一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，该自动抽气装置位于旋转靶材喷涂罐体一侧并与该旋转靶材喷涂罐体内腔连通，该自动抽气装置包括水泵、真空挡板阀及电磁阀，所述真空挡板阀通过法兰盘固定于罐体一侧抽气管上，所述法兰盘下方设一止回阀，该止回阀下方通过软管与水泵连通，形成真空抽气通道。本实用新型能够全自动的抽除真空等离子喷涂过程中在真空腔体内产生的气体，降低生产过程中的人力成本和时间成本，减低生产异常率。
【专利说明】一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材喷涂罐体内抽真空【技术领域】。
【背景技术】
[0002]在真空罐体中进行旋转靶材喷涂时，由于喷枪会产生大量气体(大部分为氮气和氩气)进入真空腔体中，所以为了保持真空腔体的真空度，要实时抽除真空腔体中的产生的气体。现有的抽气系统由真空压力表和抽气阀组成，当真空度达到低位点时,人为手动打开抽气阀，真空泵开始工作，待真空电接点压力表到达高位点时，手动关闭抽气阀。此方案不仅效率低，浪费了大量人力成本和时间成本。而且由于人为控制的不准确性，容易引起生产过程中异常多发，加大了生产成本。
[0003]由此，本发明人考虑针对靶材喷涂制造过程中真空抽气结构进行改进，本案由此产生。
实用新型内容
[0004]针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，能够全自动的抽除真空等离子喷涂过程中在真空腔体内产生的气体,降低生产过程中的人力成本和时间成本，减低生产异常率。
[0005]为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的:
[0006]一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，该自动抽气装置位于旋转靶材喷涂罐体一侧并与该旋转靶材喷涂罐体内腔连通，该自动抽气装置包括水泵、真空挡板阀及电磁阀，所述真空挡板阀通过法兰盘固定于罐体一侧抽气管上，所述法兰盘下方设一止回阀，该止回阀下方通过软管与水泵连通，形成真空抽气通道。
[0007]进一步，所述电磁阀设置于真空挡板阀上方。
[0008]进一步，所述罐体抽气管上方设置有一检测管，该检测管与罐体内腔连通，该检测管端头安装一真空度传感器，形成对罐体内真空度检测结构。
[0009]进一步，所述软管为金属软管。
[0010]进一步，所述的旋转靶材喷涂罐体为授权公告CN203373415U所描述的罐体结构。
[0011]与现有技术相比较，本实用新型的优点:
[0012]1、本实用新型利用电磁阀及真空挡板阀的配合实现了等离子喷涂系统的全自动抽气功能及控制自动抽气等功能；
[0013]2、本实用新型够全自动的抽除真空等离子喷涂过程中在真空腔体内产生的气体，降低生产过程中的人力成本和时间成本，减低生产异常率。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型结构示意图；。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0016]实施例:请参阅图1所示，一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，该自动抽气装置位于旋转靶材喷涂罐体I 一侧并与该旋转靶材喷涂罐体内腔连通，所述的旋转靶材喷涂罐体I为授权公告CN203373415U所描述的罐体结构。
[0017]请参阅图1所示,前述自动抽气装置包括水泵2、真空挡板阀3及电磁阀4,所述真空挡板阀3通过法兰盘5固定于罐体I 一侧抽气管11上，所述法兰盘5下方设一止回阀6，该止回阀6下方通过金属软管7与水泵2连通，形成真空抽气通道；而所述电磁阀4设置于真空挡板阀3上方；所述罐体抽气管11上方设置有一检测管8，该检测管8与罐体I内腔连通，该检测管8端头安装一真空度传感器9，形成对罐体I内真空度检测结构。
[0018]请参阅图1所示，在靶材真空等离子喷涂过程中，真空罐体I中会产生气体，导致真空度下降，通过真空度传感器9测量腔内真空度，实时发送信号至PLC控制箱，当真空度下降到一定值时，PLC控制箱发出控制信号,控制电磁阀4开启，电磁阀4通过改变气路方向控制真空挡板阀3打开，真空挡板阀3打开后，PLC控制水环泵2开始工作，真空罐体I内气体被抽出，真空度上升；当真空度到达一定值后，PLC控制箱发出控制信号控制真空挡板阀3关闭，水泵2停止工作，从而达到自动抽出真空等离子喷涂系统中气体、保证真空腔体真空度的目的。
[0019]以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
【权利要求】
1.一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，其特征在于:该自动抽气装置位于旋转靶材喷涂罐体一侧并与该旋转靶材喷涂罐体内腔连通，该自动抽气装置包括水泵、真空挡板阀及电磁阀，所述真空挡板阀通过法兰盘固定于罐体一侧抽气管上，所述法兰盘下方设一止回阀，该止回阀下方通过软管与水泵连通，形成真空抽气通道。
2.根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，其特征在于:所述电磁阀设置于真空挡板阀上方。
3.根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，其特征在于:所述罐体抽气管上方设置有一检测管，该检测管与罐体内腔连通，该检测管端头安装一真空度传感器，形成对罐体内真空度检测结构。
4.根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，其特征在于:所述软管为金属软管。
【文档编号】C23C4/12GK203834000SQ201420243514
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年5月14日 优先权日:2014年5月14日
【发明者】罗建冬 申请人:厦门映日新材料科技有限公司