1.一种用于磷化铟表面孪晶识别的腐蚀液,其特征在于,包含如下体积百分比的组分:盐酸30%~70%、双氧水0%~35%、醋酸20%~70%。
2.如权利要求1所述的腐蚀液,其特征在于,包含如下体积百分比的组分:盐酸40%~60%、双氧水0%~10%、醋酸30%~60%。
3.如权利要求2所述的腐蚀液,其特征在于,包含如下体积百分比的组分:盐酸60%、双氧水10%、醋酸30%。
4.如权利要求1所述的腐蚀液,其特征在于,所述盐酸为质量分数36%~38%的盐酸,所述双氧水为质量分数30%~32%的双氧水,所述醋酸为质量分数99.7%~100%的醋酸。
5.一种用于磷化铟表面孪晶识别的腐蚀方法,其特征在于,所述腐蚀方法采用权利要求1~4任一项所述的腐蚀液。
6.如权利要求5所述的腐蚀方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)用酒精浸泡磷化铟晶片;
(2)然后用去离子水冲洗磷化铟晶片表面;
(3)将步骤(2)冲洗后的磷化铟晶片放入腐蚀液中浸泡;
(4)然后用去离子水冲洗磷化铟晶片表面,并干燥磷化铟晶片;
(5)在日光灯下观察磷化铟晶片表面并标注孪晶分布。
7.如权利要求6所述的腐蚀方法,其特征在于,所述步骤(1)中,酒精的质量分数为80%~98%,浸泡时间为20~30min,浸泡温度为10~40℃。
8.如权利要求6所述的腐蚀方法,其特征在于,所述步骤(2)中,采用去离子水溢流漂洗或快排冲水或二者结合的方式冲洗磷化铟晶片表面,冲洗30~120s,然后手动冲水30s。
9.如权利要求6所述的腐蚀方法,其特征在于,所述步骤(3)中,浸泡温度为10~40℃,浸泡时间为30~180s,浸泡过程中磷化铟晶片在腐蚀液中均匀划动。
10.如权利要求6所述的腐蚀方法,其特征在于,所述步骤(4)中,采用去离子水溢流漂洗或快排冲水或二者结合的方式冲洗磷化铟晶片表面,冲洗30~90s,然后手动冲水20~60s;然后将磷化铟晶片在酒精中浸泡2~10s后用热氮气干燥晶片,干燥温度为40~50℃,干燥时间为30~90s;所述步骤(5)中,从磷化铟晶片正反面不同的角度观察孪晶分布。