掩模框架组件和制造方法及有机发光显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施方式涉及用于薄膜沉积的掩模框架组件、用于薄膜沉积的掩模框架组件的制造方法以及有机发光显示装置的制造方法。
【背景技术】
[0002]通常，作为有源发光型显示元件，作为平坦式显示器之一的有机发光显示装置不仅具有视角宽、对比度优异的优点，而且还具有能够通过低电压驱动、呈轻量的扁平状并且响应速度快的优点，由此作为次世代显示元件而备受瞩目。
[0003]这种发光元件根据形成发光层的物质划分为无机发光元件和有机发光元件，并且相比于无机发光元件，有机发光元件具有亮度、响应速度等特性优秀、能够以彩色显示等的优点，因此最近在广泛进行着对其的开发。
[0004]有机发光显示装置通过真空沉积法形成有机膜和/或电极。然而，随着有机发光显示装置逐渐被高分辨率化，沉积工艺时所用的掩模的开放式狭缝(open slit)的宽度逐渐变窄并且其散布也需要被进一步减小。
[0005]此外，为了制造高分辨率有机发光显示装置，需要减少或去除阴影现象(shadoweffect) ο为此，目前在衬底与掩模紧贴的状态下进行沉积工艺，并且正在兴起用于改善衬底与掩模的附接度的技术的开发。
[0006]上述的【背景技术】是发明人为得出本发明而拥有的技术信息或者在得出本发明的过程中习得的技术信息，并不一定是在本发明的申请前已公开于一般公众的公知技术。
【发明内容】
[0007]本发明的实施方式提供了用于薄膜沉积的掩模框架组件、用于薄膜沉积的掩模框架组件的制造方法以及有机发光显示装置的制造方法。
[0008]根据本发明的一方面，提供了用于薄膜沉积的掩模框架组件，该用于薄膜沉积的掩模框架组件包括框架、掩模和第一固定部件，其中，所述框架具有开口部和支承部，所述掩模包括位于与所述开口部对应的位置处的沉积区域，所述第一固定部件被注入到所述掩模以贯穿所述掩模并且与所述框架和所述掩模进行固定而将所述掩模固定至所述框架。
[0009]此外，所述第一固定部件可以通过电铸镀层法和非电解镀层法中的至少一种方法被注入到所述掩模。
[0010]此外，所述第一固定部件可以包括铁、镍、铜、锡、金、不锈钢(SUS)、因瓦合金(Invar alloy)、因康镍合金(Inconel alloy)、可伐合金(Kovar alloy)、铁合金、镍合金中的至少一种。
[0011]此外，可以在所述框架的所述支承部形成有第一槽，可以在所述掩模上与所述第一槽对应的位置处形成有第一孔，所述第一固定部件可以被注入到所述第一槽和所述第一孔。
[0012]此外，所述第一槽所形成的内部空间的大小可以被形成为不同于所述第一孔所形成的内部空间的大小，以使所述第一固定部件注入到所述第一槽的内部空间中的一部分与所述掩模的底面的一部分接触，或者使所述第一固定部件注入到所述第一孔的内部空间中的一部分与所述支承部的顶面的一部分接触。
[0013]此外，所述第一槽和所述第一孔中的至少一个可以被形成为锥形。
[0014]此外，所述第一孔可以具有注入部和连接部，其中，所述注入部供所述第一固定部件注入，所述连接部被形成为从所述注入部延伸并且供所述第一固定部件移动至所述第一槽。
[0015]此外，所述注入部的半径可以被形成为比所述连接部的半径大。
[0016]此外，所述框架可以具有与所述第一槽相隔而成的第二槽，所述掩模可以在与所述第二槽对应的位置处具有与所述第一孔相隔而成的第二孔，并且所述用于薄膜沉积的掩模框架组件还可以包括注入到所述第二槽和所述第二孔的第二固定部件。
[0017]此外，所述掩模可以被形成为棒形态。
[0018]根据本发明的另一方面，提供了用于薄膜沉积的掩模框架组件的制造方法，包括将第一槽形成在框架的支承部并且将第一孔形成在掩模的边缘部与所述第一槽对应的位置处的步骤、对准所述第一槽与所述第一孔的步骤、以及将第一固定部件注入到所述第一孔并且使所述第一固定部件填充至所述第一槽以固定所述框架与所述掩模的步骤。
[0019]此外，所述第一固定部件可以通过电铸镀层法和非电解镀层法中的至少一种方法被注入。
[0020]此外，所述第一固定部件可以在100摄氏度以下的温度下被注入。
[0021]此外，所述第一固定部件可以包括铁、镍、铜、锡、金、不锈钢(SUS)、因瓦合金(Invar alloy)、因康镍合金(Inconel alloy)、可伐合金(Kovar alloy)、铁合金、镍合金中的至少一种。
[0022]此外，所述第一槽所形成的内部空间的大小可以被形成为不同于所述第一孔所形成的内部空间的大小，以使所述第一固定部件注入到所述第一槽的内部空间中的一部分与所述掩模的底面的一部分接触，或者使所述第一固定部件注入到所述第一孔的内部空间中的一部分与所述支承部的顶面的一部分接触。
[0023]此外，所述第一槽和所述第一孔中的至少一个可以被形成为锥形。
[0024]此外，所述第一孔可以具有注入部和连接部，其中，所述注入部供所述第一固定部件注入，所述连接部被形成为从所述注入部延伸并且供所述第一固定部件移动至所述第一槽。
[0025]此外，所述注入部的半径可以被形成为比所述连接部的半径大。
[0026]根据本发明的又一方面，提供了有机发光显示装置的制造方法，其涉及包括在衬底上彼此相对的第一电极和第二电极以及设置于所述第一电极与所述第二电极之间的有机膜的有机发光显示装置的制造方法，其中通过用于薄膜沉积的掩模框架组件沉积并形成所述有机膜或所述第二电极。
[0027]通过下面的附图、权利要求的范围和发明的详细说明，除了上述以外的其他侧面、特征和优点也将变得明确。
[0028]根据本发明的实施方式，用于薄膜沉积的掩模框架组件、用于薄膜沉积的掩模框架组件的制造方法以及有机发光显示装置的制造方法通过最小化衬底与掩模之间的间隔并且减小掩模的热变形可以精密地将有机发光元件形成在衬底上。
【附图说明】
[0029]图1是示出根据本发明的实施方式的用于薄膜沉积的掩模框架组件的分解立体图。
[0030]图2是示出图1的用于薄膜沉积的掩模框架组件的剖视图。
[0031]图3a至图3e是示出图1的用于薄膜沉积的掩模框架组件的变型例的局部剖视图。
[0032]图4是示出根据本发明的另一实施方式的用于薄膜沉积的掩模框架组件的局部剖视图。
[0033]图5是设置有图1的用于薄膜沉积的掩模框架组件的沉积装置的剖视图。
[0034]图6是示出使用图5所示的沉积装置制造的有机发光显示装置的视图。
[0035]图7是示出图1的用于薄膜沉积的掩模框架组件的制造方法的方框图。
【具体实施方式】
[0036]本发明可以实施多种变型并且可以具有多种实施方式，并且旨在附图中示出特定实施方式并对其进行详细说明。通过参照结合附图详细说明的实施方式，本发明的效果和特征以及实现其的方法将变得明确。然而，本发明并不限于下面所公开的实施方式，而是可以多种形态实现。在下面的实施方式中，“第一”、“第二”等的措辞并不具有限定的含义，而是以将一个构成要素与其他构成要素区分开的目的使用。此外，除非文中另有明确指示，否则单数的表述包括复数的表述。此外，“包括”或“具有”等的措辞是指说明书中所述记载的特征或构成要素的存在，而不是提前排除一个以上的其他特征或构成要素的附加可能性。
[0037]此外，为了说明的便利，附图中构成要素的大小可以被夸大或被缩小。例如，为了说明的便利，附图中所示的各构件的大小和厚度被任意示出，因此本发明并不一定限定于图中所示。此外，当能够以不同的方式实现某些实施方式时，特定的工艺可以按照与所说明的顺序不同的顺序执行。例如，连续说明的两个工艺可以实质上同时执行，也可以按照与所说明的顺序相反的顺序进行。
[0038]下面，将参照附图对本发明的实施方式进行详细说明，并且在参照附图进行说明时，将对相同或对应的构成要素赋予相同的附图标记，并且将省略对其的重复描述。
[0039]图1是示出根据本发明的实施方式的用于薄膜沉积的掩模框架组件100的分解立体图，图2是示出图1的用于薄膜沉积的掩模框架组件100的剖视图。
[0040]参照图1和图2，用于薄膜沉积的掩模框架组件100可以包括框架10和掩模20。
[0041]框架10可以与掩模20结合以支承掩模20。框架10可以包括开口部10a和支承部10b，其中，开口部10a可供沉积物质通过，支承部10b形成在开口部10a的外侧。框架10可由金属或合成树脂等制成，并且可以形成为矩形形状并具有一个以上的开口部10a，但是实施的思想并不限于此，而是可以形成为圆形或六边形等多种形态。
[0042]支承部10b是与掩模20的边缘部20b接触的部分。支承部10b可以具有第一槽12。第一槽12可形成为多个。第一槽12的截面不限定于特定形状，而是可以形成为多边形、圆形或椭圆形。然而，为了说明的便利，下文中将以