用于等离子体环境中的腔室部件的氧化钇-二氧化锆耐蚀材料的制作方法

技术特征：

技术总结
一种用于处理腔室的腔室部件包括陶瓷主体，所述陶瓷主体由烧结陶瓷材料组成，所述烧结陶瓷材料基本上由Y2O3‑ZrO2的一个或多个相组成。所述陶瓷材料基本上由55摩尔％‑65摩尔％的Y2O3和35摩尔％‑45摩尔％的ZrO2组成。

技术研发人员：J·Y·孙;D·芬威克
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2019.03.07
技术公布日：2019.09.17