一种用于溶液法晶体生长的坩埚系统的制作方法

文档序号:16509017发布日期:2019-01-05 09:13阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种用于溶液法晶体生长的坩埚系统,属于晶体生长中热场设计技术领域。本发明的坩埚系统,包括炉体内胆、散热底盘和坩埚。散热底盘置于炉体内胆下部,所述的坩埚置于炉体内胆内的散热底盘上。坩埚由坩埚本体和坩埚密封盖组成,坩埚密封盖盖在坩埚本体上,坩埚本体具有椭圆型底部结构本发明的坩埚系统,可以用于无籽晶法或者底部带籽晶的溶液法晶体生长中,通过特殊的散热设计,即可保证在溶液法生长晶体过程中界面为水平或微凸状态,有利于提高晶体生长质量。同时由于该设计结构简单,具有较强的可靠性,便于获得重复性生长结果。

技术研发人员:张松;洪邦兆;张辉;郑丽丽
受保护的技术使用者:清华大学
技术研发日:2018.10.16
技术公布日:2019.01.04
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