一种改进的改良西门子法多晶硅还原炉底盘的制作方法

文档序号:12338899阅读:来源:国知局
技术总结
一种改进的改良西门子法多晶硅还原炉底盘,本发明涉及一种多晶硅还原炉底盘的改进。解决现有多晶硅还原炉生产产能小、能耗高,生成的多晶硅棒质量不均匀,气体原料的一次转化率较低的问题。在底盘的中心位置设有底盘中心进气喷嘴,在进气喷嘴一环环形中心线及进气喷嘴二环环形中心线上设有进气喷嘴;在底盘气体出口环环形中心线上设有4个底盘气体出口;电极一环环形中心线、电极二环环形中心线、电极三环环形中心线、电极四环环形中心线及电极五环环形中心线上设有电极。与原有的24对棒还原炉相比,36对棒还原炉可以提升产率,降低能耗,提高混合气体一次转化率,利用了原有设备,节约成本,保证生产。

技术研发人员:赵丽丽;宋爱利;赵宏月;张胜涛
受保护的技术使用者:哈尔滨化兴软控科技有限公司
文档号码:201610921498
技术研发日:2016.10.21
技术公布日:2017.01.04

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