专利名称：多晶硅氢化炉水冷电极的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种加热电极，特别是一种多晶硅氢化炉的水冷电极。
背景技术：
利用近年来，光伏产业迅猛发展，多晶硅需求量剧增。多晶硅核心设备氢化炉的生产工艺条件非常苛刻，四氯化硅需要在1200°C以上的高温下进行反应。如此高的温度，对设备的安全性和稳定性提出了很高的要求。由于氢化炉电极电压高，布置紧密，电极与电极之间距离近，极易产生安全问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种多晶硅氢化炉水冷电极，用于克服上述氢化炉因电极电压高，电极与电极之间距离近而容易出现的不安全问题。 本实用新型中的多晶硅氢化炉水冷电极包括有加热棒、石墨头、电极棒、内插水
管、电源夹板、冷却水进口接头、冷却水出口接头。其中所述加热棒设置在石墨头上端，所述
石墨头设置在所述电极棒上端，所述电源夹板夹置在所述电极棒上，所述内插水管与所述
冷却水进口接头组合后从所述电极棒的下端插入所述电极棒中心的空腔，并延伸至空腔上
方，所述冷却水进口接头与所述电极棒的下端密封连接，所述冷却水出口接头设置在所述
冷却水进口接头的一侧，与所述电极棒与所述内插水管外壁之间的空腔连通。 本实用新型中的多晶硅氢化炉水冷电极具有冷却效果好，密封性强，结构简单，占
用空间小，操作简便的优点，能有效防止电路短路和拉弧，保证了电极长期可靠安全工作。
图1是本实用新型中多晶硅氢化炉水冷电极的结构示意图。[0007] 图中 1加热棒 2石墨头3电极棒 4内插水管5电源夹板 6冷却水进口接头 7冷却水出口接头
具体实施方式下面将结合附图对本实用新型中的具体实施例作进一步详细说明。[0012] 如图1所示，本实用新型中的多晶硅氢化炉水冷电极包括有加热棒1、石墨头2、电极棒3、内插水管4、电源夹板5、冷却水进口接头6、冷却水出口接头7。加热棒1设置在石墨头2上端，石墨头2设置在电极棒3上端，电源夹板5夹置在电极棒3上，内插水管4下端与冷却水进口接头6组合后从电极棒3的下端插入电极棒3中心的空腔，内插水管4的上端插入到空腔上方，冷却水进口接头6与电极棒3下端密封连接，冷却水出口接头7设置在冷却水进口接头6的侧壁上，方位可以自由调节，并与电极棒3与内插水管4之间的空室连通。电流经过电源夹板5依次流经电极棒3、石墨头2和加热棒l，加热棒1通电后开始工作。冷却水从冷却水进口接头6流入内插水管4向上到达电极棒3空腔上方，开始冷却电极棒3，再沿内插水管4与电极棒3之间的空腔向下，从冷却水出口接头7流出，有效冷电极棒及加热棒所产的热，确保氢化炉的完全生产。 以上仅为本实用新型的较佳实施方式，并非用于限定本实用新型的保护范围。
权利要求一种多晶硅氢化炉水冷电极，包括有加热棒(1)、石墨头(2)、电极棒(3)、内插水管(4)、电源夹板(5)、冷却水进口接头(6)、冷却水出口接头(7)，其特征在于，所述加热棒(1)设置在石墨头(2)上端，所述石墨头(2)设置在所述电极棒(3)上端，所述电源夹板(5)夹置在所述电极棒(3)上，所述内插水管(4)与所述冷却水进口接头(6)组合后从所述电极棒(3)的下端插入所述电极棒(3)中心的空腔，并延伸至空腔上方，所述冷却水进口接头(6)与所述电极棒(3)的下端密封连接，所述冷却水出口接头(7)设置在所述冷却水进口接头(6)的一侧，与所述电极棒(3)与所述内插水管(4)外壁之间的空腔连通。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉水冷电极，其包括有加热棒、石墨头、电极棒、内插水管、电源夹板、冷却水进口接头、冷却水出口接头。其中所述加热棒设置在石墨头上端，所述石墨头设置在所述电极棒上端，所述电源夹板夹置在所述电极棒上，所述内插水管与所述冷却水进口接头组合后从所述电极棒的下端插入所述电极棒中心的空腔，并延伸至空腔上方，所述冷却水进口接头与所述电极棒的下端密封连接，所述冷却水出口接头设置在所述冷却水进口接头的一侧，与所述电极棒与所述内插水管外壁之间的空腔连通。可以有效冷却电极棒及加热棒所产的热，确保氢化炉的完全生产。
文档编号C01B33/03GK201485285SQ20092020902
公开日2010年5月26日 申请日期2009年9月1日 优先权日2009年9月1日
发明者周积卫, 李东曦, 王希刚, 陈杰 申请人:上海森松新能源设备有限公司