专利名称：翅片式氢化加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种氢化加热器，特别是一种提高四氯化硅氢化转化率的氢化加热器。
背景技术：
如何提高四氯化硅氢化转化率，是多晶硅行业共同面临的技术难题，氢化转化率低是导致多晶硅企业生产成本高和环保压力大的重要原因之一，国内外的多晶硅厂商在探索提高四氯化硅转化率的方法方面做了大量工作。经过长期研究工作和生产实践，氢化炉加热器是提高四氯化硅氢化转化率的关键因素，氢化加热器的材质、尺寸面积和使用寿命一直以来制约着四氯化硅氢化转化率的提高，改进氢化加热器结构形式引起了国内外多晶硅业内人士高度重视。现有技术的缺点是1.氢化加热器的材质主要是C-C纤维编织体和石墨，主要采用石墨材质，使用时间过长会引起脆断和加热器表表面发生氧化反应生成碳化硅，拆炉时无法取下加热棒；2.加热器上棒和连接桥采用螺纹连接方式，紧固连接桥时有空隙，生产过程中反应气体进入空隙受热膨胀，气体和热量无法及时散去，导致连接处温度过高；3.上下加热棒采用套筒(电极管)承插式连接，由于连接处存在空隙，常发生熔断现象；4.电极脚与电极采用贴面连接，用石墨纸夹贴在电极脚和电极间避免空隙出现发生断裂。实际生产中电极脚熔断频次高，导致氢化炉异常开停。
实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种结构简单，成本低廉，能提高四氯化硅氢化转化率，且提高氢化加热器的使用寿命的翅片式氢化加热器。本实用新型采用的技术方案如下本实用新型的翅片式氢化加热器，包括连接桥、电极和电极脚，所述连接桥将至少两个电极连接在一起，所述电极上螺纹连接有电极脚。由于采用了上述结构，改上下加热棒(电极)与套筒的连接方式为加热器整棒，加热棒(电极)下端与电极脚为螺纹连接，电极脚与加热棒下部连接端开小孔，目的是及时散除电极脚与加热棒下端连接处的热量，避免发生熔断现象，防止加热棒熔断。本实用新型的翅片式氢化加热器，结构简单，成本低廉，能提高四氯化硅氢化转化率，且提高氢化加热器的使用寿命。本实用新型的翅片式氢化加热器，所述电极的截面呈十字翅片结构。由于采用了上述结构，电极的截面呈十字翅片结构，增大电极加热棒的接触面积， 从而使得其散热效果良好，且保证电极脚与加热棒下部连接端具有小孔，及时散除电极脚与加热棒下端连接处的热量，避免发生熔断现象，防止加热棒熔断。本实用新型的翅片式氢化加热器，所述连接桥与电极之间采用承插加螺纹连接。由于采用了上述结构，接桥与电极之间采用承插加螺纹连接，解决加热棒与连接桥的连接方式，避免局部温度过高现象，且加热棒(电极)上端与连接桥为承插结构和用螺母紧固，下端与电极脚为螺纹连接，防止加热棒熔断，保证其使用寿命长久。综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是1.本实用新型的翅片式氢化加热器，结构简单，成本低廉，能提高四氯化硅氢化转化率，且提高氢化加热器的使用寿命；2.本实用新型的翅片式氢化加热器，避免局部温度过高现象，防止加热棒熔断。
图1是本实用新型的翅片式氢化加热器的结构示意图；图2是图1中的A-A剖视图。图中标记1-连接桥、2-电极、3-螺纹、4-电极脚。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图1和图2所示，本实用新型的翅片式氢化加热器，包括连接桥1、电极2和电极脚4，所述连接桥1将至少两个电极2连接在一起，所述连接桥1与电极2之间采用承插加螺纹连接，所述电极2上螺纹连接有电极脚4，所述电极2的截面呈十字翅片结构。本实用新型的翅片式氢化加热器，翅片式氢化加热器提高了加热面积，为四氯化硅和氢气的反应提供更大的反应热场，提高四氯化硅的转化率。翅片式加热器有利改善D50 石墨加热器在生产运行过程中的熔断现象，提高氢化加热器的使用寿命。因此本实用新型的翅片式氢化加热器，结构简单，成本低廉，能提高四氯化硅氢化转化率，且提高氢化加热器的使用寿命；避免局部温度过高现象，防止加热棒熔断。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.翅片式氢化加热器，包括连接桥(1)、电极(2)和电极脚(4)，其特征在于所述连接桥(1)将至少两个电极(2)连接在一起，所述电极(2)上螺纹连接有电极脚(4)。
2.如权利要求1所述的翅片式氢化加热器，其特征在于所述电极(2)的截面呈十字翅片结构。
3.如权利要求1或2所述的翅片式氢化加热器，其特征在于所述连接桥(1)与电极 (2)之间采用承插加螺纹连接。
专利摘要本实用新型公开了一种翅片式氢化加热器，属于多晶硅技术领域。本实用新型的翅片式氢化加热器，包括连接桥、电极和电极脚，所述连接桥将至少两个电极连接在一起，所述电极上螺纹连接有电极脚。本实用新型的翅片式氢化加热器，结构简单,成本低廉,能提高四氯化硅氢化转化率,避免局部温度过高现象，防止加热棒熔断，提高氢化加热器的使用寿命。
文档编号C01B33/107GK202201715SQ20112033841
公开日2012年4月25日 申请日期2011年9月9日 优先权日2011年9月9日
发明者徐德懿, 沈伟, 郑小刚 申请人:四川瑞能硅材料有限公司