取晶车支撑架的制作方法

文档序号:12015483阅读:566来源:国知局
取晶车支撑架的制作方法与工艺

本实用新型涉及单晶车功能组件,特别涉及一种取晶车支撑架。



背景技术:

单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶,所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化,再用子晶向上拉引,慢慢形成一个长筒状的单晶棒,在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。

取晶车通常包括车架,在车架上会设置有接收晶棒的支撑架,所述支撑架呈长条状设置,在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座,所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向,在支撑架垂直于车架的时候,所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构,在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后,支撑架再退回至原位,在旋转至与车架平行的状态,通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。

现有技术中晶棒均是采用液压机械手的方式从支撑座内取出,再液压机械手仅能夹持一端,晶棒其他部位夹持不到,所以很容易出现夹持不稳而摔碎的问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种取晶车支撑架,便于晶棒从支撑座内取出。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:

一种取晶车支撑架,包括有底板,所述底板间隔设置有与其平行的定位板,所述定位板与底板之间设置有连接组件,所述定位板与其底部处设置有用于支撑晶棒的支撑座,所述定位板上设置有沿其长度方向设置的滑移槽,所述支撑座上设置与滑移槽配合的滑块,所述定位板相对于底板的另一侧端部设置有驱动滑块沿滑移槽滑移的驱动组件。

进一步的,所述驱动组件包括有位于定位板长度方向上两个端部的转轴、定位于转轴上与其联动的驱动链轮以及绕设于驱动链轮上的驱动链条,所述转轴轴向定位于定位板上,其中一根转轴上设置有驱动该转轴转动的驱动电机。

进一步的,所述驱动电机的轴端设置有二级齿轮减速器,所述二级齿轮减速器与转轴之间设置有传动组件。

进一步的,每一根所述转轴均设置有用于轴向定位转轴的轴承座。

进一步的,所述的传动组件设置为定位于转轴以及二级齿轮减速器输出端的传动链轮以及套设于该两个传动链轮之间的传动链条。

进一步的,所述滑块穿过滑移槽一侧设置有滑座,所述定位板上设置于与滑座配合的导轨,所述滑座上设置有与导轨配合的导槽。

进一步的,所述滑座上设置有与驱动链条固定连接的固定架,所述固定架上设置有供驱动链条穿过的安装槽。

进一步的,所述定位板上设置有行程开关,所述行程开关位于定位板相对于支撑座的另一侧。

采用上述结构,在支撑架位于水平位置的时候,驱动组件驱动支撑座沿滑移槽的设置方向位移,支撑座带动晶棒朝着支撑架的开口方向将晶棒水平推出,在推出过程中可以在推出一定长度后通过液压机械手夹持,这时所能夹持的区域比较大, 比较容易掌握重心,使得夹持更稳定,或者通过高度与取晶车相同的平台作为支撑,也可以比较方便的将晶棒从支撑架内取出,从而达到了可以更加安全的取出晶棒的目的。

附图说明

图1是支持架结构示意图;

图2是取晶车整体结构示意图;

图3是A部放大图。

图中,1、支撑座;11、定位板;12、底板;13、导向辊;2、连接组件;21、槽钢;22、连接杆;3、滑块;4、滑移槽;5、滑座;51、固定架;61、导轨;62、导槽;7、驱动组件;71、驱动链轮;72、轴承座;73、转轴、74、驱动链条;8、驱动电机;81、二级齿轮减速器;9、传动组件;91、传动链轮;92、传动链条;10、行程开关。

具体实施方式

一种取晶车支撑架,包括有底板12以及定位板11,所述底板12与定位板11之间通过设置连接组件2形成一体,所述连接组件2包括有焊接于底板12上的槽钢21以及固定于槽钢21上的连接杆22,所述连接杆22一端固定于槽钢21上另一端固定于定位板11上,所述底板12、定位板11以及连接组件2之间形成有用于放置晶棒的空间,所述定位板11与底板12之间设置有用于支撑晶棒的支撑座1,相邻的所述连接组件2之间设置有与晶棒抵接的导向辊13,所述导向辊13固定于底板12上,所述定位板11沿其长度方向设置有两条滑移槽4,两条滑移槽4沿定位板11宽度方向间隔设置,所述支撑座1对应于两条滑移槽4的位置处设置有两个滑块3,两个所述滑块3贯穿滑移槽4,两个所述滑块3之间通过设置滑座5连成一体,所述定位板11于两条滑槽之间设置有沿导向板长度方向设置的导轨61,所述滑座5对应于导轨61设置有导槽62,所述导槽62定位于导轨61上且可以沿导轨61设置的方向位移,所述定位板11上还设置有用于驱动滑座5沿导轨61位移的驱动组件7。

所述驱动组件7包括有位于定位板11两端的两条转轴73、定位于转轴73上的驱动链轮71以及绕设于驱动链轮71上驱动链条74,每一根转轴73设置有两个轴承座72对其进行轴向定位,所述转轴73可以周向旋转,每一根转轴73的两个轴端均配置有一个驱动链轮71,所述滑座5位于两个转轴73之间,所述滑座5上设置有用于与驱动链条74配合的固定架51,所述固定架51上设置有供驱动链条74穿过的安装槽,所述驱动链条74与安装槽之间通过螺栓连接,所述定位板11的顶部设置有驱动转轴73转动的驱动电机8,所述驱动电机8的动力轴端连接有二级齿轮减速器81,该二级齿轮减速器81的第一级实现转向,第二级实现减速,所述二级齿轮减速器81同样包括有一输出端,该输出端与转轴73之间设置有传动组件9,所述传动组件9包括有定位于输出端和转轴73上的传动齿轮以及绕设于两个传动齿轮之间的传动齿条,所述驱动电机8转动,通过二级齿轮减速器81的减速,再通过传动组件9输送至转轴73上,转轴73的转动带动驱动组件7运动,驱动组件7带动支撑座1的滑移。

为了保证运动更加的稳定和安全,在定位板11顶部的转轴73与滑移槽4之间设置有行程开关10,当所述滑座5位置与该行程开关10触碰后,该行程开关10控制驱动电机8停止。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释,其并不是对本实用新型的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

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