1.一种基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法，其特征在于，采用等离子喷涂和冷喷涂高速沉积技术，在等离子体刻蚀腔表面形成均匀分布的防护涂层；该防护涂层具有双层复合结构：底层为等离子喷涂沉积的金属/y2o3涂层作为过渡层；最外层为高纯y2o3陶瓷涂层，采用冷喷涂高速沉积将y2o3陶瓷粉末高速沉积在金属/y2o3过渡层上；先将金属粉末和y2o3粉末进行干燥处理；其次，使用超音速等离子喷涂技术将金属粉末和y2o3粉末高速沉积在基体表面；然后，再通过冷喷涂高通量沉积技术将y2o3粉末沉积到超音速等离子喷涂金属/y2o3涂层表面，通过控制工艺过程参数得到y2o3陶瓷复合涂层。
2.根据权利要求1所述的基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
(1)将喷涂用的金属粉末和y2o3粉末干燥待用，金属粉末和y2o3粉末的纯度在99.9wt以上；
(2)采用等离子喷涂技术在基体材料表面制备金属/y2o3过渡层：
将干燥后的金属粉末和y2o3粉末置于等离子喷涂装置的送粉器中，使用等离子喷涂技术将金属和y2o3混合粉末熔融并沉积在等离子体刻蚀腔材料内表面形成金属/y2o3过渡层；
(3)冷喷涂高速沉积高纯y2o3涂层：
在步骤(2)得到的等离子喷涂金属/y2o3过渡层的基础上，进一步使用冷喷涂高速沉积技术在金属/y2o3过渡层上面继续沉积y2o3涂层，获得高纯、致密的y2o3涂层，最终获得(金属+y2o3)/y2o3复合防护涂层。
3.根据权利要求1或2所述的基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法，其特征在于，金属粉末是铝粉或钇粉中的一种或两种。
4.根据权利要求1或2所述的基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法，其特征在于，金属粉末和y2o3粉末的粒度为1～50μm。
5.根据权利要求1或2所述的基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法，其特征在于，使用超音速等离子喷涂技术将金属粉末和y2o3粉末高速沉积在基体表面时，利用等离子喷涂将金属粉末和y2o3粉末直接喷涂于等离子刻蚀腔体材料内表面，并控制喷涂参数：等离子喷涂使用所用主气为氩气，次气为氢气，送粉气为氮气时，其气体流量分别为10～80ml/min、5～220ml/min和5～80ml/min，喷涂距离为10～100mm，使混合粉末沉积在等离子体刻蚀腔的内表面，形成均匀分布的金属/y2o3防护涂层。
6.根据权利要求1或2所述的基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法，其特征在于，通过冷喷涂高通量沉积技术将y2o3粉末沉积到超音速等离子喷涂金属/y2o3涂层表面时，控制喷涂参数：使用压缩空气作为工作气体，工作气体温度为200～700℃，工作气体压力为1.5～3.0mpa，喷涂距离为10～60mm，将y2o3粉末沉积在等离子喷涂金属/y2o3涂层表面上，形成均匀分布的高纯y2o3涂层。
7.根据权利要求1所述的基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法，其特征在于，防护涂层的孔隙率为2％以下，陶瓷涂层与基体材料的界面结合强度为20～100mpa，涂层厚度为10～400μm。