技术总结
本实用新型提供一种组合硅芯、组合硅芯单元体以及还原炉。该组合硅芯,其包括至少两个硅芯单元,每个硅芯单元具有第一侧以及远离第一侧的第二侧,所有硅芯单元的第一侧组合在一起,每个硅芯单元从第一侧向第二侧延伸,相邻硅芯单元的第二侧之间具有间隙;硅芯单元沿组合硅芯的圆周方向均匀设置。该组合硅芯单元体,包括导电连接装置和至少两个上述组合硅芯。该还原炉,包括钟罩、底盘以及上述组合硅芯单元体,组合硅芯单元体安装至底盘。组合硅芯的截面形成散射状的形状,组合硅芯增加发生化学反应的硅芯表面的面积,提高晶体硅的沉积速度。
技术研发人员:徐兰
受保护的技术使用者:徐兰
技术研发日:2018.02.11
技术公布日:2018.09.28