技术特征：
技术总结
本发明公开了一种氮硅烷及其生产方法、氮化硅及其生产方法，氮硅烷的生产方法包括以下步骤：(1)将卤硅烷溶于过量的有机溶剂中得到卤硅烷溶液，有机溶剂的沸点低于卤硅烷的沸点；(2)将卤硅烷溶液经过喷雾后以喷雾的形式与氨气反应，生成氮硅烷，有机溶剂蒸发潜热吸收反应放出的热量，过量的有机溶剂控制反应的温度不高于有机溶剂的沸点或者不高于比有机溶剂沸点高20℃的温度。卤硅烷溶液以喷雾方式与氨气接触比较充分，反应较为均匀，氮硅烷的生产方法用有机溶剂的蒸发潜热吸收卤硅烷与氨气反应放出的热量，控制所述反应的温度不高于所述有机溶剂的沸点或者不高于比所述有机溶剂沸点高20℃的温度，提高了反应温度控制的稳定性。
技术研发人员：夏高强;范协诚;银波;黄彬;杜新;罗飞飞;张吉武;宋高杰
受保护的技术使用者：新疆晶硕新材料有限公司
技术研发日：2017.02.07
技术公布日：2018.08.14