一种电子级盐酸纯化系统的制作方法

本发明涉及一种盐酸纯化系统，具体涉及一种电子级盐酸纯化系统。

背景技术：

盐酸是hcl气体的水溶液。浓盐酸具有极强挥发性，在空气中发烟，有强腐蚀性。盐酸作为重要的强酸之一，它能与很多金属反应，使金属溶解，常用于大规模集成电路制造行业，比如用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀、清洗钠离子，还可以用于金属表面化学处理等，是电子行业重要试剂之一。

电子级盐酸多以含有杂质的工业级31％盐酸为原料，经过纯化设备，精制成高纯度盐酸。盐酸的提纯工艺一般有等温扩散法、亚沸法、蒸馏法和精馏法。其中等温扩散法和亚沸法产量小，虽然所得盐酸纯度高，但适合实验少量制取高纯盐酸，没有工业使用价值。蒸馏法产量大，但是所得盐酸纯度不高，浓度也不太高。精馏法是目前纯化盐酸的主流技术，其产量大，纯度高，可以间歇进料，也可以连续进料，虽然设备相对复杂，但是可以大规模生产。

现有的盐酸精馏法纯化系统主要由原料输入泵、原料储罐、流量计、精馏塔釜、精馏柱、冷凝器、成品储罐构成；其中，精馏塔是盐酸提纯的主要设备。

专利号为cn102060271b的中国专利公开的一种电子级盐酸生产方法就是采用这样一种纯化系统，其采用工业级31％盐酸为原料，通过再沸器用饱和蒸汽在精馏塔内将盐酸加热至沸腾气化，气化过程中先是轻组分hcl气体蒸出，实际是hcl浓度远超过39％的hcl和水蒸气的混合物，其后液体浓度降为20.2％左右时形成共沸点为108摄氏度的恒沸物，此后气化的产物则成为浓度为20.2％的hcl气体与水蒸气混合物；通过不停补料使第二批的hcl气体、水蒸气的混合物与第一批的超高浓度hcl-水蒸气混合物相融合，两批精馏产物经过冷凝器冷却后形成成品高浓度高纯盐酸溶液。该生产方法所用的整套设备特别是精馏装置采用耐酸的高硼硅玻璃，但是在生产过程中高温沸腾的盐酸以及气化的氯化氢气体对高硼硅玻璃的侵蚀性强，除了侵蚀玻璃精馏塔，还会波及玻璃管道，腐蚀的微量玻璃成分，如硼、硅、钠、铝等，会带入成品中，所以得到的电子级盐酸产品的品质却不是很高，金属离子含量高，距离高端的半导体行业用高浓高纯的电子级盐酸的品质要求还是相差很远。

除了高硼硅玻璃，现有的盐酸纯化系统中部分装置也有采用熔点较高的聚四氟乙烯ptfe材质作为内衬以降低盐酸杂质含量，比如cn103213947b的中国专利采用ptfe为混合罐内衬。虽然ptfe相比于高硼硅玻璃具有极好的耐酸性能，但盐酸中的氯离子同时也具有极强的渗透ptfe的能力，而且高温条件还会加速氯离子的穿透。与此同时，ptfe相对比工程塑料，其拉伸强度、抗蠕变性本身就差很多，仅抗冲击强度高；且熔点高，约为327摄氏度，具有非常高的熔体粘度，这妨碍了惯用的熔融挤塑成型或模塑技术的采用，仅能通过粒状树脂压塑或柱塞挤塑、糊状挤塑成薄壁，其中粒状ptfe的模塑和挤塑方法实际是先压缩再高温烧结,缺乏拉伸促进晶体生产的过程，因此ptfe成型后的制品机械性能差。由于ptfe自身原因和加工性能原因，其仅能加工成设备的内衬，而难以独立制成机械性能良好的通体单一的设备。在盐酸生产或纯化系统，由于氯离子的渗透能力,采用ptfe作为纯化系统的设备内衬，内衬ptfe外层的背胶及外壳不锈钢不免渗透至盐酸中，影响盐酸的纯度，特别是需要高温条件的设备更是如此，距离高端的半导体行业用高浓高纯的电子级盐酸的品质要求还是相差很远。

目前工业化生产高纯高浓度的电子级盐酸存在着难以工业化、纯度低、杂质离子多、容易引入二次污染等技术瓶颈。

技术实现要素：

为克服上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一套可生产高纯度电子级盐酸、并能适用于工业生产的盐酸纯化系统。

为实现本发明的目的，本发明提供的方案是一种电子级盐酸纯化系统，所述系统包括工业级盐酸进料管道、超纯水进水管道、盐酸成品出料管道、再沸器、精馏塔、吸收塔、吸收罐以及循环泵，所述精馏塔包括塔釜和塔体；所述工业盐酸进料管道与所述再沸器的进液口相连通，所述再沸器的出气口与所述精馏塔的塔釜相连通,所述塔釜底部的出液口与所述再沸器的进液口相连通，所述塔体顶部的出气口经管道与所述吸收塔的进气口相连通，所述吸收塔的出液口经管道与所述吸收罐的进液口相连通，所述吸收罐还与所述超纯水进水管道相连通，所述吸收罐的出液口分别连接所述盐酸成品出料管道以及所述循环泵的进液口，所述循环泵的出液口经管道与所述吸收塔的喷淋组的进液口相连通；其中，所述精馏塔的塔体、所述吸收塔以及其间的连接管道均通体为pvdf材质，所述循环泵、所述吸收罐以及与其连接的内流盐酸的管道整体或内衬为高纯氟塑料材质。本发明中，高纯氟塑料是指氟塑料材质的纯度在99.999％以上。

这里采用pvdf作为精馏塔和吸收塔、精馏塔和吸收塔之间的连接管道的通体材质。pvdf具有与ptfe同样优异的耐酸性能，但pvdf的机械性能特别是强度更为突出，可以承受很高的内压，抗蠕变型好，且熔点低，具有优良性能和加工特性，可以加工成通体材质单一的化工设备，而无需不锈钢等材质作为外壳来提供强度和耐压支撑。由于通体采用pvdf制造精馏塔塔体、吸收塔以及连接塔体和吸收塔的管道，不再需要不锈钢等外壳，因此在精馏的过程中盐酸不会被二次污染，从而提高了电子级盐酸的品质。

与此同时，该纯化系统摒弃了传统的精馏塔串联冷凝器的组合结构的盐酸纯化系统，而是采用精馏塔与吸收塔串联，通过精馏塔在液相浓度降到20.2％形成共沸点为108摄氏度的恒沸物之前，精馏出高浓度的hcl、水蒸气的混合气体，高浓度的hcl、水蒸气的混合气体在吸收塔中被超纯水以及后续产生的低浓度高纯盐酸溶液吸收，通过控制吸收浓度达到37％后即可得到高纯的电子级盐酸成品。因此精馏塔和吸收塔的温度最高不超过100摄氏度；在该系统的工作温度范围内，通体采用pvdf材质的精馏塔、吸收塔以及吸收塔连接的管道都可以保持良好机械性能，从而保障了电子级盐酸纯化系统长期稳定顺利地运转。

为促进精馏塔稳定运行，保证盐酸浓度，优选的技术方案是，还包括预热器，所述工业盐酸进料管道与所述预热器的进液口连接，所述预热器的出液口经管道与所述再沸器的进液口连接,所述精馏塔上部和下部通过旁路管道连通，精馏塔的旁路管道经两个并联管道与所述预热器连通，并联管道中的一个设有用于调节所述塔釜内物料排放量的阀门。优选所述预热器为高硼硅玻璃材质。通过预热器预热可以减小温差，有利于精馏塔稳定运行。

为实现连续化生产，优选的技术方案是，所述吸收塔的出液口和所述吸收塔的喷淋组的进液口分别设置有气动开关阀门。

为方便调配盐酸成品浓度，优选的技术方案是，所述吸收罐设有用于检测盐酸浓度的浓度计。

为保证成品纯度，优选的技术方案是，所述吸收罐设有氮气保护系统，这样盐酸溶液在氮气保护中进、出吸收罐，以避免空气进入造成二次污染。

为更好连续化生产，优选的技术方案是，所述吸收罐为多个，且为并联结构。一个吸收罐含量到达后切换另一个吸收罐，这样一个储罐可以用于成品过滤分装，另一个吸收罐继续用于吸收生产，这样可以满足连续生产要求。

由于氯离子会渗透出pvdf材质的精馏塔塔体、吸收塔以及特定的管道，为降低对设备腐蚀影响，优选的技术方案是，所述系统还包括环境抽风净化装置，用于抽取渗透出所述系统中pvdf材质的装置外的氯化氢气体。这样，渗透出来的氯离子会抽送出至外围环境。

为降低环境影响，进一步优选的技术方案是，所述环境抽风净化装置的出气口通过废气管道与尾气洗涤塔相连通。

为降低环境影响，优选的技术方案是，所述吸收塔的排气口通过废气管道与尾气洗涤塔相连通。这样，多余的氯化氢气体不外排到环境中、造成环境污染。

为增加精馏塔和吸收塔内气液接触面积，同时保证盐酸成品的品质，优选的技术方案是，所述精馏塔和所述吸收塔内设有高纯氟塑料材质的填料。优选是高纯全氟烷氧基树脂(pfa)材质填料。

精馏塔的塔体和吸收塔之间的管道工作温度相对较高，和精馏塔内工作温度相当，因此精馏塔的塔体和吸收塔之间的连接管道采用均通体为pvdf材质有利于提高盐酸成品纯度。为便于加工设备、进一步提高盐酸成品的品质，优选的技术方案是，与所述循环泵、所述吸收罐连接的内流盐酸的管道也均通体为pvdf材质。与所述循环泵、所述吸收罐连接的内流盐酸的管道包括连接吸收塔和吸收罐的管道、连接吸收罐和循环泵的管道、连接循环泵和吸收塔的管道、以及盐酸成品出料管道。

再沸器既要满足高温条件下的防腐又要满足良好的导热性。优选的技术方案是，所述再沸器为高硼硅玻璃材质，其内置的内胆加热器为纯钽材质，钽金属具有极强的耐强酸特性，同时具有金属导热性能好的特性，提高蒸汽加热效率。

精馏塔的塔釜为精馏传质传热提供动力，通过将塔釜内的物质加热，产生精馏塔内气液两相中的气相，气相与下降的液相接触，从而实现传质传热的过程。为提高盐酸气化量，优选的技术方案是，所述精馏塔的塔釜为高硼硅玻璃材质。

为提高盐酸成品品质，降低纯化系统后端设备要求，优选的技术方案是，所述吸收塔的出液口与吸收罐的进液口之间的管道设置有冷凝器。通过引入冷凝器，降低吸收后盐酸溶液的温度，使冷凝器、吸收罐、循环泵以及其间的连接管道的使用温度降低，也有利于降低吸收塔的工作温度，使得冷凝器、吸收罐、直至循环泵、以及与冷凝器、吸收罐、循环泵连接的内流盐酸的管道选材变得相对宽泛，降低设备渗透产生的二次污染。

由于系统工作温度较现有工艺低，进一步优选的技术方案是吸收罐、循环泵为ptfe内衬或pfa内衬辅以不锈钢外壳的双层结构。这样既满足耐压需求，系统运行可以稳定运行，有利于提高盐酸纯化规模，又满足盐酸成品纯度要求。进一步优选的技术方案是，所述吸收罐为不锈钢壳体内衬ptfe材质的双层结构；所述循环泵为不锈钢壳体内衬pfa材质的双层结构。加上冷凝器的冷却作用，不锈钢外壳对盐酸成品的品质影响相比于传统的精馏-冷凝所用盐酸纯化系统更是明显下降。选择冷凝器时，优选所述冷凝器内供盐酸流动的管路为高纯pfa材质，除内供盐酸流动的管路之外的部分为不锈钢材质。

本发明的优点和有益效果在于：本发明通过化工设备的合理组合和恰当选材，借助再沸器加热工业级盐酸，通过串联的通体为pvdf材质的精馏塔和吸收塔，在精馏塔中用于高于hcl的沸点、但低于水的沸点的温度，在液相浓度降到20.2％形成共沸点为108摄氏度的恒沸物之前，精馏出高浓度的hcl、水蒸气的混合气体，而后通过管道进入吸收塔，采用超纯水吸收，控制吸收浓度达到37％后形成高纯度的电子级盐酸成品。与现有技术相比，本电子级盐酸纯化系统的优点在于：

(1)盐酸成品的纯度高，品质高。由于pvdf的耐腐蚀性以及良好的加工性能和机械性能，精馏塔的塔体和吸收塔以及其间的连接管道均通体采用pvdf材质，不存在相应的传统设备中涉及用到的背胶、不锈钢外壳、硅硼玻璃所含金属以及其他杂质成分渗透入盐酸中、造成在精馏过程以及精馏后续过程中对盐酸成品的二次污染的问题，所得电子级盐酸纯度高，能轻松达到1ppb电子级盐酸的纯度要求。

(2)纯化系统运行平稳性好。本纯化系统通过精馏塔和吸收塔串联，吸收塔引入超纯水吸收精馏塔蒸出的高浓度的hcl、水蒸气的混合气体，由于无需蒸出浓度为20.2％的hcl、水蒸气混合气体以便在冷凝时降低前者的浓度，所需的精馏温度低，不超过100摄氏度，满足了特定设备所用的pvdf材质使用极限温度要求，从而保障了纯化系统可以长期平稳地运行。

(3)盐酸浓度控制简单，准确。传统工艺是通过塔釜排低浓度盐酸来控制成品盐酸的含量＞37％，进入槽罐后再加入纯水进行含量调配,本发明纯化系统可以通过吸收罐内盐酸的浓度计来检测控制，如果吸收罐内盐酸浓度过高，可以调节超纯水进水管道的进水量即可，不需要另外的调配。

(4)对设备腐蚀小，有利于提高生产规模。本纯化系统精馏温度低，因此氯离子在精馏塔、吸收塔的pvdf壁的渗透要大大下降，对设备腐蚀小。加上借助吸收塔后端冷凝器可以进一步降低成品盐酸的温度，进一步减少氯离子对设备外壳的渗透侵蚀，同时降低纯化系统后端设备要求，有利于提高盐酸纯化规模。

(5)对环境影响小。本纯化系统渗透出pvdf材质的氯离子以及吸收塔排出的尾气通过抽风收集到尾气洗涤塔中处理，环保卫生，对环境影响小。

附图说明

图1是实施例1中电子级盐酸纯化系统的结构示意图；

图2是实施例2中电子级盐酸纯化系统的结构示意图；

图3是实施例3中电子级盐酸纯化系统的结构示意图。

图中：1、工业级盐酸进料管道；2、预热器；3、再沸器；4、塔釜；5、塔体；6、吸收塔；7、冷凝器；8-1和8-2、吸收罐；9、循环泵；10和11、气动开关阀门；12、超纯水进水管道；13、盐酸成品出料管道。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

实施例1

本发明是一种电子级盐酸纯化系统。

如图1所示，该系统包括工业级盐酸进料管道、超纯水进水管道12、盐酸成品出料管道13、再沸器3、精馏塔、吸收塔6、吸收罐8-1以及循环泵9，精馏塔包括塔釜4和塔体5；工业盐酸进料管道1与再沸器3的进液口相连通，再沸器3的出气口与精馏塔的塔釜4相连通,塔釜4底部用于残液输出的出液口与再沸器3的进液口相连通，精馏塔的塔体5顶部的出气口经管道与吸收塔6的进气口相连通，吸收塔6的出液口经管道与吸收罐8-1的进液口相连通，吸收罐8-1的进液口还连接超纯水进水管道12，吸收罐8-1的出液口与盐酸成品出料管道13相连接的同时，还经管道与循环泵9的进液口相连通，循环泵9的出液口经管道与吸收塔6的喷淋组的进液口相连通。精馏和吸收是该纯化系统的关键制程。众所周知，20.2％左右浓度的盐酸溶液是共沸点为108摄氏度的恒沸物，共沸点显著高于hcl的沸点-84摄氏度。这里摒弃了传统盐酸纯化采用精馏塔串联冷凝器的组合，即摒弃高低浓度的hcl-水蒸气共同冷凝得到所需高浓度盐酸溶液的生产工艺和相应设备，而是采用精馏塔与吸收塔串联，通过精馏塔仅蒸出高浓度的hcl-水蒸气的混合气体，而避免20.2％浓度左右的恒沸物的蒸出；高浓度的hcl-水蒸气的混合气体在吸收塔中被超纯水以及后续产生的低浓度高纯度的盐酸溶液吸收，通过控制吸收浓度达到37％后即可得到高纯的电子级盐酸成品。

与此同时，循环泵9、吸收罐8-1、连接吸收塔6和吸收罐8-1的管道、连接吸收罐8-1和循环泵9的管道、连接循环泵9和吸收塔6的管道、以及盐酸成品出料管道13可以整体或仅其内衬采用纯度为99.999％以上的高纯氟塑料材质,或者由大金或杜邦公司生产的newptfe材料。精馏塔的塔体2、吸收塔6以及连接精馏塔的塔体2与吸收塔6的管道均通体采用pvdf材质。相比于ptfe，由于pvdf极限使用温度相对于ptfe低，pvdf仅在-30到150摄氏度的温度范围才能保持良好的机械性能。由于系统结构设计，采用精馏塔和吸收塔6串联，该纯化系统无需在108摄氏度的共沸点蒸出浓度为20.2％左右的hcl-水的恒沸物与高浓度hcl混合气体共冷凝，因此精馏塔和吸收塔6的温度最高不超过100摄氏度，因此通体采用pvdf材质的塔体5、吸收塔6以及连接精馏塔塔体5和吸收塔6的管道都可以保持良好机械性能，使盐酸纯化系统长期稳定顺利运转。

在此基础上，由于pvdf同样具有极好的耐酸性能，但pvdf的强度、抗蠕变性都显著优于ptfe，具有良好的机械性能，且pvdf熔点低，仅约为177摄氏度，极易熔化处理，具有良好加工特性，可以通过挤塑、注射模塑、传递模塑等通用塑料方法成型制品，pvdf制品自身可以承受很高的内压，同时不发生蠕变，不仅可作为内衬，更可以独立作为化工设备，而无需不锈钢外壳来提供支撑。这里由于通体采用pvdf制造精馏塔塔体5、吸收塔6以及它们之间的连接管道，虽然氯离子仍然会穿透pvdf材质，但是由于这些装置不再需要不锈钢等外壳，因此在精馏的过程中盐酸不会被二次污染，得到的盐酸纯度高。

对于氯离子仍然会渗透pvdf材质的现象，这里添加了环境抽风净化装置，用于抽取渗透出pvdf材质的氯化氢气体。环境抽风净化装置可以选择常见的抽风机等。由此，渗透出来的氯离子可以抽送出至外围环境中。最好抽风机的抽气口朝向吸收塔6和塔体5。为降低环境影响，环境抽风净化装置的出气口还可以通过废气管道与尾气洗涤塔相连通，将环境抽风净化装置收集的氯离子可以送至尾气洗涤塔处理。基于同样的原因，吸收塔6的排气口也可以通过废气管道与尾气洗涤塔相连通，这样多余的氯化氢气体就可以不外排到环境中。

同常规精馏塔结构一样，这里精馏塔上部和下部通过旁路管道连通以保证压力平衡。旁路管道经两个并联管道与工业级盐酸进料管道1连通，两个并联管道中的一个管道为防止液位过高、起安全防护作用的管道，另一个管道为带有可调节塔釜内物料排放量的阀门的管道。在精馏塔和吸收塔6的优化方面，这里选择在精馏塔和吸收塔6内设有高纯氟塑料材质的填料，比如易熔融加工的高纯pfa填料，用于增加精馏塔和吸收塔6内气液接触面积，提高纯化效果，保证盐酸成品的品质。

再沸器3的主要功能是将套管内通蒸汽，套管外走盐酸；通过热传输使盐酸达到沸点气化。再沸器3既要满足高温条件下的防腐又要满足良好的导热性。精馏塔的塔釜为精馏传质传热提供动力，通过将塔釜内的物质加热，产生精馏塔内气液两相中的气相，气相与下降的液相接触，从而实现传质传热的过程。这里再沸器3和精馏塔的塔釜4选择采用3.3高硼硅玻璃材质，再沸器3内置的内胆加热器为纯钽材质。钽材料具有极强的耐强酸特性，同时具有金属导热性能好的特性，可以提高蒸汽加热效率。

对于大规模生产纯化盐酸时，相比于精馏塔和吸收塔6，循环泵9和吸收罐8-1对耐压要求更高。由于本发明盐酸纯化系统的工作温度较现有工艺降低，可以减少氯离子对设备以及管道的渗透。由于温度降低，循环泵9、吸收罐8-1除了可以通体选择pvdf材质，还可以选择是其他氟塑料为内衬加以不锈钢外壳的双层结构。选择pvdf材质的话，可以提高盐酸成品纯度；选择如ptfe内衬或pfa内衬辅以不锈钢外壳的话，因工艺温度降低，不锈钢外壳引入盐酸成品的二次污染也会减少。本实施例中，选择吸收罐8-1为不锈钢壳体内衬ptfe材质的双层结构；循环泵9为不锈钢壳体内衬pfa材质的双层结构。吸收罐8-1和循环泵9的不锈钢壳体结构强度高，耐压性突出；这样既满足耐压需求，系统运行可以稳定运行，有利于提高盐酸纯化规模，又满足盐酸成品纯度要求。

管道相对耐压要求小，为便于加工设备、提高盐酸成品的品质，精馏塔后端的管道，包括吸收塔6与吸收罐8-1之间的连接管道、吸收罐8-1和循环泵9之间的连接管道、循环泵9和吸收塔6之间的连接管道、以及盐酸成品出料管道13为通体pvdf材质。

为实现连续化生产，吸收塔6的出液口设置了气动开关阀门10，吸收塔6的喷淋组的进液口也设置了气动开关阀门11。通过气动开关阀门10和11，实现生产吸收及成品过滤分装同时进行的操作要求。

吸收罐8-1采用冷冻纯水进行降温冷却。吸收罐8-1内装配用于检测盐酸浓度的浓度计，用于检测盐酸浓度；如果吸收罐内盐酸浓度过高，可以调节超纯水进水管道1的进水量，不需要另外的调配。吸收罐8-1还设有氮气保护系统，盐酸溶液在氮气保护中进、出吸收罐8-1以避免空气进入的二次污染。

实施例2

在实施例1的基础上，本实施例如图2所示，加设了3.3高硼硅玻璃材质的预热器2；工业盐酸进料管道1与预热器2的进液口连接，预热器2的出液口经管道与再沸器4的进液口连接；与此同时，精馏塔的旁路管道所连接的两个并联管道不直接接入工业级盐酸进料管道1，而是均接入预热器2。通过预热器2可以减小温差，有利于精馏塔稳定运行，从而保证盐酸品质。

除此之外，本实施例还增加了吸收罐8-2，吸收罐8-2的设置与吸收罐8-1的设置相同。吸收罐8-1和8-2并联在系统中，吸收罐8-1含量到达后系统通过气动开关阀可以切换到另一个吸收罐8-2，这时吸收罐罐8-1可以用于成品过滤分装，吸收罐8-2继续用于吸收生产，反之亦然。当然还可以增加并联吸收罐的数量。

实施例3

在实施例2的基础上，如图3所示，本实施例在吸收塔6的出液口与吸收罐8-1及8-2的进液口之间的管道设置了冷凝器7，冷凝器7采用冷冻纯水进行降温冷却。吸收塔6的出液后经冷凝器7冷却后流入吸收罐8-1及8-2。除了系统及相应工艺改变，这里的冷凝器7可以进一步降低吸收塔6吸收后盐酸溶液的温度，使得吸收罐8-1及8-2、循环泵9、吸收塔6与吸收罐8-1及8-2之间的连接管道、吸收罐8-1及8-2与循环泵9之间的连接管道、循环泵9和吸收塔6之间的连接管道、以及盐酸成品出料管道13的工作温度均进一步降低至约10摄氏度左右，也对降低吸收塔6的工作温度有帮助，从而减少氯离子对这些设备以及管道的渗透，这对吸收罐8-1及8-2和循环泵9采用氟塑料为内衬加以不锈钢外壳的双层结构的情况下提高盐酸成品纯度更为有利。由于冷凝器7的冷却作用，对于本纯化系统的冷凝器7、吸收罐8-1及8-2和循环泵9，不锈钢外壳对盐酸成品的品质影响相比于传统的精馏-冷凝组合的盐酸纯化系统明显下降，有利于进一步提高盐酸成品的纯度。这里，冷凝器7内供盐酸流动的管路选择高纯pfa材质，除此之外选择例如316l材质的不锈钢。管道相对所需耐压要求小，为便于加工设备、提高盐酸成品的品质，这里选择吸收塔6和冷凝器7之间的连接管道、冷凝器7和吸收罐8-1级8-2之间的相连管道通体选择pvdf材质。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。