一种多晶硅铸锭炉的制作方法

文档序号:11040365阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉,该铸锭炉内设置有坩埚、护板、盖板、底板,坩埚放置在底板上,护板设置在坩埚外侧,盖板设置在坩埚上方,在所述护板四周的上方位置还设置有保温材料。由于保温材料仅设置在护板上方的位置,靠近坩埚底部的区域温度相对较高,有利于增强硅液对流,减少杂质的富集。在长晶阶段,不仅能够有效抑制坩埚侧壁形核,向坩埚中心杂乱生长,同时还能避免与竖直方向生长的晶粒冲突,形成大量晶体缺陷,由此得到的长晶界面更加平整的高质量硅锭。

技术研发人员:陈红荣;胡动力;徐云飞;黄亮亮
受保护的技术使用者:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
文档号码:201620889097
技术研发日:2016.08.17
技术公布日:2017.05.24

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