一种多晶硅铸锭炉的制作方法

文档序号:11040365阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭炉,所述铸锭炉内设置有坩埚、护板、盖板、底板,坩埚放置在底板上,护板设置在坩埚外侧,盖板设置在坩埚上方,其特征在于:所述护板四周设置有保温材料,所述保温材料设置在所述护板上方的位置。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的保温材料为石墨碳毡。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的石墨碳毡为石墨硬毡或石墨软毡。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的石墨硬毡或石墨软毡通过石墨螺杆和螺帽固定在石墨护板上或通过石墨胶粘合在护板上。

5.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述保温材料底端距护板底端的距离为5cm-20cm。

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