一种扩散炉喷淋进气管的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种扩散炉喷淋进气管。

背景技术：

近年来，光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。当前，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电。

在太阳能电池片的制备工艺中，扩散工艺是核心之一，其直接关系到电池片的核心性能。目前，普遍采用的液态源管式扩散法。然而，实际应用中发现，在扩散炉的尾部进气管处，因高温工艺气体的冷凝导致偏磷酸凝结堆积，在石英炉管的尾部容易出现偏磷酸结晶体，腐蚀相关石英件，造成寿命降低和品质异常。

有鉴于此，开发一种新的扩散炉喷淋进气管，解决现有技术中在石英炉尾部容易出现偏磷酸结晶体的缺陷，显然是非常必要的。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种扩散炉喷淋进气管，解决现有石英炉管的尾部容易出现偏磷酸结晶体，腐蚀相关石英件，造成寿命降低和品质异常等缺点。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种扩散炉喷淋进气管，所述喷淋进气管的外周设有用于与扩散炉炉体管之间密封连接的球碗，所述喷淋进气管上自球碗向喷淋进气管尾部方向设有至少一个“十”字形气孔，所述“十”字形气孔由4个贯穿于所述喷淋进气管管体的直孔组成，所述直孔均位于喷淋进气管的同一横截面上，且相邻所述直孔的孔心轴之间的夹角为90°。

优选地，所述直孔的孔径为0.1～0.5mm。进一步的技术方案中，所述直孔的孔径为0.3mm。

上述技术方案中，所述喷淋进气管上设有喷淋孔。

优选地，位于同一横截面上的所述直孔的孔径大小相同或不同。

优选地，所述“十”字形气孔的数量为2个。

优选地，所述“十”字形气孔的数量为32个。

优选地，位于最外侧的所述“十”字形气孔与球碗的距离不大于160mm。

优选地，相邻所述“十”字形气孔之间的距离为2～160mm。

进一步的技术方案中，相邻所述“十”字形气孔之间的距离为2～15mm。

优选地，所述喷淋进气管上靠近进气端处设有磨砂喷淋方向标志。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1．本实用新型在喷淋进气管上设“十”字形气孔，在整个使用周期内，始终有微量的工艺气体对管尾进行吹扫，以使得管尾气体保持有气体隔离管内高温工艺气体，从而达到降低或避免偏磷酸冷凝堆积的目的，最终提高石英件的寿命；

2.本实用新型的结构简单，易于制备，成本较低，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图。

图2是图1中D-D处的截面示意图。

图3是本实用新型实施例二的结构示意图。

其中：1、喷淋孔；2、球碗；3、“十”字形气孔；4、磨砂喷淋方向标志；5、直孔。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：

参见图1所示，一种扩散炉喷淋进气管，包括喷淋进气管，喷淋进气管上设有喷淋孔1，喷淋进气管的外周设有用于与扩散炉炉体管之间密封连接的球碗2，所述喷淋进气管上自球碗向喷淋进气管尾部方向设有至少一个“十”字形气孔3，“十”字形气孔3包括4个贯穿于所述喷淋进气管管体的直孔，参见图2所示，所述直孔5均位于喷淋进气管的同一横截面上，相邻直孔5的孔心轴之间的夹角为90°

本实施例中，“十”字形气孔3设有2个，相邻“十”字形气孔3之间距离为10mm，直孔5的孔径为0.3mm，最外侧的“十”字形气孔3距球碗2的距离为20mm，喷淋进气管上靠近进气端处设有磨砂喷淋方向标志4，磨砂喷淋方向标志4包括两条2×20、深0.5mm的凹槽，凹槽的方向与喷淋孔的方向在同一直线上。

实施例二：

参见图3所示，一种扩散炉喷淋进气管，包括喷淋进气管，喷淋进气管上设有喷淋孔1，喷淋进气管的外周设有用于与扩散炉炉体管之间密封连接的球碗2，喷淋进气管上自球碗向喷淋进气管尾部方向设有至少一个“十”字形气孔3，“十”字形气孔3包括4个贯穿于所述喷淋进气管管体的直孔5，直孔5均位于喷淋进气管的同一横截面上，相邻直孔5的孔心轴之间的夹角为90°。

本实施例中，“十”字形气孔3设有32个，相邻“十”字形气孔3之间距离为5mm，直孔5的孔径为0.2mm，最外侧的“十”字形气孔3距球碗的距离为160mm，喷淋进气管上靠近进气端处设有磨砂喷淋方向标志4，磨砂喷淋方向标志4包括两条2×20、深0.5mm的凹槽，凹槽的方向与喷淋孔的的方向在同一直线上。