材料，以及
[0026].将该加热体上的悬浮液烧结为多孔烧结涂层。
[0027]悬浮液本身进一步包含(例如)溶剂及黏合成份。溶剂及黏合成份可在烧结步骤之前或期间蒸发。可在烧结期间和/或在独立步骤期间使所涂覆悬浮液干燥。当然可使用另一步骤(例如切割步骤)限定加热组件的准确且较佳的曲率。该切割步骤可(例如)通过水刀(water jet)或镭射切割来进行。悬浮液的涂覆可特别地通过喷射该悬浮液来进行。这使得所涂覆的悬浮液涂层具有最佳厚度，且因此使得烧结涂层具有均等的厚度。该方法特别地形成根据本发明的加热组件，且因此具有已结合本发明加热组件所详细论述的相同优点。
[0028]本发明方法的特征在于在低于钨的完全烧结温度的温度下进行烧结步骤。特别地，烧结温度为低于1800摄氏度。烧结步骤可例如在1400摄氏度与1500摄氏度之间的温度下进行。通过在较低温度下进行该烧结步骤，使得多孔烧结涂层的多孔性最佳化，并且发射率得以增加。
[0029]根据本发明，该方法的烧结步骤也可能在排除空气中氧的情况下进行。当然，替代气氛(即，氢气氛或氩气氛)也是可能的。由于从烧结工艺中排除了氧化反应，排除空气中的氧导致较干净的烧结步骤。
[0030]根据本发明，亦可能进行该方法以制造根据本发明的加热组件。
[0031]本发明的另一个目标是根据本发明方法提供具有大于或等于0.5的发射率的加热体。
[0032]结合附图对本发明进行更详细的论述。这些图式示意性地展示:
[0033]图1为本发明加热组件的第一实施方案，
[0034]图2为本发明加热组件的另一个实施方案，
[0035]图3为本发明加热组件的另一个实施方案，
[0036]图4为本发明加热组件的另一个实施方案，
[0037]图5a以横截面图展示本发明加热组件的一个实施方案，
[0038]图5b以较高分辨率展不图5a的实施方案，
[0039]图5c以俯视图展示图5a及图5b的实施方案，
[0040]图6a为本发明方法的第一步骤期间的板，
[0041]图6b为本发明方法的第二步骤的示意图，
[0042]图6c为本发明方法的第三步骤的示意图，
[0043]图6d为本发明方法的第四步骤的示意图。
[0044]在图1、图2、图3及图4中示出用以实施本发明加热组件10的不同的几何方式。举例而言，在图1中所公开的加热组件10包含实质上直线延伸的加热体20。加热体20实质上为板状，或具有实质上的平面维度。这意味着，相对于加热体20的长度及宽度，其厚度为相对小的。图1的加热体20在其上部及下部两侧上覆盖有多孔烧结涂层30。下文将结合图5a、图5b及图5c来解释与多孔烧结涂层相关的细节。
[0045]图2示出本发明加热组件10的另一个实施方案。其亦具有板状或实质上的平面维度。然而，加热组件10的此实施方案包含在实质上在一个单一平面中弯曲的加热体20。此加热体20在两侧上(即，上部及下部侧)也已经覆盖有多孔烧结涂层30。
[0046]图3表明具有复杂结构的加热组件10的可能性。举例而言，具有板状维度的加热组件10包含加热体20的若干直线区域，使其本身组合在一起成为复杂结构。如果这种由若干实质上直线构成的复杂结构与具有相同或类似结构的其它加热组件10组合，则可获得平面加热器的更复杂的结构(例如，特别是加热器的圆形结构)。
[0047]亦可能加热组件10包含具有几乎圆形延伸的弯曲结构。例如，在图4中示出此类实施方案。在图3及图4中，两个加热体20均至少部分地覆盖有多孔烧结涂层30。多孔烧结涂层的覆盖率特别地集中于加热体20的区域上，加热体20在MOCVD反应器使用期间面向靶材。
[0048]图5a、图5b及图5c示出多孔烧结涂层30的一个实施方案。如自图5a可见，加热组件10的加热体20在其上部侧及其下部侧覆盖有多孔烧结涂层30。特别地通过多孔烧结涂层30与加热体20材料的冶金接合使两个侧面22a及22b覆盖有多孔烧结涂层30。加热体20及多孔烧结涂层30两者均由包含至少90重量％钨的材料制成。特别地，加热体20的材料与多孔烧结涂层30的材料彼此相同。在图5a中，上部多孔烧结涂层30仅部分地覆盖加热体20。
[0049]图5b示出较高分辨率的多孔烧结涂层30。如图中可见，多孔烧结涂层30包含至少若干开放孔32。开放孔32为多孔烧结涂层30的孔，其在多孔烧结涂层30的表面上开口。自图5b的俯视图可见，由于突出表面区域，开放孔32导致多孔烧结涂层30的整体表面结构增加。如图5c可见，这些孔随机存在于多孔烧结涂层30中。
[0050]图6a至图6d示出用以实施本发明方法的一种可能性。在第一步骤中，提供板40。随后，例如在烧结步骤后，在切割步骤期间(例如使用水刀或镭射切割步骤)切割板40，从而获得一个或多个加热组件10的明确几何维度。当然亦可能在涂覆多孔烧结涂层30之前切割该板，从而获得一个或多个加热体20。
[0051]图6b示出第二步骤，即将包含具有超过90重量％钨的材料的一部分的悬浮液直接涂覆于板的至少一侧上。特别地，在将悬浮液喷射于板40的至少一侧上后，在第三步骤中(例如通过红外光线)对其进行干燥，如在图6c中可见。
[0052]本发明方法的最终步骤是在烧结腔室中进行烧结步骤。该步骤示意性地展示于图6d中。在该烧结步骤期间，在例如低于1800摄氏度的温度下，特别是在介于1400摄氏度与1500摄氏度之间的温度下对所涂覆悬浮液进行烧结。在该烧结步骤后，已将该悬浮液烧结为多孔烧结涂层，且因此可将板40直接用作具有多孔烧结涂层30的加热组件10或在切割步骤后用作具有多孔烧结涂层30的加热组件10。
[0053]【符号说明】
[0054]10加热组件
[0055]20加热体
[0056]22a 侧面
[0057]22b侧面
[0058]30多孔烧结涂层
[0059]32开放孔
[0060]40板
【主权项】
1.一种含有加热体(20)的加热组件(10)，该加热体(20)至少部分地直接被多孔烧结涂层(30)覆盖，其中该加热体(20)及该多孔烧结涂层(30)各自包含至少90重量％的钨。
2.根据权利要求1所述的加热组件(10)，其特征在于该加热体(20)实质上具有平面维度。
3.根据权利要求1或2所述的加热组件(10)，其特征在于该多孔烧结涂层(30)至少部分地冶金接合至该加热体(20)。
4.根据权利要求1至3中任一項所述的加热组件(10)，其特征在于该加热体(20)进一步包含均至少部分地被该多孔烧结涂层(30)覆盖的两个相对侧面(22a、22b)。
5.根据权利要求1至4中任一項所述的加热组件(10)，其特征在于该多孔烧结涂层(30)在外表面上包含多个开放孔(32)，其中所述开放孔(32)具有突出区域，该突出区域延伸超出大于由该多孔烧结涂层(30)覆盖的加热体(20)的表面区域的10%。
6.根据权利要求5所述的加热组件(10)，其特征在于所述开放孔(32)具有突出区域，该突出区域延伸超出大于由该多孔烧结涂层(30)覆盖的加热体(20)的表面区域的20%。
7.根据权利要求5所述的加热组件(10)，其特征在于所述开放孔(32)具有突出区域，该突出区域延伸超出大于由该多孔烧结涂层(30)覆盖的加热体(20)的表面区域的30%。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的加热组件(10)，其特征在于所述开放孔(32)具有突出区域，该突出区域延伸超出小于由该多孔烧结涂层(30)覆盖的加热体(20)的表面区域的70%。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的加热组件(10)，其特征在于所述开放孔(32)具有突出区域，该突出区域延伸超出小于由该多孔烧结涂层(30)覆盖的加热体(20)的表面区域的60%。
10.根据权利要求1至9中任一项所述加热组件(10)，其特征在于该多孔烧结涂层(30)由工业纯钨制成。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的加热组件(10)，其特征在于该加热体(20)在单一平面内至少部分弯曲。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的加热组件(10)，其特征在于该多孔烧结涂层(30)的发射率大于或等于0.5。
13.一种反应器，其包含腔室、晶座、以及权利要求1至12中任一项所述的加热组件(10)，所述晶座上安装有一个或多个晶圆。
14.一种用于制造加热组件(10)的方法，其包含以下步骤: 提供加热体(20)，其实质上在单一平面内延伸并且其由包含至少90重量％的钨的材料制成； 在该加热体的一个表面上至少部分地涂覆一种悬浮液，该悬浮液包含具有至少90重量％的鹤的颗粒材料；以及 将该加热体表面上的悬浮液烧结为多孔烧结涂层(30)。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于在该烧结步骤之前使该悬浮液干燥。
16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于在该烧结步骤期间使该悬浮液干燥。
17.根据权利要求14至16中任一项所述的方法，其特征在于在低于钨的完全烧结温度的温度下进行该烧结步骤。
18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于在低于摄氏1800度的温度下进行该烧结步骤。
19.根据权利要求14至18中任一项所述的方法，其特征在于在介于1400°C与1500°C之间的温度下进行该烧结步骤。
20.根据权利要求14至19中任一项所述的方法，其特征在于在排除空气中氧的情况下进行该烧结步骤。
21.根据权利要求14至20中任一项所述的方法，其特征在于在氢气气氛或氩气气氛中进行该烧结步骤。
22.—种根据权利要求14至21中任一项所述的方法制造的加热体(10)，其具有大于或等于0.5的发射率。
【专利摘要】本发明涉及一种含有加热体(20)的加热组件(10)，该加热体(20)至少部分地直接被多孔烧结涂层(30)覆盖，其中该加热体(20)及该多孔烧结涂层(30)各自包含至少90重量％的钨。
【IPC分类】H05B3-24, C23C16-46, H05B3-14
【公开号】CN104662197
【申请号】CN201380041878
【发明人】汉斯-彼得·马丁斯, 曼弗莱德·苏利克, 瓦迪姆·博古斯拉夫斯基
【申请人】普兰西欧洲股份公司, 威科仪器有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年8月5日
【公告号】EP2882884A1, US20140041589, WO2014023414A1