准确定位引晶埚位及等径GAP的装置的制作方法

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种准确定位引晶埚位及等径gap的装置。

背景技术：

直拉单晶工艺流程中稳定化温度时需要确定液面的位置，目前判断液面的位置主要依赖肉眼观察确认。由于操作人员的技能及经验的差距，造成稳定化温度时液面位置偏差较大，进而影响单晶体的成活率。如果液面定位错误，轻者引起导流筒喷硅异常，严重者可能烫穿炉体、发生漏水爆炸事故。

现有技术中，提供的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，在导流筒的内壁上安装钼杆和石墨针，该装置虽然能在一定程度上判断等径gap（拉晶时液面距热屏外层底部的距离称之为gap）的位置，但是，在实际操作中，由于受到不均匀的外力挤压或者撞击，使得安装钼杆或石墨针变形、位移或者损坏，影响了引晶锅位或等径gap的准确性，降低了设备的使用寿命。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供一种准确定位引晶埚位及等径gap的装置，以解决现有技术中存在的引晶锅位或等径gap定位不准确、设备容易变形损坏的技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种准确定位引晶埚位及等径gap的装置，包括导流筒及设置于所述导流筒上的定位组件，所述定位组件的一端可转动连接所述导流筒，另一端从所述导流筒的底端伸出。

优选地，所述定位组件包括连接钼杆及定位参照杆，所述连接钼杆水平设置，且一端可转动连接所述导流筒，所述定位参照杆一端连接所述连接钼杆，且垂直于所述连接钼杆设置。

优选地，所述定位参照杆远离所述连接钼杆的一端设置有重锤。

优选地，所述导流筒包括外壳、内胆及设置于所述外壳与所述内胆之间的碳毡层，所述内胆的内壁上开设有安装槽，所述安装槽内设置有轴套，所述连接钼杆通过轴承连接于所述轴套中。

优选地，所述连接钼杆上具有关节轴承，所述定位参照杆连接于所述关节轴承。

由上述技术方案可知，本实用新型提供了一种准确定位引晶埚位及等径gap的装置，其有益效果是：将所述定位组件的一端可转动连接于所述导流筒上，且使所述定位组件的另一端伸出所述导流筒的底端，单晶硅拉制时，合炉前测量所述定位组件的下端到所述导流筒底部距离并记录，化料完成、温度稳定时，上升坩埚，使硅液面接触所述定位组件的下端，根据引晶工艺设定gap，下降坩埚一定的距离，即为引晶埚位，此距离加所述定位组件下端到所述导流筒底部距离即为引晶工艺设定的gap，等径时根据所述定位组件的下端到液面的距离判断等径gap，因所述定位组件距离液面位置近，从而实现能够较为准确的判断等径gap，判断过程更为直观。更为重要的是，当所述定位组件受到外力干扰时，所述定位组件沿所述导流筒转动，起到缓冲作用，防止所述定位组件变形损坏，当外力干扰消失，所述定位组件沿所述导流筒转动，自动回位，防止所述定位组件位移，造成引晶锅位或等径gap定位不准确。

附图说明

图1是准确定位引晶埚位及等径gap的装置的结构剖视图。

图2是图1所示的a部的局部放大图。

图中：准确定位引晶埚位及等径gap的装置10、导流筒100、外壳101、内胆102、碳毡层103、定位组件200、连接钼杆210、定位参照杆220、安装槽110、轴套111、重锤221、关节轴承211。

具体实施方式

以下结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。

请参看图1与图2，一具体实施方式中，一种准确定位引晶埚位及等径gap的装置10，用于在单晶硅生产过程中，化料完成、温度稳定时，准确定位引晶锅位或等径gap，包括导流筒100及设置于所述导流筒100上的定位组件200，所述定位组件200的一端可转动连接所述导流筒100，另一端从所述导流筒100的底端伸出。

单晶硅拉制过程中，合炉前，测量所述定位组件200的下端到所述导流筒100底部距离并记录。化料完成、温度稳定时，上升坩埚，使硅液面接触所述定位组件200的下端，根据引晶工艺设定gap，下降坩埚一定的距离，即为引晶埚位。引晶锅位的距离加所述定位组件200下端到所述导流筒100底部距离即为引晶工艺设定的gap。等径时根据所述定位组件200的下端到硅液面的距离判断等径gap，因所述定位组件200距离硅液面位置近，从而实现能够较为准确的判断等径gap，判断过程更为直观。

更为重要的是，在判断引晶锅位或等径gap的过程中，当所述定位组件200受到外力干扰时，所述定位组件200沿所述导流筒100转动，起到缓冲作用，防止所述定位组件200变形损坏，当外力干扰消失，所述定位组件200沿所述导流筒100转动，自动回位，防止所述定位组件200位移，造成引晶锅位或等径gap定位不准确。

值得说明的是，上述的定位组件200可转动连接所述导流筒100，是指所述定位组件200可以通过轴承连接、卡套连接等连接方式，使得所述定位组件200能够沿所述导流筒100，进行上下、前后、左右或任意平面的摆动。

例如，所述定位组件200包括连接钼杆210及定位参照杆220，所述连接钼杆210水平设置，且一端可转动连接所述导流筒100，具体地，所述导流筒100上设置有安装槽110，所述安装槽110内设置有轴套111，所述连接钼杆210通过轴承连接于所述轴套111中。所述定位参照杆220一端连接所述连接钼杆210，且垂直于所述连接钼杆210设置。当所述连接钼杆210能够在所述轴套111内沿轴线自转时，在受到外力作用时，所述定位参照杆220能够带动所述连接钼杆210沿轴线转动，从而实现所述定位参照杆220左右摆动。当所述连接钼杆210在所述轴套111内通过杆端关节轴承的方式连接时，在受到外力作用时，所述定位参照杆220能够带动所述连接钼杆210在任意方向摆动，从而有效地抵消了外力冲击，避免所述定位参照杆220变形或损坏，延长设备的使用寿命。

更为重要的是，当外力消失后，所述定位参照杆220在自身重力作用下，能够自动转动回位，避免了所述定位参照杆220发生位移，增大引晶锅位或等径gap定位误差。

作为优选，为使的所述定位参照杆220能够自动回位，防止偏移角度小的情况下，所述定位参照杆220的重力的垂直分力不足以使所述定位参照杆220回位，所述定位参照杆220远离所述连接钼杆210的一端设置有重锤221。

作为优选，所述导流筒100包括外壳101、内胆102及设置于所述外壳101与所述内胆102之间的碳毡层103，所述连接钼杆210可转动连接所述内胆102的内壁上，以便于制作和安装。

进一步地，所述连接钼杆210上具有关节轴承211，所述定位参照杆220连接于所述关节轴承211，以使所述定位参照杆220能够相对所述连接钼杆210摆动，以进一步减少外力对所述定位参照杆220的冲击。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。