一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于薄膜太阳能光伏电池技术领域，应用于PECVD工件架保养维护，特别涉及一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置。
【背景技术】
[0002]目前，为使每个电极在沉积炉内镀膜工艺保持稳定性，需要等离子体增强型化学气相沉积装置的电极接触必须良好。因此，要求定期不定期进行工件架保养维护。工件架保养维护过程中，经常发现电极杆与电极块和电极块与正极板的连接易出现松动氧化情况，造成导通电阻增大，载流能力下降，进而在工艺中易出现反射、镀膜不良、功率过低状况。由于作业空间狭小，现有电极块上三颗沉头螺丝和现有电极块绝缘盒上四颗内六角螺丝难以拆卸和安装且电极块绝缘盒密封性能不佳。
[0003]另外，在工件架出炉、下料、移动过程中，镀膜形成的膜层会脱落形成硅粉等，因此工件架清洗时，高压水枪喷出的高压水柱夹杂硅粉等有可能进入电极块绝缘盒内和绝缘盒缝隙之间，这样就为PECVD镀膜埋下了隐患:镀膜时，由于靠近电极块前四氟块处的屏蔽管完全裸露出来，没有采取有效预防措施，在叠加电场下出现反射，造成屏蔽管异常镀膜，严重影响工艺继续进行，导致产品功率过低，甚至报废。所以下一次工件架使用之前花费较多时间和人力去进行屏蔽管异常镀膜的处理，由于固定侧板的螺丝杆的阻碍且空间狭小，造成屏蔽管的两个支撑铝块上紧固屏蔽管螺栓拆装利用现有的工具进行操作十分不便，而且会严重缩短屏蔽管和电极侧板的使用次数，增加工件架的清洗频次，从而造成人力、物力等成本增加。
【发明内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置。
[0005]本实用新型是通过以下技术方案实现的:
[0006]—种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置，包括电极杆、套设于电极杆上的屏蔽管、通过内六角螺栓I连接固定屏蔽管的支撑铝块、正极板和电极块，还包括:
[0007]屏蔽管绝缘套，其套设于工件架屏蔽管上、且紧贴后端支撑铝块；
[0008]四氟块，其安装于屏蔽管和屏蔽管绝缘套尾端；
[0009]密封插口式电极块绝缘盒体，其上开口通过过盈配合安装于正极板上，且其一侧带有四氟块密封插槽，带有四氟块密封插槽一侧安装于四氟块上；
[0010]以及，密封插口式电极块绝缘盒盖，其通过插口、插槽安装于密封插口式电极块绝缘盒体上；
[0011]所述正极板上设有正极板凹槽，所述电极块为通孔式电极块，该通孔式电极块通过过盈配合安装、并通过内六角螺柱固定于正极板凹槽内；
[0012]所述电极杆尾端通过内六角螺栓II固定于通孔式电极块底部。
[0013]作为优化，所述通孔式电极块上设有3个圆柱形通孔。
[0014]作为优化，所述内六角螺柱和内六角螺栓II均为3个。
[0015]本实用新型的有益效果是:
[0016]本实用新型，结构简单、设计科学、使用方便，主要有以下优点:
[0017]1、通过通孔式电极块的设置，为在工件架保养维护电极块更换作业过程中起到方便快捷拆卸的作用，且通孔式电极块通过过盈配合安装、并通过内六角螺柱固定于正极板凹槽内，可以起到增大电极块与工件架正极板的有效接触面积的作用，避免原有结构易出现螺丝松动而产生接触不良，从而保证电极块的物理特性，杜绝接触不良造成产品功率过低，且可以方便快捷更换电极块，避免原有结构由于作业空间狭小，更换较为困难；
[0018]2、通过设置密封插口式电极块绝缘盒体和密封插口式电极块绝缘盒盖，一、通过将带四氟块密封插槽一体的密封插口式电极块绝缘盒体上开口过盈配合安装在正极板上可以避免因清洗工件架时，绝缘盒进水造成电极块及电极块与电极杆有效接触面的氧化；
二、可以使密封插口式电极块绝缘盒体和密封插口式电极块绝缘盒盖，两者通过插槽交错叠加和倒角咬合实现密封，防止因电极块绝缘盒密封不良而漏射频与屏蔽管和正极板与屏蔽管形成的叠加电场，造成屏蔽管异常镀膜，进而造成产品报废同时方便观察电极杆与电极块连接及氧化情况和快捷更换电极杆电极块；
[0019]3、通过设置屏蔽管绝缘套，其为防止镀膜时，由于靠近电极块前四氟块处的屏蔽管完全裸露出来，没有采取有效预防措施，在叠加电场作用下易出现反射，造成异常镀膜，严重影响工艺继续进行，导致产品报废；
[0020]4、本实用新型能够在不影响目前工艺要求的情况下，有效快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常，保护电极接触的稳定性和屏蔽管物理特性，提高电极杆、电极块和屏蔽管寿命，延长使用周期，大大提高设备稼动率，降低产品报废率，减少人体的劳动强度；可以大幅度的降低成本，对于大规模生产具有极大的推广价值。
【附图说明】
[0021]下面结合附图对一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置作进一步说明:
[0022]图1是一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置的结构示意图；
[0023]图2是图1中通孔式电极块的主视结构示意图；
[0024]图3是图1中通孔式电极块的左视结构示意图；
[0025]图4是图1中通孔式电极块的俯视结构示意图；
[0026]图5是图1中密封插口式电极块绝缘盒体的主视结构示意图；
[0027]图6是图1中密封插口式电极块绝缘盒体的左视结构示意图；
[0028]图7是图1中密封插口式电极块绝缘盒体的仰视结构示意图；
[0029]图8是图1中密封插口式电极块绝缘盒盖的主视结构示意图；
[0030]图9是图1中密封插口式电极块绝缘盒盖的左视结构示意图；
[0031]图10是图1中密封插口式电极块绝缘盒盖的俯视结构示意图；
[0032]图11是图1中屏蔽管绝缘套的主视结构示意图；
[0033]图12是图1中屏蔽管绝缘套的左视结构示意图；
[0034]图13是图1中四氟块的主视结构示意图；
[0035]图14是图1中四氟块的左视结构示意图。
[0036]图中:1为电极杆、2为屏蔽管、3为支撑铝块、4为内六角螺栓1、5为屏蔽管绝缘套、6为四氟块、7为正极板、8为内六角螺柱、9为正极板凹槽、10为电极块、11为内六角螺栓I1、12为密封插口式电极块绝缘盒体、13为密封插口式电极块绝缘盒盖、14为通孔、15为四氟块密封插槽。
【具体实施方式】
[0037]为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。
[0038]如图1-图14所示，一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置，包括电极杆1、套设于电极杆I上的屏蔽管2、通过内六角螺栓I 4连接固定屏蔽管2的支撑铝块3、正极板7和电极块10，还包括:
[0039]屏蔽管绝缘套5，其