一种熔硅炉的制作方法

文档序号:12233038阅读:428来源:国知局
一种熔硅炉的制作方法与工艺

本实用新型涉及硅料回收技术领域,尤其是一种熔硅炉。



背景技术:

硅料是半导体和光伏领域的主要生产原料,在硅片的生产的过程中,会产生各种各样硅料边角料和废料,这些硅料由于形状大小各不相同,在使用时非常不便,为此,需要将这些形状大小各不相同的硅料进行熔化后再冷却成指定的形状以方便生产使用。硅料的熔化通常使用熔硅炉进行,目前,所使用的熔硅炉,包括支架,所述支架上设置有壳体,所述壳体内设置有石墨埚,所述石墨埚的外表面缠绕有加热线圈,加热线圈上连接有电源插头,所述壳体与支架通过可转动结构连接,所述可转动结构采用转轴驱动方式,即在壳体的两侧分别设置两个转轴,两个转轴分别通过轴承固定在支架上,在转轴的末端连接有驱动轮,并设置一个使驱动轮转动的驱动电机,这种方式虽然结构简单,但是由于装满有硅液的石墨埚质量较重,采用此方法驱动电机需要较大的驱动力才能使壳体转动,驱动电机承受的负荷较大,容易损坏,同时,转轴承载较大的旋转作用力,也容易被扭断,一旦转轴断裂或驱动电机在驱动壳体转动时发生损坏,壳体会发生掉落或石墨埚内的液体很容易洒落出来,很容易砸伤或烫伤操作人员,发生生产事故,安全性不高。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种安全性较高的熔硅炉。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:该熔硅炉,包括支架,所述支架上设置有壳体,所述壳体内设置有石墨埚,所述石墨埚的外表面缠绕有加热线圈,加热线圈上连接有电源插头,所述壳体与支架通过可转动结构连接,所述可转动结构包括牵引绳、卷线设备、第一支撑轴、第二支撑轴、定滑轮,所述第一支撑轴、第二支撑轴对称设置在壳体的外侧壁上且第一支撑轴的中心轴线与第二支撑轴的中心轴线互相重合,第一支撑轴的中心轴线与石墨埚的竖直中心轴线互相垂直且相交,所述第一支撑轴、第二支撑轴分别通过轴承固定在支架上,所述定滑轮位于壳体的一侧,且定滑轮和石墨埚的竖直中心轴线所在的平面与第一支撑轴的中心轴线互相垂直,所述定滑轮通过立柱固定在支架上,所述卷线设备固定在支架上,所述定滑轮所在的水平面高于第一支撑轴所在的水平面,所述定滑轮所在的水平面高于卷线设备所在的水平面,且壳体与卷线设备分别位于定滑轮的两侧,所述壳体的下端固定有挂钩,所述牵引绳的一端固定在挂钩上,另一端绕过定滑轮后去卷线设备相连接,当卷线设备工作时,带动牵引绳移动。

进一步的是,所述壳体上连接有石墨V形槽,所述石墨V形槽的一端连接在壳体上端且延伸至石墨埚的内表面,所述石墨V形槽的另一端斜向上延伸。

进一步的是,所述加热线圈为电磁线圈。

进一步的是,所述卷线设备为自动巻线机。

本实用新型的有益效果是:该熔硅炉的可转动结构在使壳体转动时,只需驱动卷线设备,使牵引绳移动,牵引绳移动时会拉动壳体底部使壳体绕第一支撑轴、第二支撑轴转动,该结构卷线设备承受拉力,其只需使用较小的拉力即可使壳体转动,同时,第一支撑轴、第二支撑轴不承受旋转作用力,卷线设备和第一支撑轴、第二支撑轴不容易被损坏,不容易发生事故,安全性较高,而且卷线设备和第一支撑轴、第二支撑轴的使用寿命也大大提高。

附图说明

图1是本实用新型所述熔硅炉的结构示意图;

图2是本实用新型所述熔硅炉的俯视图;

图中标记说明:支架1、壳体2、石墨埚3、加热线圈4、石墨V形槽5、可转动结构11、牵引绳1101、卷线设备1102、第一支撑轴1103、第二支撑轴1104、定滑轮1105、立柱1106、挂钩1107。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

如图1至2所示,该熔硅炉,包括支架1,所述支架1上设置有壳体2,所述壳体2内设置有石墨埚3,所述石墨埚3的外表面缠绕有加热线圈4,加热线圈4上连接有电源插头,所述壳体2与支架1通过可转动结构11连接,所述可转动结构11包括牵引绳1101、卷线设备1102、第一支撑轴1103、第二支撑轴1104、定滑轮1105,所述第一支撑轴1103、第二支撑轴1104对称设置在壳体2的外侧壁上且第一支撑轴1103的中心轴线与第二支撑轴1104的中心轴线互相重合,第一支撑轴1103的中心轴线与石墨埚3的竖直中心轴线互相垂直且相交,所述第一支撑轴1103、第二支撑轴1104分别通过轴承固定在支架1上,所述定滑轮1105位于壳体2的一侧,且定滑轮1105和石墨埚3的竖直中心轴线所在的平面与第一支撑轴1103的中心轴线互相垂直,所述定滑轮1105通过立柱1106固定在支架1上,所述卷线设备1102固定在支架1上,所述定滑轮1105所在的水平面高于第一支撑轴1103所在的水平面,所述定滑轮1105所在的水平面高于卷线设备1102所在的水平面,且壳体2与卷线设备1102分别位于定滑轮1105的两侧,所述壳体2的下端固定有挂钩1107,所述牵引绳1101的一端固定在挂钩1107上,另一端绕过定滑轮1105后去卷线设备1102相连接,当卷线设备1102工作时,带动牵引绳1101移动。该熔硅炉的可转动结构11在使壳体2转动时,只需驱动卷线设备1102,使牵引绳1101移动,牵引绳1101移动时会拉动壳体2底部使壳体2绕第一支撑轴1103、第二支撑轴1104转动,该结构卷线设备1102承受拉力,其只需使用较小的拉力即可使壳体2转动,同时,第一支撑轴1103、第二支撑轴1104不承受旋转作用力,卷线设备1102和第一支撑轴1103、第二支撑轴1104不容易被损坏,不容易发生事故,安全性较高,而且卷线设备1102和第一支撑轴1103、第二支撑轴1104的使用寿命也大大提高。

当硅料熔化后,需要将石墨埚3内的硅液倒出冷却成型,方便使用,为了方便将石墨埚3内的硅液倒出,所述壳体2上连接有石墨V形槽5,所述石墨V形槽5的一端连接在壳体2上端且延伸至石墨埚3的内表面,所述石墨V形槽5的另一端斜向上延伸。通过设置石墨V形槽5,在倒出硅液时,只需将石墨埚3倾斜一定角度,石墨埚3内的硅液便可以沿着石墨V形槽5流入到指定的容器内。

进一步的,为了提高加热效果,所述加热线圈4为电磁线圈。为了方便收线和放线,所述卷线设备1102为自动巻线机。

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