一种单晶硅棒取棒保护装置的制作方法

文档序号:19137449发布日期:2019-11-15 21:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,包括:

用于设置于单晶炉的副室底端的保护环;

以及和所述保护环固定连接,用于将所述保护环可拆卸地和副室相连接的连接件;

其中,所述保护环的内环直径小于所述副室的内壁直径且大于单晶硅棒的直径;当所述连接件和所述副室相连接时,所述保护环位于所述副室的下端口,且单晶硅棒的下端位于所述保护环的内环中。

2.如权利要求1所述的单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,所述连接件包括圆形卡环,以及连接所述圆形卡环和所述保护环的连接杆;

其中,所述圆形卡环的内径和所述副室的外径相等,用于可拆卸地卡扣在所述副室的外周部。

3.如权利要求1所述的单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,所述保护环的内环直径和所述单晶硅棒直径之差为3mm~5mm。

4.如权利要求1所述的单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,所述保护环为钢材保护环或石英保护环。

5.如权利要求1至4任一项所述的单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,还包括和所述连接件固定连接且的托板;

其中,当所述连接件和所述副室连接时,所述托板位于所述保护环的正下方且和所述副室中心轴垂直。

6.如权利要求5所述的单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,所述托板和所述保护环相互平行且所述托板和所述保护环之间间距为5cm~10cm。

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