一种超声振动研磨装置

技术特征：
1.一种超声振动研磨装置，其特征在于，包括超声振动装置、研磨工具和研磨平台，所述研磨工具与所述超声振动装置连接，所述研磨平台包括研磨机和与所述研磨机传动连接的研磨盘，研磨工具包括研磨头，所述研磨头转动装配在所述超声振动装置上，所述研磨头与所述超声振动装置形成谐振系统，所述研磨头与所述研磨盘滑动摩擦配合。2.根据权利要求1所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述研磨工具还包括轴承，所述轴承固定装配在所述超声振动装置上，所述研磨头与所述轴承的内圈过盈装配。3.根据权利要求2所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述研磨头包括与所述轴承连接的连接杆和与所述连接杆一体成型的端头，所述端头的直径大于所述连接杆的直径，所述端头与所述研磨盘滑动摩擦配合。4.根据权利要求1－3任一项所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述超声振动装置包括压电换能器和与所述压电换能器连接的变幅杆，所述变幅杆为二分之一波长谐振复合变幅杆，所述研磨头转动装配在所述变幅杆远离所述压电换能器的一端。5.根据权利要求4所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述压电换能器包括前盖、后盖、压电陶瓷片和电极片，所述压电陶瓷片和所述电极片布置在所述前盖与所述后盖之间，所述前盖与所述变幅杆连接，所述压电陶瓷片成对布置，相邻两个压电陶瓷片之间均布置有所述电极片，成对的两个压电陶瓷片的极化方向相反。6.根据权利要求4所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述变幅杆为阶梯形结构，所述变幅杆包括大径段和与所述大径段连接的小径段，所述大径段与所述压电换能器连接，所述小径段与所述研磨工具连接。7.根据权利要求6所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述变幅杆还包括法兰盘，所述法兰盘布置在所述大径段与所述小径段的连接位置处，所述法兰盘上周向间隔布置有减振孔。8.根据权利要求6所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述大径段的直径大于所述压电换能器的直径。9.根据权利要求6所述的超声振动研磨装置，其特征在于，所述小径段与所述大径段的面积比小于10％。

技术总结
本实用新型涉及研磨装置技术领域，公开了一种超声振动研磨装置，包括超声振动装置、研磨工具和研磨平台，研磨工具与超声振动装置连接，研磨平台包括研磨机和与研磨机传动连接的研磨盘，研磨工具包括研磨头，研磨头转动装配在超声振动装置上，研磨头与超声振动装置形成谐振系统，研磨头与研磨盘滑动摩擦配合。研磨头转动装配在超声振动装置上，并且研磨头和研磨盘滑动摩擦配合，在对材料进行研磨时，超声振动装置带动研磨头振动，利用超声振动的方式进行超声研磨，同时研磨盘在研磨机的带动下旋转，在滑动摩擦力的作用下研磨盘带动研磨头相对于研磨盘反向旋转，在达到超声研磨的同时，能够利用传统研磨加快研磨效率，保证研磨精度。度。度。


技术研发人员：黄卫清 张意 安大伟 李金桂
受保护的技术使用者：广州大学
技术研发日：2021.08.31
技术公布日：2022/1/14