技术总结
本实用新型提供一种研磨装置，包括：研磨头结构；以及抽气装置，设置于研磨头结构上方，以除去研磨头结构上的污染物。本实用新型的研磨装置，通过抽气装置的设置，除去研磨头等结构上的颗粒等污染物，从而防止上述污染物掉落到研磨晶圆上，防止污染物对晶圆研磨效果的影响，改善颗粒散落风险，提升研磨效果，减少了晶圆因此而造成报废的情况，同时，对抽气装置进行改进，可移动的排气腔室有利于研磨装置的研磨头结构的更换。
技术研发人员：韩斌;辛君;林宗贤;吴龙江
受保护的技术使用者：德淮半导体有限公司
技术研发日：2018.11.30
技术公布日：2019.08.16