Ito玻璃刻蚀浸泡槽的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种浸泡槽，具体地涉及一种ITO玻璃刻蚀浸泡槽。
【背景技术】
[0002]目前，在平板显示行业，ITO玻璃刻蚀中关于刻蚀均匀性的要求很高，目前，传统ITO刻蚀系统均采用喷淋式的刻蚀方式，即在基板上方设置多组摇摆喷管，该种方式在使用传统刻蚀液时效果良好，而在使用活性较强的新式刻蚀液(如HCl)时，往往产生严重的刻蚀不均现象。
【发明内容】
[0003]本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而一种刻蚀均匀的ITO玻璃刻蚀浸泡槽。
[0004]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种ITO玻璃刻蚀浸泡槽，它包括外槽体、安装在所述外槽体内的内槽体、设置在所述外槽体内且位于所述内槽体上方用于夹住ITO玻璃使其向前运动的多根转轴、设置在所述转轴上方的多个第一喷淋管以及与所述内槽体相连通用于向所述第一喷淋管导入刻蚀液的循环机构，所述转轴在所述内槽体顶部两侧分别形成溢流口，所述内槽体内安装有水平设置的第一匀压板以及安装在所述第一匀压板上方的第二匀压板，所述第一匀压板上均布有多个第一通孔，所述第二匀压板上均布有直径比所述第一通孔直径小的多个第二通孔，所述第一匀压板下方安装有多个第二喷淋管，所述第二喷淋管的喷淋口朝向所述内槽体底部，所述第二喷淋管与所述循环机构相连通。
[0005]优化地，所述循环机构包括储液罐、安装在所述储液罐和所述内槽体之间以及所述储液罐和所述第二喷淋管之间的多个流量计以及用于向所述第一喷淋管和所述第二喷淋管导入刻蚀液的液泵。
[0006]优化地，所述第一喷淋管喷淋口的朝向与所述ITO玻璃的移动方向形成的夹角大于 90°。
[0007]优化地，所述第一通孔的直径为3~6毫米，所述第二通孔的直径为0.5-2.5毫米。
[0008]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型ITO玻璃刻蚀浸泡槽，一方面通过在第二匀压板上设置第二通孔，第一匀压板上设置第一通孔，第二通孔的直径小于第一通孔；另一方面将第二喷淋管的喷淋口朝向内槽体底部，这样有利于提高内槽体内刻蚀液保持稳定，从而提高刻蚀液对ITO玻璃刻蚀的均匀性。
【附图说明】
[0009]附图1为本实用新型ITO玻璃刻蚀浸泡槽的结构示意图；
[0010]其中，1、刻蚀浸泡槽；11、外槽体；12、内槽体；13、第二匀压板；131、第二通孔；14、第一匀压板；141、第一通孔；15、转轴；16、溢流口 ；17、循环机构；18、第一喷淋管；19、第二喷淋管；2、IT0玻璃。
【具体实施方式】
[0011]下面将结合附图对本实用新型优选实施方案进行详细说明:
[0012]如图1所示的ITO玻璃刻蚀浸泡槽1，主要包括外槽体11、内槽体12、转轴15、第二匀压板13、第一匀压板14以及循环机构17。
[0013]其中，内槽体12安装在外槽体11内，它的顶面高度矮于外槽体11的顶面高度。转轴15则安装在内槽体12的上方且位于外槽体11内，它形成上下两排，用于夹住ITO玻璃2，这样当其转动时可以带动ITO玻璃2水平向前运动(如图1中刻蚀浸泡槽I上方的箭头所示方向)；而且它们在内槽体12顶部的两侧分别形成溢流口 16，使得最上层的刻蚀液能够及时从溢流口 16排至外槽体11中，确保刻蚀液的浓度，有利于提高刻蚀的均匀性。第一喷淋管18有多个，它们设置在转轴15的上方，用于向ITO玻璃2的上表面喷淋刻蚀液；第二喷淋管19也有多个，它们安装在内槽体12的下部并且喷淋口朝向内槽体12的底部，这样经由第二喷淋管19喷出的刻蚀液速度被极大地削弱从而确保刻蚀液的缓慢上升。循环机构17分别与外槽体11、内槽体12、第一喷淋管18和第二喷淋管19相连通，用于收集外槽体11和内槽体12中的刻蚀液并向第一喷淋管18和第二喷淋管19导入刻蚀液，从而实现了刻蚀浸泡槽I内刻蚀液的循环，保证刻蚀液浓度的一致性，有利于提高刻蚀的均匀性。第一匀压板14和第二匀压板13均安装在内槽体12内且水平设置，其中第二匀压板13设置在第一匀压板14的上方，第一匀压板14上均布有多个第一通孔141，第二匀压板13上均布有多个第二通孔131，第二通孔131的直径小于第一通孔141的直径，这样利用两层匀压板能够进一步确保刻蚀液的稳定性，提高ITO玻璃2刻蚀的均匀性。
[0014]在本实施例中，循环机构17主要包括储液罐172、流量计171和液泵173。储液罐172用于储存经由外槽体11和内槽体12导入的刻蚀液，流量计171安装在储液罐172和内槽体12之间以及储液罐172和第二喷淋管19之间，用于监控刻蚀液的循环速度。液泵173分别与储液罐172、第一喷淋管18和第二喷淋19相连通，用于将储液罐172中的刻蚀液导入第一喷淋管18和第二喷淋管19中。第一喷淋管18喷淋口的朝向与ITO玻璃2的移动方向形成的夹角大于90°，即第一喷淋管18逆向向ITO玻璃2喷淋刻蚀液。第一通孔141的直径优选为3~6毫米，第二通孔131的直径优选为0.5-2.5毫米，确保内槽体12内刻蚀液的稳定流动。
[0015]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种ITO玻璃刻蚀浸泡槽，它包括外槽体(11)、安装在所述外槽体(11)内的内槽体(12),设置在所述外槽体(11)内且位于所述内槽体(12)上方用于夹住ITO玻璃(2)使其向前运动的多根转轴(15)、设置在所述转轴(15)上方的多个第一喷淋管(18)以及与所述内槽体(12)相连通用于向所述第一喷淋管(18)导入刻蚀液的循环机构(17)，所述转轴(15)在所述内槽体(12)顶部两侧分别形成溢流口(16)，其特征在于:所述内槽体(12)内安装有水平设置的第一匀压板(14)以及安装在所述第一匀压板(14)上方的第二匀压板(13)，所述第一匀压板(14)上均布有多个第一通孔(141 )，所述第二匀压板(13)上均布有直径比所述第一通孔(141)直径小的多个第二通孔(131)，所述第一匀压板(14)下方安装有多个第二喷淋管(19)，所述第二喷淋管(19)的喷淋口朝向所述内槽体(12)底部，所述第二喷淋管(19)与所述循环机构(17)相连通。
2.根据权利要求1所述的ITO玻璃刻蚀浸泡槽，其特征在于:所述循环机构(17)包括储液罐(172)、安装在所述储液罐(172)和所述内槽体(12)之间以及所述储液罐(172)和所述第二喷淋管(19)之间的多个流量计(171)以及用于向所述第一喷淋管(18)和所述第二喷淋管(19)导入刻蚀液的液泵(173)。
3.根据权利要求1所述的ITO玻璃刻蚀浸泡槽，其特征在于:所述第一喷淋管(18)喷淋口的朝向与所述ITO玻璃(2)的移动方向形成的夹角大于90°。
4.根据权利要求1所述的ITO玻璃刻蚀浸泡槽，其特征在于:所述第一通孔(141)的直径为3~6毫米，所述第二通孔(131)的直径为0.5-2.5毫米。
【专利摘要】本实用新型涉及一种ITO玻璃刻蚀浸泡槽，它包括外槽体、内槽体、多根转轴、设置在循环机构，所述转轴在所述内槽体顶部两侧分别形成溢流口，所述内槽体内安装有水平设置的第一匀压板以及安装在所述第一匀压板上方的第二匀压板，所述第一匀压板上均布有多个第一通孔，所述第二匀压板上均布有直径比所述第一通孔直径小的多个第二通孔，所述第一匀压板下方安装有多个第二喷淋管，所述第二喷淋管的喷淋口朝向所述内槽体底部。一方面通过在第二匀压板上设置第二通孔，第一匀压板上设置第一通孔，第二通孔的直径小于第一通孔；另一方面将第二喷淋管的喷淋口朝向内槽体底部，这样有利于提高内槽体内刻蚀液保持稳定，从而提高刻蚀液对ITO玻璃刻蚀的均匀性。
【IPC分类】C03C15-00
【公开号】CN204281587
【申请号】CN201420846060
【发明人】施利君, 徐鸽
【申请人】苏州晶洲装备科技有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月26日