抛光装置和抛光方法与流程

技术特征：

1.一种抛光装置，用于抛光待加工件，所述待加工件的数量为至少两个，其特征在于，所述抛光装置包括：

第一加工平台，一所述待加工件固定于所述第一加工平台；

第二加工平台，另一所述待加工件固定于所述第二加平台，并朝向固定于所述第一加工平台的待加工件；以及

动力调节机构，所述动力调节机构连接所述第一加工平台和所述第二加工平台，并驱动所述第一加工平台和所述第二加工平台运动，以使固定于第一加工平台的待加工件与第二加工平台的待加工件相互抵接并转动或相互分离。

2.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一加工平台具有用于固定待加工件的第一加工面，所述第二加工平台具有用于固定另一待加工件的第二加工面，所述第二加工面朝向所述第一加工面设置；

定义所述第一加工面投影于所述第二加工面形成投影平面，定义所述抛光装置具有穿过并垂直于所述投影平面的第一转动轴线，所述动力调节机构驱动所述第一加工平台和所述第二加工平台的至少一个沿所述第一转动轴线转动；

或者，定义所述抛光装置具有穿过并垂直于所述投影平面的第二转动轴线和第三转动轴线，所述动力调节机构驱动所述第一加工平台沿所述第二转动轴线转动和/或驱动所述第二加工平台沿所述第三转动轴线转动。

3.如权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，定义所述抛光装置具有平行所述第一转动轴线的第四转动轴线，所述动力调节机构驱动所述第一加工平台沿所述第四转动轴线自转；

且/或，定义所述抛光装置具有平行所述第一转动轴线的第五转动轴线，所述动力调节机构驱动所述第二加工平台沿所述第五转动轴线自转。

4.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述动力调节机构包括第一驱动组件和第一传动组件，所述第一驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一传动组件包括第一传动件和第二传动件，所述第一传动件连接所述第一加工平台和所述第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述第一传动件带动所述第一加工平台转动；

所述第二传动件连接所述第二加工平台和所述第二驱动件，所述第二驱动件驱动所述第二传动件带动所述第二加工平台转动。

5.如权利要求1至4中任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述动力调节机构还包括加压驱动构件，所述加压驱动构件驱动所述第一加工平台和/或所述第二加工平台运动，以使待加工件相互分离或抵接。

6.一种抛光方法，其特征在于，所述抛光方法采用如权利要求1至5中任一项所述的抛光装置对待加工件进行抛光，所述抛光方法的步骤包括：

将一待加工件安装于第一加工平台，并将另一待加工件安装于第二加工平台；

控制第一加工平台和第二加工平台相互靠近，以使两个待加工件相互抵接；

控制第一加工平台和/或第二加工平台在保持两个待加工件相互抵接的状态下转动；

在加工完成后，控制第一加工平台和/或第二加工平台相互分开。

7.如权利要求6所述的抛光方法，其特征在于，所述控制第一加工平台和/或第二加工平台在保持两个待加工件相互抵接的状态下转动的步骤包括：

控制第一加工平台和/或第二加工平台沿第一转动轴线公转，其中，定义所述第一加工面投影于所述第二加工面形成投影平面，第一转动轴线穿过并垂直于投影平面，第二加工平台的公转方向与第一加工平台的公转方向相反；

控制第一加工平台进行自转；

控制第二加工平台进行自转，其中第二加工平台的自转方向与第一加工平台的自转方向相反。

8.如权利要求7所述的抛光方法，其特征在于，所述控制第一加工平台和/或第二加工平台在保持两个待加工件相互抵接的状态下转动步骤之后还包括：

获取第一加工平台的第一工作参数，获取第二加工平台的第二工作参数；

将所述第一工作参数与所述第二工作参数比对，得到比对参数；

根据所述比对参数确认转速控制信息，根据所述转速控制信息控制所述第一加工平台和/或所述第二加工平台转动。

9.如权利要求6至8中任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述控制第一加工平台和/或第二加工平台在保持两个待加工件相互抵接的状态下转动的步骤和所述在加工完成后，控制第一加工平台和/或第二加工平台相互分开的步骤之间包括；

控制冷却液补给装置将冷却液注入两个待加工件的待加工面之间。

10.如权利要求6至8中任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述控制第一加工平台和/或第二加工平台在保持两个待加工件相互抵接的状态下转动的步骤和所述在加工完成后，控制第一加工平台和/或第二加工平台相互分开的步骤之间还包括：

检测两个待加工件相互抵接的表面的表面粗糙度；

将检测到的所述表面粗糙度与预设表面粗糙度对比，判断是否合格；

若合格，则判断加工完成。