绑定靶材用平台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于机械设备领域，涉及靶材生产过程中使用的重要设备，具体地说是一种能在绑定靶材过程中起到加热和冷却作用的装置。
【背景技术】
[0002]目前多种功能薄膜需要用真空磁控溅射法来生产，而这就要用到作为溅射源的靶材。靶材的种类很多，其中有很大一部分是陶瓷靶材。陶瓷靶材导热性差，致密度低，并且脆性很大，不能直接使用，必需要将其绑定在铜或钛的背板上。绑定是将焊料加热熔化，均匀的涂在靶材和背板上，之后把涂有焊料的靶材和背板贴合在一起，冷却后两者得到牢固的结合。这就需要用到能在绑定过程中起到加热和冷却作用的装置。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种绑定靶材用平台，此平台既有加热又有冷却功能，不但提高了生产效率，又为操作提供了很大的便捷，并且结构简单，构思巧妙合理，成本低廉。本实用新型采用的技术方案是:
[0004]一种绑定靶材用平台，包括一平台托板，所述平台托板固定在平台腿上，平台腿上设有升降装置，能够调节平台的水平度；所述平台托板内放置绝缘板，平台托板与绝缘板之间铺有保温材料；绝缘板内部间隔设有多个穿丝孔，穿丝孔内部设置有电热丝，电热丝通过导线连接到控制箱上；所述绝缘板上面放置导热板，导热板通过固定片与平台托板相连接；所述导热板内部设有散热孔，散热孔与气管相连，气管连接到控制箱上；
[0005]在导热板中还设有测温元件，测温元件的补偿导线与控制箱相连。
[0006]进一步地，多个穿丝孔均匀分散设置在绝缘板内部。
[0007]进一步地，散热孔设有多个，且均匀分散设置在导热板内部。
[0008]进一步地，测温元件分散设置在导热板中的多个不同部位。
[0009]进一步地，升降装置采用可旋转的螺纹套管。
[0010]进一步地，所述平台腿下端安装有车轮。
[0011]更进一步地，所述车轮带刹车。
[0012]进一步地，所述控制箱安装在平台腿下部之间的搁板上。
[0013]进一步地，该绑定靶材用平台还包括一个工具箱，工具箱安装在平台腿下部之间的搁板上。
[0014]进一步地，所述测温元件为热电偶。
[0015]本实用新型的优点在于:本实用新型产品结构简单、构思巧妙合理，成本低廉，既有加热又有冷却功能，为操作提供了很大的便捷，提高了生产效率。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型的结构组成示意图。
[0017]图2为本实用新型的俯视图。
【具体实施方式】
[0018]下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0019]如图1所示，本实用新型所提出的绑定靶材用平台，包括车轮1、升降装置2、保温材料3、平台托板4、固定片5、电热丝6、碳化硅绝缘板7、穿丝孔8、散热孔9、导热板10、气管11、控制箱12、工具仓13、平台腿14、热电偶15、搁板16等。
[0020]所述平台托板4下面用四个平台腿14支撑和固定，平台腿14中上部设有升降装置2，能够调节平台的水平度；升降装置2采用可旋转的螺纹套管，当然也可以采用现有技术中的其它升降机构。平台腿14的下端安装有带刹车的万向车轮I，使平台可以方便的移动和固定。搁板16安装在平台腿14下部之间，在搁板16上安装控制箱12和工具箱13。工具箱13可以盛放工具和其他物品。
[0021]所述平台托板4内放置绝缘板7，平台托板4与绝缘板7之间铺有耐高温的保温材料3 ;绝缘板7内部间隔设有多个穿丝孔8，穿丝孔8内部设置有电热丝6 ;优选地，穿丝孔8均匀分散设置在绝缘板7内部，以便电热丝对导热板10的加热更加均匀。电热丝6通过导线连接到控制箱12上。
[0022]所述绝缘板7上面放置导热板10，导热板10通过固定片5与平台托板4相连接，固定片5固定在导热板10和平台托板4的侧面；所述导热板10内部设有散热孔9，散热孔9与气管11相连，当散热孔9内有压缩空气通过时，带走导热板10的热量，使导热板快速降温。优选地，散热孔9均匀分散设置在导热板10内部，使得导热板10各处能够均匀降温。气管11连接到控制箱12上，通过控制箱12上的压缩空气开关控制压缩空气是否流通。
[0023]在导热板10中的左、中、右三个部位设置有3个热电偶插孔，热电偶15放置在热电偶插孔中，所述热电偶15的补偿导线与控制箱12相连。热电偶15作为测温元件，用于向控制箱12反馈导热板10是否达到设定温度。
[0024]本实用新型的工作过程是:把绑定靶材用平台推到工作地点，踩下车轮I的刹车，使本平台固定，调整升降装置2，使导热板10在同一水平面上。把控制箱12上的压缩空气接口与压缩空气源相连接，之后把控制箱12连接电源。
[0025]打开控制箱12上的控温仪表，把温度设定到需要值，开始升温。把待加热的靶材和背板放置在导热板10上，加热。注意，靶材和背板一开始是并列放置的，而非重叠放置。达到需要温度后，进入保温状态，把焊料均匀的涂在靶材和背板的上表面，用超声波笔震动涂抹，以达到更好的结合效果。焊料涂好后，把靶材和背板有焊料的一面贴合在一起，用压块(另备)压实，把控温仪表的温度设定值降低，同时打开压缩空气开关，使导热板快速降温，导致焊料凝固，靶材和背板得到牢固的粘接。取下绑定好的靶材，进行下一轮操作。
【主权项】
1.一种绑定靶材用平台，包括一平台托板4，其特征在于: 所述平台托板(4)固定在平台腿(14)上，平台腿(14)上设有升降装置(2)，能够调节平台的水平度； 所述平台托板(4)内放置绝缘板(7)，平台托板(4)与绝缘板(7)之间铺有保温材料(3);绝缘板(7)内部间隔设有多个穿丝孔(8)，穿丝孔⑶内部设置有电热丝(6)，电热丝(6)通过导线连接到控制箱(12)上；所述绝缘板(7)上面放置导热板(10)，导热板(10)通过固定片(5)与平台托板(4)相连接；所述导热板(10)内部设有散热孔(9)，散热孔(9)与气管(11)相连，气管(11)连接到控制箱(12)上； 在导热板(10)中还设有测温元件，测温元件的补偿导线与控制箱(12)相连。
2.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 多个穿丝孔(8)均匀分散设置在绝缘板(7)内部。
3.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 散热孔(9)设有多个，且均匀分散设置在导热板(10)内部。
4.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 测温元件分散设置在导热板(10)中的多个不同部位。
5.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 升降装置(2)采用可旋转的螺纹套管。
6.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 所述平台腿下端安装有车轮(I)。
7.如权利要求6所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 所述车轮(I)带刹车。
8.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 所述控制箱(12)安装在平台腿(14)下部之间的搁板(16)上。
9.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 还包括一个工具箱(13)，工具箱(13)安装在平台腿(14)下部之间的搁板(16)上。
10.如权利要求1所述的绑定靶材用平台，其特征在于: 所述测温元件为热电偶(15)。
【专利摘要】本实用新型提供一种绑定靶材用平台，包括一平台托板，所述平台托板固定在平台腿上，平台腿上设有升降装置，能够调节平台的水平度；所述平台托板内放置绝缘板，平台托板与绝缘板之间铺有保温材料；绝缘板内部间隔设有多个穿丝孔，穿丝孔内部设置有电热丝，电热丝通过导线连接到控制箱上；所述绝缘板上面放置导热板，导热板通过固定片与平台托板相连接；所述导热板内部设有散热孔，散热孔与气管相连，气管连接到控制箱上；在导热板中还设有测温元件，测温元件的补偿导线与控制箱相连。此平台既有加热又有冷却功能，不但提高了生产效率，又为操作提供了很大的便捷。
【IPC分类】C04B37-02, C23C14-35
【公开号】CN204385071
【申请号】CN201520016623
【发明人】秦国强, 常金永
【申请人】江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年1月9日