一种用于导电玻璃的蚀刻液及其制备方法与流程

文档序号:11169901阅读:1210来源:国知局

本发明涉及蚀刻液技术领域,具体涉及一种用于导电玻璃的蚀刻液及其制备方法。



背景技术:

在平板显示器的制备工艺过程中,需要使用导电玻璃。随着生产厂家越来越多的采用将导电玻璃进行减薄的方法,导电玻璃的蚀刻成为重要的问题。通常使用的减薄方法有两种,一种是物理方法,即使用抛光粉进行抛光研磨,这种方法减薄时间长,精度不好控制,产品良率低;另一种方法为使用蚀刻液的化学蚀刻法,这种方法减薄时间短,设备投入小,且减薄液的成分简单,逐渐成为了主流技术方法。

现有技术的蚀刻液对基板的蚀刻速率较快,蚀刻量不容易控制,有的无法有效溶解硅酸盐,有的会产生较强的电离作用,导致蚀刻速率不易控制,有时蚀刻液会产生大量气泡。因此,需要提供一种蚀刻液及蚀刻导电玻璃的方法,能够有效去除杂质,提高产品合格率,同时可以对导电玻璃基板的厚度控制提供保证。



技术实现要素:

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种用于导电玻璃的蚀刻液及其制备方法,该蚀刻液可以通过对导电玻璃基板表面的杂质进行溶解和蚀刻,达到去除基板表面杂质的技术效果,从而有效解决基板由于颗粒状附着而降低良率的问题。

本发明解决技术问题采用如下技术方案:

一种用于导电玻璃的蚀刻液,包括以下重量份的原料:氢氟酸30~50份、磷酸20~30份、氟化钙5~10份、硫酸铵1~6份、硫酸镁1~6份、磷酸钾5~10份、氟化氢钾1~6份、硅酸钠6~12份、氟硼酸钠5~10份、琼脂1~5份、海藻酸钠1~6份、纳米二氧化硅1~3份、防冻剂0.2~0.6份、阴离子表面活性剂0.01~0.05份、硫酸溶液40~60份、去离子水120~160份;其中,硫酸溶液的质量浓度为10~20%。

优选地,所述蚀刻液包括以下重量份的原料:氢氟酸42份、磷酸25份、氟化钙8份、硫酸铵2份、硫酸镁3份、磷酸钾6份、氟化氢钾3份、硅酸钠10份、氟硼酸钠7份、琼脂3份、海藻酸钠5份、纳米二氧化硅2份、防冻剂0.5份、阴离子表面活性剂0.02份、硫酸溶液50份、去离子水150份。

优选地,所述防冻剂为乙二醇、丙三醇、二甘醇、乙二醇丁醚、乙二醇丁醚醋酸酯、二甲亚砜中的一种或多种的组合。

优选地,所述阴离子表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、十二烷基磺酸钠、脂肪醇醚硫酸钠、乙氧基化脂肪酸甲酯磺酸钠中的一种或多种的组合。

上述用于导电玻璃的蚀刻液的制备方法,包括以下步骤:

(1)在冰浴条件下,使用恒压滴液漏斗将硫酸溶液缓慢滴加到去离子水中,混合搅拌30~50min后,再缓慢加入氢氟酸、磷酸,搅拌均匀后,放入超声清洗机中超声处理5~10min,得到混合酸溶液;

(2)将混合酸溶液、氟化钙、硫酸铵、硫酸镁、磷酸钾、氟化氢钾、硅酸钠、氟硼酸钠、琼脂、海藻酸钠、纳米二氧化硅、防冻剂、阴离子表面活性剂依次加入反应釜中,升温至100~150℃,搅拌30~50min后,陈化30~50小时得到该蚀刻液。

优选地,所述超声处理的频率范围为30~40khz,超声功率为600w,超声温度为40~60℃。

优选地,所述反应釜采用耐酸不锈钢反应釜,搅拌转速为60~80r/min。

优选地,所述步骤(2)升温至135℃,搅拌40min后,陈化42小时得到该蚀刻液。

与现有技术相比,本发明具有如下的有益效果:

(1)本发明的蚀刻液,可以通过对导电玻璃基板表面的杂质进行溶解和蚀刻,达到去除基板表面杂质的技术效果,从而有效解决基板由于颗粒状附着而降低良率的问题。

(2)本发明的蚀刻液,选择了多种含氟物质,如氢氟酸、氟化钙、氟化氢钾、氟硼酸钠、作为氟离子的来源,配比合理,协同作用,调节了蚀刻液活性,防止反应过快或过慢,配合多种硫酸盐、磷酸盐、琼脂、海藻酸钠,纳米二氧化硅,起到缓释作用,防止腐蚀面的继续腐蚀,有利于形成均匀细微的毛面,减小蚀刻面的厚度,保持显示屏的画面真实美观。

(3)本发明通过各原料的性能协同互补,蚀刻液处理后的导电玻璃透光率和雾化度较高,厚度质量稳定,表面不易留下划痕,具有良好的经济效益。

具体实施方式

以下结合具体实施例对发明作进一步详细的描述。

实施例1

一种用于导电玻璃的蚀刻液,包括以下重量份的原料:氢氟酸42份、磷酸25份、氟化钙8份、硫酸铵2份、硫酸镁3份、磷酸钾6份、氟化氢钾3份、硅酸钠10份、氟硼酸钠7份、琼脂3份、海藻酸钠5份、纳米二氧化硅2份、防冻剂丙三醇0.5份、阴离子表面活性剂十二烷基苯磺酸钠0.02份、硫酸溶液50份、去离子水150份;其中,硫酸溶液的质量浓度为20%。

上述用于导电玻璃的蚀刻液的制备方法,包括以下步骤:

(1)在冰浴条件下,使用恒压滴液漏斗将硫酸溶液缓慢滴加到去离子水中,混合搅拌40min后,再缓慢加入氢氟酸、磷酸,搅拌均匀后,放入超声清洗机中超声处理8min,得到混合酸溶液;超声处理的频率范围为30~40khz,超声功率为600w,超声温度为46℃。

(2)将混合酸溶液、氟化钙、硫酸铵、硫酸镁、磷酸钾、氟化氢钾、硅酸钠、氟硼酸钠、琼脂、海藻酸钠、纳米二氧化硅、防冻剂、阴离子表面活性剂依次加入耐酸不锈钢反应釜,搅拌转速为60r/min,升温至135℃,搅拌40min后,陈化42小时得到该蚀刻液。

实施例2

一种用于导电玻璃的蚀刻液,包括以下重量份的原料:氢氟酸36份、磷酸27份、氟化钙5份、硫酸铵3份、硫酸镁2份、磷酸钾7份、氟化氢钾5份、硅酸钠8份、氟硼酸钠6份、琼脂3份、海藻酸钠5份、纳米二氧化硅1份、防冻剂乙二醇0.2份、阴离子表面活性剂十二烷基磺酸钠0.03份、硫酸溶液50份、去离子水134份;其中,硫酸溶液的质量浓度为17%。

上述用于导电玻璃的蚀刻液的制备方法,包括以下步骤:

(1)在冰浴条件下,使用恒压滴液漏斗将硫酸溶液缓慢滴加到去离子水中,混合搅拌45min后,再缓慢加入氢氟酸、磷酸,搅拌均匀后,放入超声清洗机中超声处理7min,得到混合酸溶液;超声处理的频率范围为30~40khz,超声功率为600w,超声温度为48℃。

(2)将混合酸溶液、氟化钙、硫酸铵、硫酸镁、磷酸钾、氟化氢钾、硅酸钠、氟硼酸钠、琼脂、海藻酸钠、纳米二氧化硅、防冻剂、阴离子表面活性剂依次加入耐酸不锈钢反应釜,搅拌转速为65r/min,升温至140℃,搅拌36min后,陈化34小时得到该蚀刻液。

实施例3

一种用于导电玻璃的蚀刻液,包括以下重量份的原料:氢氟酸42份、磷酸26份、氟化钙7份、硫酸铵3份、硫酸镁5份、磷酸钾8份、氟化氢钾3份、硅酸钠10份、氟硼酸钠6份、琼脂3份、海藻酸钠5份、纳米二氧化硅2份、防冻剂二甘醇0.5份、阴离子表面活性剂脂肪醇醚硫酸钠0.03份、硫酸溶液52份、去离子水150份;其中,硫酸溶液的质量浓度为17%。

上述用于导电玻璃的蚀刻液的制备方法,包括以下步骤:

(1)在冰浴条件下,使用恒压滴液漏斗将硫酸溶液缓慢滴加到去离子水中,混合搅拌42min后,再缓慢加入氢氟酸、磷酸,搅拌均匀后,放入超声清洗机中超声处理6min,得到混合酸溶液;超声处理的频率范围为30~40khz,超声功率为600w,超声温度为55℃。

(2)将混合酸溶液、氟化钙、硫酸铵、硫酸镁、磷酸钾、氟化氢钾、硅酸钠、氟硼酸钠、琼脂、海藻酸钠、纳米二氧化硅、防冻剂、阴离子表面活性剂依次加入耐酸不锈钢反应釜,搅拌转速为80r/min,升温至150℃,搅拌50min后,陈化40小时得到该蚀刻液。

实施例4

一种用于导电玻璃的蚀刻液,包括以下重量份的原料:氢氟酸47份、磷酸23份、氟化钙8份、硫酸铵2份、硫酸镁1份、磷酸钾5份、氟化氢钾3份、硅酸钠10份、氟硼酸钠7份、琼脂3份、海藻酸钠5份、纳米二氧化硅3份、防冻剂乙二醇丁醚醋酸酯0.5份、阴离子表面活性剂乙氧基化脂肪酸甲酯磺酸钠0.03份、硫酸溶液55份、去离子水150份;其中,硫酸溶液的质量浓度为12%。

上述用于导电玻璃的蚀刻液的制备方法,包括以下步骤:

(1)在冰浴条件下,使用恒压滴液漏斗将硫酸溶液缓慢滴加到去离子水中,混合搅拌50min后,再缓慢加入氢氟酸、磷酸,搅拌均匀后,放入超声清洗机中超声处理10min,得到混合酸溶液;超声处理的频率范围为30~40khz,超声功率为600w,超声温度为60℃。

(2)将混合酸溶液、氟化钙、硫酸铵、硫酸镁、磷酸钾、氟化氢钾、硅酸钠、氟硼酸钠、琼脂、海藻酸钠、纳米二氧化硅、防冻剂、阴离子表面活性剂依次加入耐酸不锈钢反应釜,搅拌转速为80r/min,升温至120℃,搅拌47min后,陈化45小时得到该蚀刻液。

实施例5

一种用于导电玻璃的蚀刻液,包括以下重量份的原料:氢氟酸50份、磷酸28份、氟化钙6份、硫酸铵3份、硫酸镁2份、磷酸钾8份、氟化氢钾6份、硅酸钠11份、氟硼酸钠8份、琼脂4份、海藻酸钠5份、纳米二氧化硅3份、防冻剂丙三醇0.5份、阴离子表面活性剂十二烷基磺酸钠0.05份、硫酸溶液60份、去离子水160份;其中,硫酸溶液的质量浓度为16%。

上述用于导电玻璃的蚀刻液的制备方法,包括以下步骤:

(1)在冰浴条件下,使用恒压滴液漏斗将硫酸溶液缓慢滴加到去离子水中,混合搅拌45min后,再缓慢加入氢氟酸、磷酸,搅拌均匀后,放入超声清洗机中超声处理10min,得到混合酸溶液;超声处理的频率范围为30~40khz,超声功率为600w,超声温度为60℃。

(2)将混合酸溶液、氟化钙、硫酸铵、硫酸镁、磷酸钾、氟化氢钾、硅酸钠、氟硼酸钠、琼脂、海藻酸钠、纳米二氧化硅、防冻剂、阴离子表面活性剂依次加入耐酸不锈钢反应釜,搅拌转速为80r/min,升温至150℃,搅拌45min后,陈化46小时得到该蚀刻液。

实施例6

一种用于导电玻璃的蚀刻液,包括以下重量份的原料:氢氟酸50份、磷酸30份、氟化钙10份、硫酸铵6份、硫酸镁6份、磷酸钾10份、氟化氢钾6份、硅酸钠12份、氟硼酸钠10份、琼脂5份、海藻酸钠6份、纳米二氧化硅3份、防冻剂乙二醇丁醚醋酸酯0.6份、阴离子表面活性剂十二烷基苯磺酸钠0.05份、硫酸溶液53份、去离子水158份;其中,硫酸溶液的质量浓度为15%。

上述用于导电玻璃的蚀刻液的制备方法,包括以下步骤:

(1)在冰浴条件下,使用恒压滴液漏斗将硫酸溶液缓慢滴加到去离子水中,混合搅拌42min后,再缓慢加入氢氟酸、磷酸,搅拌均匀后,放入超声清洗机中超声处理10min,得到混合酸溶液;超声处理的频率范围为30~40khz,超声功率为600w,超声温度为50℃。

(2)将混合酸溶液、氟化钙、硫酸铵、硫酸镁、磷酸钾、氟化氢钾、硅酸钠、氟硼酸钠、琼脂、海藻酸钠、纳米二氧化硅、防冻剂、阴离子表面活性剂依次加入耐酸不锈钢反应釜,搅拌转速为80r/min,升温至150℃,搅拌50min后,陈化46小时得到该蚀刻液。

以上所述仅是本发明的优选实施方式,本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

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