成型板、石英玻璃坩埚的制造装置以及石英玻璃坩埚的制造方法与流程

文档序号:26944784发布日期:2021-10-12 17:53阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种成型板,其在制造石英玻璃坩埚的装置中用于成型原料粉成型体,其中,所述制造石英玻璃坩埚的装置具备能够旋转的模具、以及向所述模具供给原料粉的原料粉供给单元,并将利用所述原料粉供给单元供给至所述模具的内侧的所述原料粉成型为坩埚形状的所述原料粉成型体,并熔融该原料粉成型体,其特征在于,所述成型板具有与所述原料粉成型体的内表面形状对应的形状,且通过配置于所述模具的内侧并使所述模具相对于所述成型板而言相对地进行旋转,从而将供给至所述模具内的所述原料粉成型为所述坩埚形状,所述成型板具备成型板主体、以及相对于该成型板主体可拆装的边缘板,所述边缘板在当所述成型板配置于所述模具的内侧时与所述原料粉成型体的上端部相对的位置上具有与所述原料粉成型体的上端部的表面的形状对应的形状。2.根据权利要求1所述的成型板,其特征在于,所述边缘板具有相对于所述原料粉成型体的壁厚方向倾斜的切口。3.根据权利要求1所述的成型板,其特征在于,所述成型板主体及所述边缘板的至少与所述原料粉成型体接触的部分为石英玻璃制。4.根据权利要求1所述的成型板,其特征在于,所述成型板除了所述边缘板还具备相对于所述成型板主体可拆装的追加板,所述追加板是能够变更所述原料粉成型体的内表面的形状的部件。5.根据权利要求4所述的成型板,其特征在于,当所述成型板配置于所述模具的内侧时,所述追加板位于所述原料粉成型体的坩埚形状的直筒部。6.一种石英玻璃坩埚的制造装置,其特征在于,具备:所述模具;所述原料粉供给单元;以及权利要求1至5中任一项所述的成型板。7.根据权利要求6所述的石英玻璃坩埚的制造装置,其特征在于,通过更换所述边缘板或者通过变更所述边缘板的安装位置,从而能够变更所述原料粉成型体的上端部的形状。8.根据权利要求7所述的石英玻璃坩埚的制造装置,其特征在于,通过更换所述边缘板或者变更所述边缘板的安装位置来变更所述原料粉成型体的上端部的形状,从而能够对熔融所述原料粉成型体而制造的石英玻璃坩埚的高度进行变更。9.一种石英玻璃坩埚的制造方法,其具有以下工序来制造石英玻璃坩埚,通过向能够旋转的模具的内侧供给原料粉并且在所述模具的内侧配置成型板,使所述模具相对于所述成型板而言相对地进行旋转,从而将所述原料粉成型为与所述成型板和所述模具的形状对应的坩埚形状的原料粉成型体;以及熔融该原料粉成型体,其特征在于,使用在成型板主体上设置有边缘板的部件作为所述成型板来成型原料粉成型体,其中,所述边缘板在当所述成型板配置于所述模具的内侧时与所述原料粉成型体的上端部相对的位置上具有与所述原料粉成型体的上端部的表面形状对应的形状。
10.根据权利要求9所述的石英玻璃坩埚的制造方法,其特征在于,使用具有相对于所述原料粉成型体的壁厚方向倾斜的切口的部件作为所述边缘板。11.根据权利要求9所述的石英玻璃坩埚的制造方法,其特征在于,使用至少与所述原料粉成型体接触的部分为石英玻璃制的部件作为所述成型板主体及所述边缘板。12.根据权利要求9所述的石英玻璃坩埚的制造方法,其特征在于,在所述成型板上除了所述边缘板还设置追加板,利用所述追加板变更所述原料粉成型体的内表面的形状。13.根据权利要求12所述的石英玻璃坩埚的制造方法,其特征在于,当将所述成型板配置于所述模具的内侧时,使所述追加板位于所述原料粉成型体的坩埚形状的直筒部。14.根据权利要求9至13中任一项所述的石英玻璃坩埚的制造方法,其特征在于,通过更换所述边缘板或者通过变更所述边缘板的安装位置,从而变更所述原料粉成型体的上端部的形状。15.根据权利要求14所述的石英玻璃坩埚的制造方法,其特征在于,通过更换所述边缘板或者变更所述边缘板的安装位置来变更所述原料粉成型体的上端部的形状,从而对熔融所述原料粉成型体而制造的石英玻璃坩埚的高度进行变更。

技术总结
本发明提供一种成型板,其为了对应多种用户要求并且兼顾提高生产性和节约原料、以及削减废弃物,而能够灵活地变更模具内的原料粉成型体形状。该成型板在制造石英玻璃坩埚的装置中用于成型原料粉成型体,其中,所述制造石英玻璃坩埚的装置具备模具和原料粉供给单元,并将供给至所述模具的内侧的原料粉成型为坩埚形状的所述原料粉成型体,并进行熔融,所述成型板具备成型板主体、以及相对于该成型板主体可拆装的边缘板,所述边缘板在当所述成型板配置于所述模具的内侧时与所述原料粉成型体的上端部相对的位置上具有与所述原料粉成型体的上端部的表面的形状对应的形状。的上端部的表面的形状对应的形状。的上端部的表面的形状对应的形状。


技术研发人员:石原裕
受保护的技术使用者:信越石英株式会社
技术研发日:2021.03.31
技术公布日:2021/10/11
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