量计连接控制器，控制器控制送气阀、送液阀和混气阀的启闭，并根据两流量计所测流量控制液体流量计和第一质量流量计的开启度。
2.如权利要求1所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述送气管路包括第一、第二送气管路，所述TMA瓶包括第一、第二TMA瓶，所述送液管路包括第一、第二送液管路；其中
第一送气管路、第一TMA瓶和第一送液管路依次串联后连接所述液体流量计（LFM01），第一送气管路中串接第一送气阀（PV10），第一送液管路中串接第一送液阀（PV11）；
第二送气管路、第二TMA瓶和第二送液管路依次串联后连接所述液体流量计（LFM01），第二送气管路中串接第二送气阀（PV08），第二送液管路中串接第二送液阀（PV09）；
所述控制器控制所述第一送气阀、第一送液阀、第二送气阀、第二送液阀的启闭。
3.如权利要求2所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述第一TMA瓶具有进气口和出液口、其进气口上设有第十二手动阀（MV12）、其出液口上设有第十三手动阀（MV13），第十二手动阀（MV12）至第一送气阀（PV10）之间连接第十八控制阀（PV18），第十三手动阀（MV13）至第一送液阀（PV11）之间依次连接第十九控制阀（PV19）、第二十五控制阀（PV25），第一送气阀（PV10）至第十八控制阀（PV18）之间的管路、和第二十五控制阀（PV25）至第十九控制阀（PV19）的管路、这两个管路之间连接第十五控制阀（PV15）；
所述第二TMA瓶具有进气口和出液口、其进气口上设有第十手动阀（MV10）、其出液口上设有第十一手动阀（MV11），第十手动阀（MV10）至第二送气阀（PV08）之间连接第十六控制阀（PV16），第十一手动阀（MV11）至第二送液阀（PV09）之间依次连接第十七控制阀（PV17）、第二十四控制阀（PV24），第二送气阀（PV08）至第十六控制阀（PV16）之间的管路、和第二十四控制阀（PV24）至第十七控制阀（PV17）的管路、这两个管路之间连接第十四控制阀（PV14）；
所述氮气源连接第二质量流量计（FMC02），第二质量流量计（FMC02）的流出口通过第六控制阀（PV06）连接第一送液阀（PV11）至第二十五控制阀（PV25）之间的管路，第二质量流量计（FMC02）的流出口通过第二十二控制阀（PV22）连接第二十五控制阀（PV25）至第十九控制阀（PV19）之间的管路；第二质量流量计（FMC02）的流出口通过第七控制阀（PV07）连接第二送液阀（PV09）至第二十四控制阀（PV24）之间的管路，第二质量流量计（FMC02）的流出口通过第二十三控制阀（PV23）连接第二十四控制阀（PV24）至第十七控制阀（PV17）的管路；
第一送气阀（PV10）至第十八控制阀（PV18）之间的管路通过第十三控制阀（PV13）耦合连接真空发生装置，第二送气阀（PV08）至第十六控制阀（PV16）之间的管路通过第十二控制阀（PV12）耦合连接真空发生装置；
所述控制器接收所述第二质量流量计（FMC02）所测计量，所述控制器控制所述第六至第十九控制阀的启闭、以及控制所述第二十二至第二十五控制阀（PV25）的启闭。
4.如权利要求3所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述第十二控制阀（PV12）和第十三控制阀（PV13）皆通过第二十控制阀（PV20）连接真空发生装置。
5.如权利要求4所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述第一质量流量计（FMC01）的流出口连接所述蒸发器（CEM）、还通过第一控制阀（PV01）连接所述工艺气体输出管路。
6.如权利要求5所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述工艺气体输出管路通过第五控制阀（PV05）连接真空发生装置，所述蒸发器（CEM）的排气口通过第四控制阀（PV04）连接真空发生装置。
7.如权利要求6所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述氮气源的输出口串接减压阀（PR002）和纯化器（P01）。
8.如权利要求7所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述工艺气体输出管路设有5个气体输出口。
9.如权利要求2至8任一项所述的管式PECVD炉TMA供气系统，其特征在于：所述第一TMA瓶和第二TMA瓶的底部皆安装有电子秤，电子秤将所称重量值发给所述控制器，控制器根据第一TMA瓶和第二TMA瓶中的TMA液量而控制其中一个TMA瓶供液。