一种石墨绑定靶材产品的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了石墨绑定靶材产品。包括靶材（3）；铜丝网（5）；两者通过熔化的金属凝固后连接；石墨纸（2），其被三段高温导电胶（4）分成均等三份后连接在一起；石墨纸（2）通过熔化的金属凝固后连接于铜丝网（5）上；不锈钢管（1）；连接在一起的靶材（3），铜丝网（5）和石墨纸（2）旋入不锈钢管（1）内。该产品是一种绑定衬管紧密贴合度高，导电导热性能更好并具有一定延展性的新型的石墨绑定靶材产品。
【专利说明】-种石墨绑定靶材产品
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种石墨绑定靶材产品。
【背景技术】
[0002] 在半导体工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一 定强度的背板构成。传统的铟绑定技术，使得靶材的价格偏高，从而使平面显示器、存储器 和光学镀膜等靶材应用的产业的生产成本相应提高。 实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的在于提供一种与绑定衬管紧密贴合度高，导电导热性能更好并 具有一定延展性的新型的石墨绑定祀材产品。
[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供一种石墨绑定靶材产品，其特征在于，包括靶材 (3);铜丝网（5);两者通过熔化的金属凝固后连接；石墨纸（2)，其被三段高温导电胶（4)分 成均等三份后连接在一起；石墨纸（2)通过熔化的金属凝固后连接于铜丝网（5)上；不锈钢 管（1);连接在一起的靶材（3)，铜丝网（5)和石墨纸（2)旋入不锈钢管（1)内。
[0005] 所述金属是铟、锡或银。
[0006]所述靶材是 ΑΖΟ, ΙΤ0、NbOx 或 MoNb。
[0007] 所述高温导电胶的宽度是1. 5-2cm，厚度是2-3cm。
[0008] 所述铜丝网为两根0. 06mm直径的铜丝叠加而成的铜丝网。
[0009] 所述石墨纸为3块厚度为1. 5mm石墨纸。
[0010] 本实用新型所用金属可用熔点低，导电导热性好的即可，如铟、锡或银。
[0011] 本实用新型所用高温导电胶用来进一步固定不锈钢和ΑΖ0靶材。由于金属热胀冷 缩明显，会由于气温变化从而与不锈钢脱离，而导电胶延展性好，可以弥补金属热胀冷缩的 问题。
[0012] 本实用新型所用铜丝网起支撑作用，靶材在使用中会断裂，由于铜丝网与靶材固 定，即使靶材断裂也不会出现脱落的问题。
[0013] 本实用新型所用的高温导电胶在石墨纸之间的长度是1. 5-2cm，在该范围内越小 越好，太大则整体导电导热性不好，太小则起不到固定作用，故本实用新型经过实用新型人 多次试验，综合考虑后，最终选定1. 5_2mm。
[0014] 本实用新型方法套筒旋转靶材，可形成AZO、IT0、Nb0x、M〇Nb套筒靶材系列产品的 绑定，将打破传统的铟绑定技术，大幅度降低高端靶材的价格，有效提高我国溅射靶材在国 际市场上的竞争力。并将使如平面显示器、存储器和光学镀膜等靶材应用的产业的生产成 本得到有效降低，从而促进靶材应用产业的结构调整，对提升产业的整合竞争力和水平具 有重要作用。
[0015] 本实用新型方法可以代替传统的涂锡方式，增加靶材导电、导热性。采用本实用新 型方法所得的产品靶材与绑定衬管紧密贴合90% ;同时具有一定延展性；导电导热性好。
[0016] 本实用新型产品结构见图1。其中1为不锈钢，2为石墨纸，3为靶材，4为高温导 电胶，5为铜丝网。
【专利附图】
【附图说明】
[0017] 图1是本实用新型石墨得到的产品示意图。
【具体实施方式】
[0018] 下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始 至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参 考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型 的限制。实施例中未注明具体技术或条件者，按照本领域内的文献所描述的技术或条件或 者按照产品说明书进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市购获得的常 规产品。
[0019] 实施例1
[0020] 1)不锈钢管绑定：选用L800*0D133*ID125mm的304不锈钢管作为衬管，外径车圆 至0D133mm进行绑定；绑定时祀材与背板之间的结合部无气泡，粘合率大于90% ;绑定材料 的厚度为2?3mm。
[0021] 2)套筒靶材绑定：选用ΑΖ0作为套筒靶材，内径车圆至135. 42mm进行绑定；绑定 时革巴材与背板之间的结合部无气泡，粘合率大于90% ;绑定材料的厚度为2?3_。
[0022] 3)在步骤2)所得ΑΖ0套筒上包裹加热包，将ΑΖ0套筒加热到300度左右；用超声 波焊接机把熔化好的金属铟涂在ΑΖ0套筒内壁；
[0023] 4)将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸到300度左右；将熔 化好的金属铟涂在石墨纸上；将铜丝网（厚度为1. 2mm)放到石墨纸上；再将铜丝网的另外 一面放到涂了金属的ΑΖ0套筒上；加热包降温至金属固化，固定好即可；
[0024] 5)用丙酮擦拭不锈钢表面进行除油后，在不锈钢外表面圆周三等分线上均匀涂上 一层宽1. 8cm，厚度2-3cm的高温导电胶；最后把绑定好石墨纸的ΑΖ0祀材套入不锈钢管 中，其高温导电胶图层刚好位于石墨纸的三段间隙中。所得产品结构见图1。
[0025] 结合力验证方法：参考标准GB9796-1988结合性能试验方法。
[0026] 经多次试验靶材的结合力分别达到20MPa、25MPa、27Mpa均满足绑定技术要求的 >15Mpa。》
[0027] 耐高温验证方法：将绑定好的靶材套于高温加热棒中，靶材外部用加热包加热。持 续加热到300°C，观察靶材是否与不锈钢脱离。
[0028] 经多次试验本产品在加热到300°C时，靶材完全没有脱离现象。
[0029] 粘合度验证方法：使用水浸超声波探测仪测量靶材的粘合度。经多次测量本产品 粘合度均大于90%，符合绑定技术要求。
[0030] 实施例2
[0031] 靶材是ΙΤ0,金属是锡，高温导电胶的每段宽度是2cm。其他步骤同实施例1。
[0032] 结合力验证方法：参考标准GB9796-1988结合性能试验方法。
[0033] 经多次试验靶材的结合力分别达到20MPa、25MPa、27Mpa均满足绑定技术要求的 >15Mpa。》
[0034] 耐高温验证方法：将绑定好的靶材套于高温加热棒中，靶材外部用加热包加热。持 续加热到300°C，观察靶材是否与不锈钢脱离。
[0035] 经多次试验本产品在加热到300°C时，靶材完全没有脱离现象。
[0036] 粘合度验证方法：使用水浸超声波探测仪测量靶材的粘合度。经多次测量本产品 粘合度均大于90%，符合绑定技术要求。
[0037] 实施例3
[0038] 靶材是NbOx，金属是银，高温导电胶的每段长度是1. 5cm。
[0039] 其他步骤同实施例1，高温导电胶的每段长度是1. 5cm。
[0040] 结合力验证方法：参考标准GB9796-1988结合性能试验方法。
[0041] 经多次试验靶材的结合力分别达到20MPa、25MPa、27Mpa均满足绑定技术要求的 >15Mpa。》
[0042] 耐高温验证方法：将绑定好的靶材套于高温加热棒中，靶材外部用加热包加热。持 续加热到300°C，观察靶材是否与不锈钢脱离。
[0043] 经多次试验本产品在加热到300°C时，靶材完全没有脱离现象。
[0044] 粘合度验证方法：使用水浸超声波探测仪测量靶材的粘合度。经多次测量本产品 粘合度均大于90%，符合绑定技术要求。
[0045] 尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是 示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型 的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和 变型。
【权利要求】
1. 一种石墨绑定靶材产品，其特征在于，包括靶材（3);铜丝网（5);两者通过熔化的金 属凝固后连接；石墨纸（2)，其被三段高温导电胶（4)分成均等三份后连接在一起；石墨纸 (2)通过熔化的金属凝固后连接于铜丝网（5)上；不锈钢管（1);连接在一起的靶材（3)，铜 丝网（5)和石墨纸（2)旋入不锈钢管（1)内。
2. 权利要求1所述石墨绑定靶材产品，其特征在于，所述金属是铟、锡或银。
3. 权利要求1所述石墨绑定靶材产品，其特征在于，所述靶材是AZO, ITO、NbOx或 MoNb。
4. 权利要求1所述石墨绑定靶材产品，其特征在于，所述高温导电胶的宽度是 1. 5_2cm，厚度是 2_3cm。
5. 权利要求1所述石墨绑定靶材产品，其特征在于，所述铜丝网为两根0. 06mm直径的 铜丝叠加而成的铜丝网。
6. 权利要求1所述石墨绑定祀材产品，其特征在于，所述石墨纸为3块厚度为1. 5mm石 墨纸。
【文档编号】C23C14/34GK203904448SQ201420322922
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年6月18日 优先权日:2014年6月18日
【发明者】罗文富, 石煜 申请人:厦门映日新材料科技有限公司