技术特征：
1.一种连接机构，所述连接机构包括上法兰和下法兰，其特征在于，所述法兰开设有扼流槽，所述上法兰和下法兰之间有导波介质，所述导波介质隔绝出上下两个腔体，导波介质嵌合于扼流槽；所述扼流槽为横向的和纵向的两个相连通的槽段，两个槽段的深度相同，均为的奇数倍，其中λ为在上下两个腔体中传导的微波波长，ε为所述导波介质介电常数。2.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述扼流槽横向槽段深度和纵向槽段深度均为其中λ为在上下两个腔体中传导的微波波长，ε为所述导波介质介电常数。3.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述扼流槽宽度与导波介质的厚度相同。4.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述扼流槽设于上法兰或下法兰。5.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述扼流槽同时设于上法兰和下法兰。6.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述导波介质为石英玻璃、陶瓷或刚玉中任意一种。7.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述导波介质为一整块板材。8.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述导波介质是多块导波介质板材的组合。9.根据权利要求1所述的一种连接机构，其特征在于，所述扼流槽的横向槽壁上设有密封圈。10.一种微波等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，所述设备的上腔体和下腔体是由权利要求1-9任一项所述的连接机构进行连接。
技术总结
本实用新型涉及一种连接机构及包含该连接机构的微波等离子体化学气相沉积设备。本实用新型的技术方案为：一种连接机构，包括上法兰和下法兰，其特征在于，法兰开设有扼流槽，所述上法兰和下法兰之间有导波介质，所述导波介质隔绝出上下两个腔体，导波介质嵌合于扼流槽；所述扼流槽为横向的和纵向的两个相连通的槽段，两个槽段的深度相同，均为的奇数倍，其中λ为在上下两个腔体中传导的微波波长，ε为导波介质介电常数。本实用新型通过在连接法兰上设置扼流槽，在保证腔体密封性的同时也保证了微波能量不向外发生泄露，提高了微波等离子体化学气相沉积设备的使用安全性，减少了能量损耗。少了能量损耗。少了能量损耗。
技术研发人员：魏浩胤 彭国令
受保护的技术使用者：长沙新材料产业研究院有限公司
技术研发日：2021.09.27
技术公布日：2022/5/30