1.一种耐蚀性部件，其包含有含钐及铝且具有钙钛矿型结构的氧化物。
2.根据权利要求1所述的耐蚀性部件，其中，
所述耐蚀性部件中的所述氧化物的比例为80体积％以上。
3.根据权利要求1或2所述的耐蚀性部件，其中，
所述氧化物中的钐:铝(摩尔比)的范围是73:27～9:91。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的耐蚀性部件，其中，
在压力小于0.5Pa的气氛下，对具有1mm厚度的所述耐蚀性部件施加2.0kV的电压60秒钟，从而使1英寸的硅晶圆吸附于所述耐蚀性部件之后，停止施加电压时的剩余吸附力为0.1～0.9kPa。
5.一种静电卡盘用部件，其包含权利要求1～4中任一项所述的耐蚀性部件。
6.一种耐蚀性部件的制造方法，其包括：
混合氧化铝粉末及氧化钐粉末和溶剂而制作包含所述氧化铝粉末及所述氧化钐粉末的浆料的工序；
干燥所述浆料而制作包含所述铝粉末及所述氧化钐粉末的混合粉末，并成型该混合粉末而制作成型体的工序；及
烧制所述成型体而制作烧结体的工序。
7.根据权利要求6所述的耐蚀性部件的制造方法，其中，
还包括对所述烧结体进行退火的工序。