的使用寿命。
[0034]如图1所示，在本实施例的喷嘴组件中，转接部30还包括安装座32，固定设置在底板10上。转接接头31可转动地设置在安装座32上。将转接接头31设置在安装座32上，安装座32固定设置在底板10上的进气孔11处，这样可以避免转接接头31的转动对进气孔11的内周向侧壁造成磨损。同时，安装座32固定设置在底板10上的进气孔11处可以保证喷嘴组件与进气孔11之间具有良好的密封性。在本实施例中，安装座32呈管状，其底部的外周向侧壁上具有螺纹，上述安装座32与底板10的进气孔11之间为螺纹连接。在图中未示出的其他实施方式中，安装座32与进气孔11之间的连接方式不限于螺纹连接，也可以为其他形式的连接方式，例如焊接、销连接等。
[0035]如图1所示，在本实施例的喷嘴组件中，转接部30还包括连接件33，设置在转接接头31和安装座32之间，并且连接转接接头31和安装座32。上述结构用于连接转接接头31和安装座32以实现转接接头31在安装座32上可转动。
[0036]如图1所示，在本实施例的喷嘴组件中，连接件33固定设置在安装座32内，连接件33上具有第一通孔331，转接接头31上具有第二通孔311，转接部30还包括穿设在第一通孔331和第二通孔311内的锁止件34，锁止件34具有使转接接头31和连接件33之间可转动的解锁位置以及使转接接头31和连接件33之间固定的锁定位置。在本实施例中，安装座32上部的内周向侧壁上具有内螺纹，连接件33的下部的外周向侧壁上具有与上述内螺纹配合的外螺纹，即上述安装座32与连接件33之间为螺纹连接。在图中未示出的其他实施方式中，安装座32与连接件33之间的连接方式不限于螺纹连接，也可以为其他形式的连接方式，例如焊接、销连接等。
[0037]如图1和图3所示，具体地，在还原炉工作之前，先将喷嘴组件中的安装座32固定在还原炉进气孔11上，然后将连接件33安装在安装座32内。同时，将转接接头31和喷射管20连接，并且将锁止件34穿设在连接件33的第一通孔331以及转接接头31的第二通孔311中。此时，锁止件34位于解锁位置，可以根据硅棒40的位置分布以及具体生产要求，任意转动喷射管20的角度以使喷射管20远离进气孔11的一端到达预定位置。此后，使锁止件34位于锁定位置以固定连接件33与转接接头31。最后将喷头50安装在喷射管20远离进气孔11的一端。为了保证进气的气流下喷嘴组件的稳定性，可以在安装座32与底板10的进气孔11的连接处、转接接头31与安装座32的连接处、喷射管20与转接接头31的连接处等位置进行点焊固定。在喷嘴组件使用一段时间之后，如果发生堵塞的现象，可以将喷嘴组件整体拆下后进行清洗更换。
[0038]在本实施例中，连接件33的第一通孔331为螺纹孔，锁止件34为螺栓，锁止件34可以拧紧以固定连接件33和转接接头31。在图中未示出的其他实施方式中，锁止件34不限于螺栓，也可以为其他形式的锁止件。
[0039]如图1所示，在本实施例的喷嘴组件中，喷射管20的管内截面积、连接件33内部的过流面积以及安装座32的管内截面积均相等。在还原炉工作过程中，气流从还原炉进气孔11进入后，先后经过还原炉进气孔11、安装座32、连接件33、转接接头31以及喷射管20，最终由喷头50形成高速气流进入还原炉内。设置喷射管20的管内截面积、连接件33内部的过流面积以及安装座32的管内截面积均相等，可以有效地防止气流震荡。需要说明的是，上述喷射管20的管内截面积为喷射管20的内壁形成的气流通道的横截面积，上述安装座32的管内截面积为安装座32的内壁形成的气流通道的横截面积。
[0040]如图4所示，在本实施例中，连接件33的下部呈管状，连接件33的上部具有第一通孔331，连接件33的上部与下部之间通过4至6个筋板332进行连接以形成气流通道。在本实施例中，筋板332的数量优选为4个。在图中未示出的其他实施方式中，连接件33不限于上述结构，也可以为其他结构的连接件。
[0041]如图1所示，在本实施例的喷嘴组件中，转接接头31的侧壁上具有管接头312，管接头312与喷射管20之间为螺纹连接。上述结构便于拆卸，结构简单，易于实现。在本实施例中，管接头312与喷射管20之间为螺纹连接。在图中未示出的其他实施方式中，管接头312与喷射管20之间的连接方式不限于螺纹连接，也可以为其他形式的连接方式，例如焊接、销连接等。
[0042]如图1所示，在本实施例的喷嘴组件中，转接接头31的底壁上具有缩口部313，缩口部313嵌套在安装座32内。嵌套在安装座32内的缩口部313可以对转接接头31起到定位的作用。
[0043]如图1所示，在本实施例的喷嘴组件中，转接部30还包括设置在连接件33与安装座32之间的卡件35。卡件35可以对连接件33进行加固。
[0044]如图1所示，在本实施例中，安装座32的上部具有内止口，转接接头31上的缩口部313以及卡件35均位于上述内止口内。上述结构便于转接接头31、连接件33以及安装座32之间的定位。
[0045]本申请还提供了一种还原炉，根据本申请的还原炉的实施例(图中未示出)具有上述喷嘴组件。由于采用上述喷嘴组件，可以提高还原炉中的硅棒直径均匀性以及硅沉积速率。
[0046]从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果:在还原炉工作之前，本实用新型的喷嘴组件能够有效地将喷头的位置调整到还原炉底板上的任意位置，并使得更换喷头更加便捷，增加喷嘴组件使用灵活性。同时，喷头可以根据工艺气体进气量的大小自动调节喷出的气体速度以及气体影响区域。本申请的喷嘴组件可以使进入还原炉内的工艺气体在硅棒的生长区域均匀分布，有效地提高了硅棒直径均匀性以及硅沉积速率，改善了硅棒的表面质量。
[0047]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种还原炉的喷嘴组件，其特征在于，包括与还原炉的底板(10)上的进气孔(11)连通的喷射管(20)以及设置在所述喷射管(20)的远离所述进气孔(11) 一端的喷头(50)，所述喷射管(20)可转动地设置在所述进气孔(11)处以调整所述喷头(50)的位置，所述喷头(50)包括: 基座(51)； 导向杆(52)，所述导向杆(52)设在所述基座(51)内； 引流转子(55)，所述引流转子(55)沿所述导向杆(52)的轴向可移动且可旋转地套设在所述导向杆(52)上，所述引流转子(55)的外周面上设有多个侧旋流道(56)。2.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述基座(51)包括内直径由下至上逐渐增大的引流部。3.根据权利要求2所述的喷嘴组件，其特征在于，所述基座(51)还包括内直径恒定的顺流部，所述顺流部位于所述引流部的下方。4.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述侧旋流道(56)以预定仰角从所述引流转子(55)的底部旋转至所述引流转子(55)的顶部。5.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述引流转子(55)的内表面的母线为双曲线、抛物线、椭圆弧线或渐开线。6.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述喷嘴组件还包括用于连接所述喷射管(20)和所述底板(10)的转接部(30)，所述转接部(30)包括: 转接接头(31)，所述转接接头(31)可转动地设置在所述进气孔(11)处，所述喷射管(20)设置在所述转接接头(31)上； 安装座(32)，固定设置在所述底板(10)上，所述转接接头(31)可转动地设置在所述安装座(32)上； 连接件(33)，设置在所述转接接头(31)和所述安装座(32)之间，并且连接所述转接接头(31)和所述安装座(32)。7.根据权利要求6所述的喷嘴组件，其特征在于，所述连接件(33)固定设置在所述安装座(32)内，所述连接件(33)上具有第一通孔(331)，所述转接接头(31)上具有第二通孔(311)，所述转接部(30)还包括穿设在所述第一通孔(331)和所述第二通孔(311)内的锁止件(34)，所述锁止件(34)具有使所述转接接头(31)和所述连接件(33)之间可转动的解锁位置以及使所述转接接头(31)和所述连接件(33)之间固定的锁定位置。8.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述喷嘴组件还包括止挡螺母(57)，所述导向杆(52)上设有外螺纹，所述止挡螺母(57)配合在所述导向杆(52)的外螺纹上且位于所述引流转子(55)上方。9.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其特征在于，所述喷嘴组件还包括止挡台(53)，所述止挡台(53)设置在所述导向杆(52)的底部，所述止挡台(53)上连接有固定在所述基座(51)上的支腿(54)ο10.一种还原炉，包括喷嘴组件，其特征在于，所述喷嘴组件为权利要求1至9中任一项所述的喷嘴组件。
【专利摘要】本实用新型提供了一种还原炉及其喷嘴组件，其中，喷嘴组件包括与还原炉的底板(10)上的进气孔(11)连通的喷射管(20)以及设置在喷射管(20)的远离进气孔(11)一端的喷头(50)，喷射管(20)可转动地设置在进气孔(11)处以调整喷头(50)的位置，喷头(50)包括：基座(51)；导向杆(52)，导向杆(52)设在基座(51)内；引流转子(55)，引流转子(55)沿导向杆(52)的轴向可移动且可旋转地套设在导向杆(52)上，引流转子(55)的外周面上设有多个侧旋流道(56)。本实用新型的技术方案能够有效地解决现有技术中的还原炉喷嘴不能保证硅棒直径均匀性以及硅沉积速率，影响硅棒的表面质量的问题。
【IPC分类】C01B33/035
【公开号】CN204643854
【申请号】CN201520271068
【发明人】姚心, 汪绍芬, 严大洲, 郑红梅, 杨永亮
【申请人】中国恩菲工程技术有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年4月29日