一种环形抛光机的保持机构的制作方法

本实用新型涉及一种对工件的高精度平面加工的环形抛光机，属于超精密的光学及电子半导体冷加工领域。

背景技术：

环形抛光机是利用面形复制的原理将口径远大于光学及电子半导体元件的磨盘的高精度面形复制到光学及半导体元件上，主要用于各种平面元件的高精度超光滑表面抛光。

目前，环形抛光机作为高精度平面光学及半导体元件主要加工手段，越来越受到光学及电子半导体冷加工行业的重视，环形抛光机的改进也日益精进，特别对于元件要求越来越高的背景下，提高设备精度稳定性和保持性显得尤为重要，也成为提高元件加工精度的必要手段。

技术实现要素：

实用新型目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种能提高设备保持性的环形抛光机的保持机构。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种环形抛光机的保持机构，包括三个以上的保持单元，所述保持单元沿磨盘周向分布，所述保持单元包括保持支柱、保持架、主动电机、主动轮、从动轮，所述调节气缸固定安装在柜体上，所述保持支柱固定安装在调节气缸上，所述保持架的固定端固定安装在保持支柱上，而所述主动轮安装在保持架的自由端上，所述主动电机固定安装在保持架上，而所述主动轮与主动电机传动连接；所述主动轮、从动轮位于磨盘的上方。

优选的：所述保持单元沿磨盘周向均匀分布。

优选的：所述保持架的自由端为弧形头。

优选的：所述保持架的自由端上开设有弧形槽，所述从动轮通过弧形槽与保持架的自由端相固定。

优选的：所述保持架的固定端设置有调节槽，通过调节螺栓穿过调节槽将保持架的固定端与保持支柱相固定。

本实用新型相比现有技术，具有以下有益效果：

本实用新型通过在磨盘周向设置有保持单元，对待加工工件的施加保持力，提高了设备保持性，进而提高了工件的加工精度。

附图说明

图1为实施例中环形抛光机的正视图

图2为图1中A-A向剖视图

图3为实施例中环形抛光机的俯视图

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

一种环形抛光机，如图1-3所示，包括PLC中控系统11、柜体12、保持机构、驱动机构以及磨盘3，其中，所述PLC中控系统11、保持机构安装在柜体12上，所述柜体12上设置有观察窗13，所述驱动机构设置于柜体12内，所述磨盘3设置于柜体12上，且所述驱动机构与磨盘3传动连接；所述柜体12设置有观察窗13。

所述保持机构包括三个的保持单元，在本实用新型的另一是实施例中，保持单元的个数为4个，保持单元的个数越多，施加在工件上的保持力越均匀，保持效果越好，所述保持单元沿磨盘3上周向均匀分布，所述保持单元包括保持支柱21、保持架22、主动电机23、主动轮24、从动轮25以及调节气缸，所述调节气缸固定安装在柜体12上，所述保持支柱21 固定安装在调节气缸上，所述保持架22的固定端固定安装在保持支柱21上，所述保持架22 的固定端设置有调节槽221，通过调节螺栓穿过调节槽221将保持架22的固定端与保持支柱 21相固定；所述调节螺栓为三个，在本实用新型的另一是实施例中，调节螺栓为四个，通过调节槽221的设置，可以调节保持架22深入到磨盘3内的长度，进而能够适用于各种尺寸的工件；而所述主动轮24安装在保持架22的自由端上，所述保持架22的自由端为弧形头222，采用弧形头的自由端，应该有效的减小在工作时，自由端所受到的摩擦力，所述保持架22的自由端上开设有弧形槽223，所述从动轮25通过弧形槽223与保持架22的自由端相固定，通过弧形槽223的设置，使得从动轮25可沿弧形槽223进行设置，对应于不同的工况，可以通过从动轮25沿弧形槽223进行设置加以适应；所述主动电机23固定安装在保持架22上，而所述主动轮24与主动电机23传动连接；所述主动轮24、从动轮25位于磨盘3的上方；

所述驱动机构包括蜗轮蜗杆减速机41、皮带轮42、双槽驱动链轮43、主轴51、主轴卸荷轴承重52、双槽从动链轮53、轴承54、机架6，其中，所述蜗轮蜗杆减速机41固定安装在柜体12底部，所述蜗轮蜗杆减速机41的一端与皮带轮42传动连接，皮带轮42与驱动轮通过皮带传动连接，所述驱动轮与驱动电机传动连接，所述蜗轮蜗杆减速机41的另一端与双槽驱动链轮43传动连接；所述主轴卸荷轴承重52固定安装在柜体12底部，所述机架6固定安装在柜体12内，所述主轴51的一端安装在主轴卸荷轴承重52上，同时所述主轴51通过轴承54与机架6转动连接；所述主轴51的另一端上设置有支撑盘31，所述磨盘3安装在支撑盘31上；所述支撑盘31设置有精度调节螺栓32，所述精度调节螺栓32穿过支撑盘31 与磨盘3连接，通过精度调节螺栓32的调节，即可调节磨盘3的位置，进而调节磨盘3的精度，PLC中控系统分别与调节气缸、主动电机23、驱动电机连接，分别对调节气缸、主动电机23、驱动电机进行控制。

使用的时候，将工件放置于磨盘3上，启动调节气缸，主动轮24、从动轮25下行压在工件上，启动主动电机23、驱动电机，驱动电机驱动驱动轮旋转，带动皮带轮42旋转，经过蜗轮蜗杆减速机41减速后，驱动双槽驱动链轮43转动，带动双槽从动链轮53转动，进而带动主轴51转动，进而带动磨盘3转动，另一方面，主动轮24在主动电机23的驱动下转动，在磨盘3的转动作用下，从动轮25跟随着转动。当工件抛光好，关闭主动电机23、驱动电机，磨盘3、主动轮24、从动轮25停止转动，调节气缸上行，主动轮24、从动轮25离开工件，取出加工好的工件即可。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。