专利名称：一种三氯氢硅合成湿法除尘装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种三氯氢硅合成湿法除尘装置。
背景技术：
二氯氢娃是多晶娃生广系统的重要原料，在二氯氢娃的合成环节中，因为原材料硅粉，氯气和氢气中带有水份，会伴随着三氯氢硅的合成而产生二氧化硅等固体物质，这些物质会缓慢的在管道和设备中沉积下来，会严重堵塞管道和设备。目前普遍采用的杂质处理方法是在三氯氢硅合成炉之后增加一套湿法除尘系统， 利用四氯化硅喷淋液体对三氯氢硅合成气进行喷淋，将合成气中的硅氯高聚物、硅渣等洗涤下来，同时，合成气中的三氯化铝还会溶解在四氯化硅喷淋液中，使湿法除尘系统处理后的合成气中含有的杂质减少，避免了合成气后续处理系统堵塞。湿法除尘后的喷淋液再通过精馏纯化，将所携带的硅氯高聚物、硅渣以及溶解的三氯化铝等杂质进行浓缩分离，并以釜液的形式排出废液废渣处理系统，进行无害化处理，分离后的喷淋液又循环进湿法除尘系统进行喷淋。然而，由于喷淋液精馏纯化系统设备过于复杂和庞大，处理能力有限，釜液中杂质浓度较低时，会造成大量四氯化硅浪费，加重了废液废渣处理系统的处理量，会使多晶硅生产的物耗增加，增加了生产成本；釜液中杂质含量较高时，杂质依然会导致釜液排放管道、 再沸器堵塞，进而堵塞整个喷淋液精馏纯化系统。硅氯高聚物、硅渣以及三氯化铝等杂质所形成的混合物，其化学性质非常活泼，一旦接触空气就会发生燃烧或爆炸，在处理湿法除尘后嗔淋液精懼纯化系统堵塞时，存在着极大的危险性。
实用新型内容本实用新型其目的就在于提供一种三氯氢硅合成湿法除尘装置，能有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅生产系统堵塞。具有结构简单、成本低的特点，且维护方便。实现上述目的而采取的技术方案，包括湿法除尘釜，所述湿法除尘釜中部连接三氯氢硅合成气体输入管，湿法除尘釜底部连接沉淀罐，湿法除尘釜下端经料液泵连接水冷却器，水冷却器出口连接湿法除尘釜顶端，所述湿法除尘釜顶端设有三氯氢硅气体输出管。与现有技术相比本实用新型具有以下优点。本实用新型构思巧妙、成本低廉，能有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅合成湿法除尘喷淋液精馏纯化系统堵塞，具有结构简单、成本低的特点，且维护方便。
以下结合附图
对本实用新型作进一步详述。附图为本装置结构原理示意图。图中1三氯氢硅合成气体输入管、2湿法除尘釜、3水冷却器、4料液泵、5沉淀罐、 6三氯氢娃气体输出管。
具体实施方式
本装置包括湿法除尘釜2，如附图所示，所述湿法除尘釜2中部连接三氯氢硅合成气体输入管1，湿法除尘釜2底部连接沉淀罐5，湿法除尘釜2下端经料液泵4连接水冷却器3，水冷却器3出口连接湿法除尘釜2顶端，所述湿法除尘釜2顶端设有三氯氢娃气体输出管6。实施例，如附图所示，包括湿法除尘釜2、水冷却器3和沉淀罐5，所述湿法除尘釜2 的中部连接三氯氢硅合成气体输入管I，三氯氢硅合成气体进入湿法除尘釜2后向上流动， 由湿法除尘釜中的冷却的部分三氯氢硅液体由料液泵4输送至水冷却器3将料液进一步冷却后输送至湿法除尘釜的顶部进行向下喷淋，将进入湿除尘气体中含的二氧化硅等固体通过喷淋沉降至湿法除尘釜底部的锥形釜底。二氧化硅等固体经过沉降以后定期将固体排放至沉淀罐5中进行沉淀后进一步处理。工作原理三氯氢硅合成气体输送至湿法除尘釜中部进入湿法除尘釜，沿着釜内填料的空隙向上流动，水冷却器中输送至湿法除尘釜顶部向下喷淋，沿着釜内填料向下流动，喷淋的三氯氢硅液体将三氯氢硅合成气体中夹带的固体二氧化硅带入湿法除尘釜的锥形釜底经沉淀后定期将固体排放至沉淀罐进行沉淀。同时湿法除尘釜锥形釜底上部的三氯氢硅清洁液体经料液泵输送至水冷却器进行冷却后再次输送回湿法除尘进行喷淋，这样循环使用保证其三氯氢硅合成气体排出湿法除尘釜的气体已经去除二氧化硅等固体的三氯氢硅气体输送至生产系统。沉淀罐中的固液物料经沉淀后将进行进一步处理。本装置去除了三氯氢硅合成气体中的固体杂质，保证了三氯氢硅在进入后续生产系统中的顺利输送，避免了由于二氧化硅等固体在后续生产管道流通时因为堵塞而造成系统危险性增加，以及在管道堵塞后造成大的维修工程。本装置能有效的去除了三氯氢硅合成气体中的固体杂质，并保证了其正常的输送量，保证生产产量不受除尘的影响。同时收集的二氧化硅等固体在进一步的处理后保证其环保和经济效益。
权利要求1.一种三氯氢硅合成湿法除尘装置，包括湿法除尘釜(2)，其特征在于，所述湿法除尘釜(2 )中部连接三氯氢硅合成气体输入管(I)，湿法除尘釜(2 )底部连接沉淀罐(5 )，湿法除尘釜(2)下端经料液泵(4)连接水冷却器(3)，水冷却器(3)出口连接湿法除尘釜(2)顶端， 所述湿法除尘釜(2)顶端设有三氯氢硅气体输出管(6)。
专利摘要一种三氯氢硅合成湿法除尘装置，包括湿法除尘釜，所述湿法除尘釜中部连接三氯氢硅合成气体输入管，湿法除尘釜底部连接沉淀罐，湿法除尘釜下端经料液泵连接水冷却器，水冷却器出口连接湿法除尘釜顶端，所述湿法除尘釜顶端设有三氯氢硅气体输出管。能有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅生产系统堵塞。具有结构简单、成本低的特点，且维护方便。
文档编号C01B33/107GK202346776SQ201120505368
公开日2012年7月25日 申请日期2011年12月7日 优先权日2011年12月7日
发明者丁建峰 申请人:诺贝尔(九江)高新材料有限公司