一种方形石英坩埚的制作方法

本实用新型涉及方形石英坩埚领域，特别涉及一种方形石英坩埚。

背景技术：

方形石英坩埚分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，是发展大规模集成电路必不可少的基础材料，它是熔化和精炼金属液体以及固液加热、反应的容器，它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点；现有的方形石英坩埚在使用时存在一定的弊端，首先，在使用的过程在，如果需要对加工物进行密闭加热时，上盖的密封效果不够严密，并且其内部的受热分布不够均匀，而且在边角处的温度过高会影响加工的进行，容易导致其炸裂，最后难以实现迅速降温过程，不够方便，无法满足人们的使用需求，给人们的使用过程带来了一定的影响，为此，我们提出一种方形石英坩埚。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种方形石英坩埚。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种方形石英坩埚，包括坩埚主体，所述坩埚主体的上方设置有坩埚上盖，且坩埚上盖的上端外表面中心处固定安装有把手，所述把手的下端外表面固定安装有连接凸块，所述坩埚主体的底端设置有坩埚，且坩埚的侧表面固定安装有斜撑杆，所述斜撑杆的底端外表面指向坩埚主体中心处设置有支撑脚，所述坩埚的一侧外表面上端设置有进水孔，且坩埚的一侧外表面下端设置有出水孔，所述坩埚的内部侧表面连接处设置有弧形接板，且坩埚的上端设置有连接凹槽，所述连接凹槽的下方设置有冷凝盘道，所述坩埚的内部底端设置有圆底托盘，且坩埚的底部设置有加厚圆形烧底。

优选的，所述连接凸块与连接凹槽的形状均为方形，且连接凸块与连接凹槽的边长和面积均相等，所述连接凸块的高度与连接凹槽的深度相等。

优选的，所述斜撑杆与支撑脚的数量均为四组，且支撑脚通过斜撑杆与坩埚固定连接，两组所述斜撑杆间的夹角为九十度，所述斜撑杆与坩埚侧表面的夹角为三十度，且斜撑杆与支撑脚间的夹角为六十度，所述支撑脚的下端外表面设置防滑条纹。

优选的，所述冷凝盘道的形状为螺旋状，且冷凝盘道的一端与进水孔固定连接，所述冷凝盘道的另一端与出水孔固定连接。

优选的，所述坩埚上盖的形状与坩埚上端外表面的形状相等，且坩埚上盖与连接凸块固定连接。

优选的，所述圆底托盘的形状为半球状，且圆底托盘与坩埚内侧外表面固定连接。

本实用新型所达到的有益效果是：该方形石英坩埚，通过设置的弧形接板，能够与坩埚内部侧表面平滑连接，从而减小坩埚在燃烧时边角处产生的应力和高温，高温会影响其内部的加工产物，另一方面，应力过大时会使得坩埚炸裂，从而有效地对坩埚主体进行保护，通过设置的连接凹槽，能够在使用的过程，通过坩埚上盖底面的连接凸能够与连接凹槽进行严密连接，从而使得坩埚主体内部能够迅速产生高温，对坩埚内部的物品进行加工过程，加厚圆形烧底的设置，由于底面直接接触火焰会产生极高的温度，通过对底面进行加厚，使得火焰的温度缓慢升高，不会影响产物，另一方面，圆底的设置能够使得火焰分散，保证坩埚内部的温度均匀，便于加工过程，整个方形石英坩埚结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型一种方形石英坩埚的整体结构示意图；

图2是本实用新型一种方形石英坩埚中坩埚的局部结构示意图；

图3是本实用新型一种方形石英坩埚中坩埚上盖的平面图；

图中：1、坩埚主体；2、坩埚上盖；3、把手；4、连接凸块；5、坩埚；6、斜撑杆；7、支撑脚；8、进水孔；9、出水孔；10、弧形接板；11、连接凹槽；12、冷凝盘管；13、圆底托盘；14、加厚圆形烧底。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1-3所示，一种方形石英坩埚，包括坩埚主体1，坩埚主体1的上方设置有坩埚上盖2，且坩埚上盖2的上端外表面中心处固定安装有把手3，把手3的下端外表面固定安装有连接凸块4，坩埚主体1的底端设置有坩埚5，且坩埚5的侧表面固定安装有斜撑杆6，斜撑杆6的底端外表面指向坩埚主体1中心处设置有支撑脚7，坩埚5的一侧外表面上端设置有进水孔8，且坩埚5的一侧外表面下端设置有出水孔9，坩埚5的内部侧表面连接处设置有弧形接板10，能够与坩埚5内部侧表面平滑连接，从而减小坩埚5在燃烧时边角处产生的应力和高温，高温会影响其内部的加工产物，另一方面，应力过大时会使得坩埚5炸裂，从而有效地对坩埚主体1进行保护，且坩埚5的上端设置有连接凹槽11，能够在使用的过程，通过坩埚上盖2底面的连接凸4能够与连接凹槽11进行严密连接，从而使得坩埚主体1内部能够迅速产生高温，对坩埚5内部的物品进行加工过程，连接凹槽11的下方设置有冷凝盘道12，坩埚5的内部底端设置有圆底托盘13，且坩埚5的底部设置有加厚圆形烧底14，由于底面直接接触火焰会产生极高的温度，通过对底面进行加厚，使得火焰的温度缓慢升高，不会影响产物，另一方面，圆底的设置能够使得火焰分散，保证坩埚5内部的温度均匀，便于加工过程。

连接凸块4与连接凹槽11的形状均为方形，且连接凸块4与连接凹槽11的边长和面积均相等，连接凸块4的高度与连接凹槽11的深度相等；斜撑杆6与支撑脚7的数量均为四组，且支撑脚7通过斜撑杆6与坩埚5固定连接，两组斜撑杆6间的夹角为九十度，斜撑杆6与坩埚5侧表面的夹角为三十度，且斜撑杆6与支撑脚7间的夹角为六十度，支撑脚7的下端外表面设置防滑条纹；冷凝盘道12的形状为螺旋状，且冷凝盘道12的一端与进水孔8固定连接，冷凝盘道12的另一端与出水孔9固定连接；坩埚上盖2的形状与坩埚5上端外表面的形状相等，且坩埚上盖2与连接凸块4固定连接；圆底托盘13的形状为半球状，且圆底托盘13与坩埚5内侧外表面固定连接。

需要说明的是，本实用新型为一种方形石英坩埚，使用时，首先，将坩埚主体1侧表面的斜撑杆6与支撑脚7放置水平位置，同时并将加工物放置在坩埚5内部的圆底托盘13上端，点火后，通过把手3盖上坩埚上盖2，使得坩埚上盖2底端外表面的连接凸块4与坩埚5顶端的连接凹槽11进行连接，并且连接凸块4与连接凹槽11的共同作用能够对坩埚主体1进行密封，从而使得坩埚主体1内部能够迅速产生高温，对坩埚5内部的物品进行加工过程，与此同时，坩埚5边角处的弧形接板10能够与坩埚5内部侧表面平滑连接，从而减小坩埚5在燃烧时边角处产生的应力和高温，高温会影响其内部的加工产物，另一方面，应力过大时会使得坩埚5炸裂，从而有效地对坩埚主体1进行保护，并且，坩埚5底端的加厚圆形烧底14能够使得火焰分散，保证坩埚5内部的温度均匀，最后，通过对进水孔8注入流水，流水沿冷凝盘管12流下并缓慢加热，在不会引起骤冷炸裂坩埚5的同时能够使得坩埚5快速降温，较为实用。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。