半导体钨化硅装置覆盖环部件洗净喷砂专用保护治具的制作方法

文档序号:16867508发布日期:2019-02-15 20:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体钨化硅装置覆盖环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,包括治具本体,所述治具本体为圆环状结构,其结构包括外保护层和内保护层,所述外保护层和内保护层相连接,且外保护层高于内保护层;所述外保护层包括相连接的外覆盖层和外环绕圈,所述内保护层包括相连接的中间层和内环绕圈,所述内环绕圈底部设置有内覆盖层;所述外环绕圈与中间层连接;所述外环绕圈、中间层、内环绕圈之间围成一定位凹槽,其中外环绕圈的最低平面低于中间层的最低平面。

2.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置覆盖环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述外环绕圈与中间层垂直连接,所述内环绕圈内、外表面倾斜。

3.根据权利要求2所述的半导体钨化硅装置覆盖环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述内环绕圈的内表面下端连接有内环绕层,所述内环绕圈的内表面和内环绕层不在同一平面,且内环绕层和内覆盖层垂直连接。

4.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置覆盖环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述外环绕圈的最低平面高于内覆盖层。

5.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置覆盖环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述治具本体为不锈钢材质。

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